本实用新型专利技术涉及晶棒单线截断机的辅助设备，旨在提供一种用于晶棒单线截断机的晶棒定距搬运装置。该种用于晶棒单线截断机的晶棒定距搬运装置包括晶棒端面本体、气缸固定架、气缸、吸盘气缸连接杆、吸盘、晶棒端面垫板、导轨、滑块、丝杆、电机、减速机、减速机过渡板、联轴器、电机支撑座、丝杆螺母座、吸盘反馈检测组件、限位开关组件、底座。本实用新型专利技术实现了单晶硅棒长度测量的自动化，有效提高了单晶硅棒的切割精度及生产效率，有利于晶棒单线截断机实现自动化生产。
【技术实现步骤摘要】
本技术是关于晶棒单线截断机的辅助设备领域，特别涉及一种用于晶棒单线截断机的晶棒定距搬运装置。
技术介绍
单晶硅棒从单晶炉拉制出来后，需要进行后续的机械加工，晶棒单线截断机用于截断工序，它将拉制后的单晶硅棒进行切头尾、切样片及等长批量截断切割加工。针对晶棒截断加工过程中，晶棒的生产加工需要对晶棒进行等长批量截断，传统的办法采用人工测量，工作效率低，测量精度不高，不利于晶棒的批量截断加工。
技术实现思路
本技术的主要目的在于克服现有技术中的不足，提供一种能实现单晶硅棒自动化长度测量、搬运，并提高晶棒截断长度准确性的晶棒定距搬运装置。为解决上述技术问题，本技术的解决方案是：提供一种用于晶棒单线截断机的晶棒定距搬运装置，包括晶棒端面本体、气缸固定架、气缸、吸盘气缸连接杆、吸盘、晶棒端面垫板、导轨、滑块、丝杆、电机、减速机、减速机过渡板、联轴器、电机支撑座、丝杆螺母座、吸盘反馈检测组件、限位开关组件、底座；所述导轨设有两根，分别固定在底座上，每根导轨上安装有两个滑块，滑块能沿导轨滑动，滑块安装在晶棒端面本体的底部，使晶棒端面本体能利用滑块沿导轨滑动；所述晶棒端面本体用于安装气缸、晶棒端面垫板和吸盘反馈检测组件，且晶棒端面垫板安装在晶棒端面本体的前端面，即晶棒端面本体前端与晶棒端面的接触面上；所述电机通过电机轴与减速机的输入端连接，减速机通过减速机过渡板固定在电机支撑座上，减速机的输出端通过联轴器与丝杆相连，丝杆通过丝杆螺母座与晶棒端面本体连接；所述气缸通过气缸固定架安装在晶棒端面本体上，所述吸盘通过吸盘气缸连接杆与气缸连接；工作时气缸伸出推动吸盘从晶棒端面本体中穿出，吸盘吸住晶棒端面后气缸缩回，拖动晶棒往后移动，吸盘缩回至晶棒端面本体中，安装于晶棒端面本体前端面的晶棒端面垫板与晶棒接触，即可定位晶棒长度；所述吸盘反馈检测组件包括吸盘反馈轴、吸盘反馈前端撞块、弹簧、接近开关安装座、接近开关，吸盘反馈检测组件安装在晶棒端面本体上；所述吸盘反馈轴的轴上装有弹簧，吸盘反馈轴的头部依次穿过晶棒端面本体和晶棒端面垫板，且吸盘反馈轴的头部装有吸盘反馈前段撞块；当晶棒被拖动往后移动靠紧晶棒端面垫板时，吸盘反馈前段撞块与晶棒端面接触，吸盘反馈前端撞块推动吸盘反馈轴向后移动；所述接近开关安装在接近开关安装座上，用于检测吸盘反馈前段撞块触动的反馈信号；所述限位开关组件包括限位开关感应块、限位开关，限位开关感应块安装在晶棒端面本体上，限位开关安装在底座上；限位开关能通过感应安装于晶棒端面本体上的限位开关感应块，来限制晶棒的搬运范围：限位开关感应块在工作过程中随晶棒端面本体前后移动，且限位开关感应块位于两个限位开关之间，当限位开关感应块靠近限位开关时，限位开关接收信号，限制晶棒端面本体移动，使晶棒端面本体只能在两个限位开关之间移动，通过调整限位开关的安装位置来限制晶棒的搬运范围。作为进一步的改进，所述限位开关组件能实现300mm～700mm范围内晶棒的定距搬运。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术实现了单晶硅棒长度测量的自动化，有效提高了单晶硅棒的切割精度及生产效率，有利于晶棒单线截断机实现自动化生产。本技术搬运平稳，可靠性强，可实现300mm～700mm范围内晶棒的定距搬运，且误差小于0.2mm。附图说明图1为本技术的三维轴测图。图2为本技术的俯视图。图3为本技术的剖视图。图4为本技术中吸盘反馈检测组件的局部视图。图中的附图标记为：1气缸；2吸盘气缸连接杆；3晶棒端面本体；4吸盘反馈检测组件；5丝杆；6限位开关组件；7导轨；8底座；9限位开关感应块；10电机支撑座；11减速机过渡板；12减速机；13电机；14吸盘；15气缸固定架；16晶棒端面垫板；17丝杆螺母座；18滑块；19联轴器；20接近开关；21接近开关安装座；22轴套；23吸盘反馈轴；24弹簧；25吸盘反馈前端撞块；26限位开关。具体实施方式下面结合附图与具体实施方式对本技术作进一步详细描述：如图1、图2、图3所示的一种用于晶棒单线截断机的晶棒定距搬运装置，包括晶棒端面本体3、气缸固定架15、气缸1、吸盘气缸连接杆2、吸盘14、晶棒端面垫板16、导轨7、滑块18、丝杆5、电机13、减速机12、减速机过渡板11、联轴器19、电机支撑座10、丝杆螺母座17、吸盘反馈检测组件4、限位开关组件6、底座8。导轨7设有两根，分别固定在底座8上，每根导轨7上安装有两个滑块18，滑块18能沿导轨7滑动，滑块18安装在晶棒端面本体3的底部，使晶棒端面本体3能利用滑块18沿导轨7滑动。晶棒端面本体3用于安装气缸1、晶棒端面垫板16和吸盘反馈检测组件4；晶棒端面本体3前端与晶棒端面的接触面上装有尼龙材质的晶棒端面垫板16。电机13通过电机轴与减速机12的输入端连接，减速机12通过减速机过渡板11固定在电机支撑座10上，减速机12的输出端通过联轴器19与丝杆5相连，丝杆5通过丝杆螺母座17与晶棒端面本体3连接。气缸1通过气缸固定架15安装在晶棒端面本体3上，所述吸盘14通过吸盘气缸连接杆2与气缸1连接，工作时气缸1伸出推动吸盘14从晶棒端面本体3中穿出，吸盘14吸住晶棒端面后气缸1缩回，拖动晶棒往后移动，吸盘14缩回至晶棒端面本体3中，安装于晶棒端面本体3前端面的晶棒端面垫板16与晶棒接触，即可定位晶棒长度。如图4所示，吸盘反馈检测组件4包括吸盘反馈轴23、吸盘反馈前端撞块25、弹簧24、接近开关安装座21、接近开关20，吸盘反馈检测组件4安装在晶棒端面本体3上。所述吸盘反馈轴23的轴上装有弹簧24，吸盘反馈轴23的头部依次穿过晶棒端面本体3和晶棒端面垫板16，且吸盘反馈轴23的头部装有吸盘反馈前段撞块25，当晶棒被拖动往后移动靠紧晶棒端面垫板16时，吸盘反馈前段撞块25与晶棒端面接触，吸盘反馈前端撞块25推动吸盘反馈轴23向后移动。所述接近开关20安装在接近开关安装座21上，吸盘反馈轴23向后移动靠近接近开关20，接近开关20检测到吸盘反馈前段撞块25触动的反馈信号。限位开关组件6包括限位开关感应块9、限位开关26，限位开关感应块9安装在晶棒端面本体3上，限位开关26安装在底座8上。所述限位开关感应块9在工作过程中随晶棒端面本体3前后移动，且限位开关感应块9位于两个限位开关26之间，当限位开关感应块9靠近限位开关26时，限位开关26接收信号，限制晶棒端面本体3移动，使晶棒端面本体3只能在两个限位开关26之间移动，通过调整限位开关26的安装位置来限制晶棒的搬运范围，能实现300mm～700mm范围内晶棒的定距搬运。工作时，电机13转动通过减速机12带动丝杆5转动，使丝杆螺母座17沿着丝杆5前后移动，丝杆螺母座17固定在晶棒端面本体3上，且滑块18固定于晶棒端面本体3下端，使晶棒端面本体3前后移动；同时气缸1伸出，吸盘14吸住晶棒缩回，靠住晶 棒端面垫板16，触碰吸盘反馈检测组件4的吸盘反馈前端撞块25，确定吸盘14已吸住晶棒，晶棒端面本体3前后移动，待移动到所需要的距离时，可进行后续的切割步骤。最后，需要注意的是，以上列举的仅是本技术的具体实施例。显然，本技术不限于以上实施例，还可以有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于晶棒单线截断机的晶棒定距搬运装置，其特征在于，包括晶棒端面本体、气缸固定架、气缸、吸盘气缸连接杆、吸盘、晶棒端面垫板、导轨、滑块、丝杆、电机、减速机、减速机过渡板、联轴器、电机支撑座、丝杆螺母座、吸盘反馈检测组件、限位开关组件、底座；所述导轨设有两根，分别固定在底座上，每根导轨上安装有两个滑块，滑块能沿导轨滑动，滑块安装在晶棒端面本体的底部，使晶棒端面本体能利用滑块沿导轨滑动；所述晶棒端面本体用于安装气缸、晶棒端面垫板和吸盘反馈检测组件，且晶棒端面垫板安装在晶棒端面本体的前端面，即晶棒端面本体前端与晶棒端面的接触面上；所述电机通过电机轴与减速机的输入端连接，减速机通过减速机过渡板固定在电机支撑座上，减速机的输出端通过联轴器与丝杆相连，丝杆通过丝杆螺母座与晶棒端面本体连接；所述气缸通过气缸固定架安装在晶棒端面本体上，所述吸盘通过吸盘气缸连接杆与气缸连接；所述吸盘反馈检测组件包括吸盘反馈轴、吸盘反馈前端撞块、弹簧、接近开关安装座、接近开关，吸盘反馈检测组件安装在晶棒端面本体上；所述吸盘反馈轴的轴上装有弹簧，吸盘反馈轴的头部依次穿过晶棒端面本体和晶棒端面垫板，且吸盘反馈轴的头部装有吸盘反馈前段撞块；所述接近开关安装在接近开关安装座上，用于检测吸盘反馈前段撞块触动的反馈信号；所述限位开关组件包括限位开关感应块、限位开关，限位开关感应块安装在晶棒端面本体上，限位开关安装在底座上；限位开关能通过感应安装于晶棒端面本体上的限位开关感应块，来限制晶棒的搬运范围。...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶棒单线截断机的晶棒定距搬运装置，其特征在于，包括晶棒端面本体、气缸固定架、气缸、吸盘气缸连接杆、吸盘、晶棒端面垫板、导轨、滑块、丝杆、电机、减速机、减速机过渡板、联轴器、电机支撑座、丝杆螺母座、吸盘反馈检测组件、限位开关组件、底座；所述导轨设有两根，分别固定在底座上，每根导轨上安装有两个滑块，滑块能沿导轨滑动，滑块安装在晶棒端面本体的底部，使晶棒端面本体能利用滑块沿导轨滑动；所述晶棒端面本体用于安装气缸、晶棒端面垫板和吸盘反馈检测组件，且晶棒端面垫板安装在晶棒端面本体的前端面，即晶棒端面本体前端与晶棒端面的接触面上；所述电机通过电机轴与减速机的输入端连接，减速机通过减速机过渡板固定在电机支撑座上，减速机的输出端通过联...
【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱亮，傅林坚，卢嘉彬，沈文杰，邱文杰，杨思炜，陈志聪，邱敏秀，
申请(专利权)人：上虞晶信机电科技有限公司，浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江;33
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