石墨烯膜球的制备方法技术

本发明专利技术提供一种石墨烯膜球的制备方法，包括：将氧化硅微球分散在基底表面，所述氧化硅微球在所述基底的表面为单层分布；将分散有氧化硅微球的基底放置进反应炉中；通入保护气体，排出反应炉中的空气；通入还原性气体并加热反应炉至反应温度；在保护气体及还原性气体的保护下，向反应炉通入碳源气体，经过预定反应时间，在氧化硅微球的表面直接生长石墨烯，形成石墨烯层。本发明专利技术提供的石墨烯膜球的制备方法工艺简单，且具有更长的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种石墨烯膜球的制备方法，尤其涉及一种用于原子力显微镜探针的石墨烯膜球的制备方法。
技术介绍
原子力显微镜(AFM)是一种具有原子级分辨率的用于表面形貌采集、电磁性能分析的重要仪器，是表面科学、纳米技术等领域的重要表征工具。其中，AFM探针是原子力显微镜中的重要组成部分，属于该高科技设备的常用的耗材，其主要生产厂家分布在德国、瑞士、美国、日本等国家。普通AFM探针主要是通过利用微机电系统技术手段加工硅或氮化硅来制备，而导电AFM探针是在普通探针表面镀10-50nm厚的金属铂(及其他提高镀层结合力的金属，如钛、铬，铂和铱等)获得。然而，导电AFM探针在使用过程中其导电镀层易于磨损，导致其导电性难以长期有效保持，所以很多国家的相关机构都在致力于研发具有高分辨率和更长使用寿命的新型探针。目前，导电AFM针尖的新产品有基于碳纳米管的针尖，金刚石镀层针尖和全金属丝针尖等，这些新技术虽然在一定程度上克服了普通导电AFM针尖寿命较短和分辨率不高的缺点，但是其制备过程十分复杂，且生产成本较高。
技术实现思路
综上所述，确有必要提供一种具有更长使用寿命且工艺简单的原子力显微镜探针，以及适用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种石墨烯膜球的制备方法，包括：将氧化硅微球分散在基底表面，所述氧化硅微球在所述基底的表面为单层分布；将分散有氧化硅微球的基底放置进反应炉中；通入保护气体，排出反应炉中的空气；通入还原性气体并加热反应炉至反应温度；在保护气体及还原性气体的保护下，向反应炉通入碳源气体，经过预定反应时间，在氧化硅微球的表面直接生长石墨烯，形成石墨烯层。

【技术特征摘要】
1.一种石墨烯膜球的制备方法，包括：将氧化硅微球分散在基底表面，所述氧化硅微球在所述基底的表面为单层分布；将分散有氧化硅微球的基底放置进反应炉中；通入保护气体，排出反应炉中的空气；通入还原性气体并加热反应炉至反应温度；在保护气体及还原性气体的保护下，向反应炉通入碳源气体，经过预定反应时间，在氧化硅微球的表面直接生长石墨烯，形成石墨烯层。2.如权利要求1所述的石墨烯膜球的制备方法，其特征在于，所述氧化硅微球的粒径为1微米至50微米。3.如权利要求1所述的石墨烯膜球的制备方法，其特征在于，所述氧化硅微球相互间隔设置。4.如权利要求1所述的石墨烯膜球的制备方法，其特征在于，所述氧化硅微球通过以下步骤形成在所述基底的表面：提供有机溶剂；将所述氧化硅微球分散于有机溶液中形成氧化硅微球悬浊液；将所述氧化硅微球悬浊液涂覆于基底表面；干燥涂覆有氧化硅悬浊液的基底以去除有机溶剂，在所述基底的表面形成分散的氧化硅微球。5.如权利要求1所述的石墨烯膜球的制备方法，其特征在于，所述碳源气体、还原性气体和保护气体的流量比为3.0:50:50至7.0:50:50，反应时间为1.5小时至4小时。6.如权利要求5所述的石墨烯膜球的...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘淑娓，王华平，马天宝，于贵，雒建斌，
申请(专利权)人：清华大学，中国科学院化学研究所，
类型：发明
国别省市：北京;11