一种废气处理装置制造方法及图纸

本申请公开了一种废气处理装置，包括水箱，所述水箱上部包括相互连通的位于左侧的液淋除尘部件和位于右侧的喷淋洗涤部件，所述液淋除尘部件的上部设置有与其连通的反应腔，所述反应腔的上部具有将废气引入所述反应腔内部的废气进气部件，所述反应腔侧壁的外侧面具有引入助燃气体的供气部件，所述反应腔的侧壁的内侧面覆盖有密集多孔状的金属内筒，且所述供气部件的喷口均位于所述反应腔的侧壁和所述金属内筒之间，且所述喷口均与所述金属内筒的孔相连通。本申请提供的上述废气处理装置，能够避免颗粒物或粉尘粘附在反应腔内，降低维护清理的负担，避免污染物扩散。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及气体净化
，更具体地说，涉及一种废气处理装置。
技术介绍
在半导体、面板显示器、LED、太阳能和MEMS微机电等制造领域中，生产过程中都会产生废气，以半导体制造为例，其制程设备在生产时排放的气体可以分为如下三类：第一类是易燃易爆气体，如氢气(H2)或硅烷(SiH4)；第二类是有毒气体，如一氧化二氮(N2O)、氯气(Cl2)、氟气(F2)；第三类是温室效应气体，如四氟化碳(CF4)、三氟化氮(NF3)、六氟化硫(SF6)等等，其中三氟化氮(NF3)也具有毒性，四氟化碳(CF4)也在动物实验上被证实能破坏细胞壁结构，使其他污染物更容易进入细胞内，因此在这些气体排放到周围环境中之前必须进行处理。目前，常用的废气处理方式包括“热分解+液淋式”、“燃气燃烧+液淋式”和“高温等离子体+液淋式”等等，都是先将废气处理成稳定的副产品，然后在液淋区进行液淋冲洗。其中“燃气燃烧+液淋式”运用与接受度最为广泛，燃烧处理反应式如下：但是，随着近年新制程设备废气排放量的增加，生产过程中的副产物如二氧化硅这类粉尘会夹杂在废气中，这就需要做出相应的处理。例如制程设备在基于硅烷(SiH4)工艺的生产中，在反应腔内燃气的燃烧需要助燃气如氧气(O2)，由于硅烷(SiH4)会与氧气(O2)产生氧化反应，生产二氧化硅(SiO2)，而此类燃气燃烧废气处理装置为降低氮氧化合物(NOx)的产生，就会采用已在多各行业内广泛运用的多级燃烧方式供气，而此种方式在反应腔提供了多余的氧气。而过多的氧气极易产生上述反应导致二氧化硅粉尘的产生，该粉尘进入废气处理装置内部后，由于装置中的每个喷口都在喷气，气流之间互 相扰乱，导致废气中的颗粒物不但会随气流的方向运动，而且会被其他喷口的气流所干扰，吹到多个喷口之间无喷口的区域，这些颗粒物体积微小，分子间存在相互作用的引力，而且还存在静电吸引力，或者由于高温会产生粘附等等，都会导致颗粒物粘附在喷口周围的表面上，这就会逐渐阻塞废气处理装置内部空间，不但影响处理气体的效率甚至还会造成安全隐患。在工厂的洁净室内，若频繁的维护清理废气处理装置及其与装置后端连接的中央排风管道，不但加重工作人员的负担，还易造成污染物扩散，因此减少废气处理装置维护的频率就变得非常重要。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供了一种废气处理装置，能够避免颗粒物或粉尘粘附在反应腔内，降低维护清理的负担，避免污染物扩散。本技术提供的上述废气处理装置，包括：水箱，所述水箱上部包括相互连通的位于左侧的液淋除尘部件和位于右侧的喷淋洗涤部件，所述液淋除尘部件的上部设置有与其连通的反应腔，所述反应腔的上部具有将废气引入所述反应腔内部的废气进气部件，所述反应腔侧壁的外侧面具有引入助燃气体的供气部件，所述反应腔的侧壁的内侧面覆盖有密集多孔状的金属内筒，且所述供气部件的喷口均位于所述反应腔的侧壁和所述金属内筒之间，且所述喷口均与所述金属内筒的孔相连通。优选的，在上述废气处理装置中，所述金属内筒的形状为圆台形，且所述金属内筒的上表面的直径小于下表面的直径。优选的，在上述废气处理装置中，所述金属内筒的孔为直径范围为0.5毫米至0.8毫米的孔。优选的，在上述废气处理装置中，所述金属内筒为镍金属内筒。优选的，在上述废气处理装置中，所述供气部件包括连接有气罐的风机。优选的，在上述废气处理装置中，所述风机为连接有氧气气罐或压缩空气气罐的风机。从上述技术方案可以看出，本技术所提供的废气处理装置，由于包括水箱，所述水箱上部包括相互连通的位于左侧的液淋除尘部件和位于右侧 的喷淋洗涤部件，所述液淋除尘部件的上部设置有与其连通的反应腔，所述反应腔的上部具有将废气引入所述反应腔内部的废气进气部件，所述反应腔侧壁的外侧面具有引入助燃气体的供气部件，所述反应腔的侧壁的内侧面覆盖有密集多孔状的金属内筒，且所述供气部件的喷口均位于所述反应腔的侧壁和所述金属内筒之间，且所述喷口均与所述金属内筒的孔相连通，因此在连续供风模式下，遍布细小的孔且孔与孔之间的间隙极小的金属内筒的内周面产生向内的气流膜，导致二氧化硅颗粒物无法向金属内筒的内表面靠近附着，从而能够避免颗粒物或粉尘粘附在反应腔内，降低维护清理的负担，避免污染物扩散。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为本申请实施例提供的第一种废气处理装置的示意图；图2为本申请实施例提供的废气处理装置的工作原理示意图。具体实施方式本技术的核心思想在于提供一种废气处理装置，能够避免颗粒物或粉尘粘附在反应腔内，降低维护清理的负担，避免污染物扩散。下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。本申请实施例提供的第一种废气处理装置如图1所示，图1为本申请实施例提供的第一种废气处理装置的示意图。该废气处理装置包括：水箱1，所述水箱1上部包括相互连通的位于左侧的液淋除尘部件2和位于 右侧的喷淋洗涤部件3，所述液淋除尘部件2的上部设置有与其连通的反应腔4，该反应腔4用于包围由燃烧火炬生成的火焰与要处理的尾气，在其内部对要处理的尾气进行分解，降低氮氧化合物的产生；所述反应腔4的上部具有将废气引入所述反应腔4内部的废气进气部件5，所述反应腔4侧壁的外侧面具有引入助燃气体的供气部件6，所述反应腔4的侧壁的内侧面覆盖有密集多孔状的金属内筒7，且所述供气部件6的喷口均位于所述反应腔4的侧壁和所述金属内筒7之间，且所述喷口均与所述金属内筒7的孔相连通，具体的，反应腔的外筒竖立安装在液淋除尘部件2上，金属内筒7被安装在外筒的内周面，具有比外筒小的直径，该外筒内周面和金属内筒外周面之间的空间中，形成安装多级供气装置的空间结构。上述废气处理装置的工作原理如图2所示，图2为本申请实施例提供的废气处理装置的工作原理示意图，废气从位于反应腔上部的废气进气部件5进入该废气处理装置，助燃气从反应腔4左侧穿过金属内筒7的孔之后进入该反应腔4，利用火焰将二者点燃后形成的气体在依次经过液淋除尘部件2的除尘和喷淋洗涤部件3的洗涤之后达到环保标准，离开该废气处理装置。从上述技术方案可以看出，本申请实施例所提供的第一种废气处理装置，由于包括水箱，所述水箱上部包括相互连通的位于左侧的液淋除尘部件和位于右侧的喷淋洗涤部件，所述液淋除尘部件的上部设置有与其连通的反应腔，所述反应腔的上部具有将废气引入所述反应腔内部的废气进气部件，所述反应腔侧壁的外侧面具有引入助燃气体的供气部件，所述反应腔的侧壁的内侧面覆盖有密集多孔状的金属内筒，且所述供气部件的喷口均位于所述反应腔的侧壁和所述金属内筒之间，且所述喷口均与所述金属内筒的孔相连通，因此在连续供风模式下，遍布细小的孔且孔与孔之间的间隙极小的金属内筒的内周面产生向本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种废气处理装置，其特征在于，包括水箱，所述水箱上部包括相互连通的位于左侧的液淋除尘部件和位于右侧的喷淋洗涤部件，所述液淋除尘部件的上部设置有与其连通的反应腔，所述反应腔的上部具有将废气引入所述反应腔内部的废气进气部件，所述反应腔侧壁的外侧面具有引入助燃气体的供气部件，所述反应腔的侧壁的内侧面覆盖有密集多孔状的金属内筒，且所述供气部件的喷口均位于所述反应腔的侧壁和所述金属内筒之间，且所述喷口均与所述金属内筒的孔相连通。

【技术特征摘要】
1.一种废气处理装置，其特征在于，包括水箱，所述水箱上部包括相互连通的位于左侧的液淋除尘部件和位于右侧的喷淋洗涤部件，所述液淋除尘部件的上部设置有与其连通的反应腔，所述反应腔的上部具有将废气引入所述反应腔内部的废气进气部件，所述反应腔侧壁的外侧面具有引入助燃气体的供气部件，所述反应腔的侧壁的内侧面覆盖有密集多孔状的金属内筒，且所述供气部件的喷口均位于所述反应腔的侧壁和所述金属内筒之间，且所述喷口均与所述金属内筒的孔相连通。2.根据权利要求1所述的废气处理装...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，姚翔，
申请(专利权)人：上海盛剑环境系统科技有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31