一种减压干燥设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种减压干燥设备，包括底盖和上盖，所述底盖上设置有支撑台，所述底盖和所述上盖相对设置，并且所述底盖和所述上盖之间形成密封空腔，所述支撑台位于所述密封空腔内，其中，所述上盖包括侧壁和与所述侧壁相连的顶盖，所述顶盖的至少一部分能够沿朝向或远离所述底盖的方向移动。本实用新型专利技术提供的减压干燥设备消除了基板上由于光刻胶干燥不均匀导致的膜厚差异性，使得玻璃表面的光刻胶达到更好的膜厚均一性，提高了产品的质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及显示器制造中的光刻工艺领域，具体涉及一种减压干燥设备。
技术介绍
在显示器的生产制造过程中，通常需要进行多次曝光，每次曝光前都需要对基板进行光刻胶的涂覆和涂覆后的减压干燥等工艺。如图1所示，为现有的减压干燥设备结构示意图，主要包括上盖10、底盖11、排气管12、第二驱动装置13和抽压泵14，上盖10和底盖11组合形成密封空腔。但是由于现有的减压干燥设备的排气管位置、腔室内的环境以及支撑台等问题，使得基板上涂覆的光刻胶干燥后出现光刻胶厚度不均匀的问题，影响到后续的生产制造，且该不均匀的问题可能造成产品的显示品质的下降。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种减压干燥设备，通过在上盖上设置可活动部分，在活动部移动时能够改善基板对应活动部所受到的压力，进而改善了减压干燥效果，以解决现有技术中的问题。为实现上述目的，作为本技术的第一个方面，提供一种减压干燥设备，包括底盖、上盖和支撑台，所述底盖和所述上盖相对设置，并且所述底盖和所述上盖之间形成密封空腔，所述支撑台位于所述密封空腔内，其中，所述上盖包括侧壁和与所述侧壁相连的顶盖，所述顶盖的至少一部分能够沿朝向或远离所述底盖的方向移动。优选地，所述顶盖包括活动部和与所述侧壁连接的固定部，所述活动部和所述固定部活动连接，所述活动部能够沿朝向或远离所述底盖的方向移动。优选地，所述活动部包括多个活动段，每相邻两个所述活动段之间活动连接。优选地，所述减压干燥设备还包括第一驱动装置，每个所述活动段与所述第一驱动装置之间均通过第一传动件连接，所述第一驱动装置能够通过所述第一传动件控制各个所述活动段沿朝向或远离所述底盖的方向移动。优选地，所述减压干燥设备还包括第二驱动装置，所述第二驱动装置通过第二传动件与所述支撑台连接，所述第二驱动装置能够通过所述第二传动件控制所述支撑台沿朝向或远离所述上盖的方向移动。优选地，所述减压干燥设备还包括抽压泵和至少一根排气管，所述抽压泵通过所述排气管与所述密封空腔连通，所述抽压泵能够将所述密封空腔内的气体通过所述排气管抽出。优选地，所述底盖上设置有至少一个通孔，每个所述排气管对应一个所述通孔，所述排气管的一端设置在所述通孔中，所述排气管的另一端与所述抽压泵连通。优选地，所述排气管上设置有流量阀门，所述流量阀门能够控制所述排气管中所述气体的流量。优选地，所述上盖的侧壁和所述底盖之间设置有密封圈。本技术提供的减压干燥设备通过在上盖上设置可以活动的活动部，且活动部的多个活动段可以有不同的位置组合，从而可以改变上盖的不同区域到支撑台的距离，实现了对基板上不同区域光刻胶的干燥均匀性的调节，消除了基板上由于光刻胶干燥不均匀导致的膜厚差异性，使得玻璃表面的光刻胶达到更好的膜厚均一性，提高了产品的质量。附图说明附图是用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本技术，但并不构成对本技术的限制。在附图中：图1为现有技术中的减压干燥设备的结构示意图；图2为本技术的减压干燥设备的一种实施方式的结构示意图；图3为本技术的减压干燥设备的另一种实施方式的结构示意图。10、上盖；101、固定部；102、活动部；103、第一驱动装置；104、侧壁；105、顶盖；11、底盖；12、排气管；121、第一通孔；122、第二通孔；13、第二驱动装置；14、抽压泵；15、支撑台；16、密封空腔；17、第一传动件；18、流量阀门；19、支撑架；20、密封圈；21、第二传动件。具体实施方式以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。作为本技术的第一个方面，如图2所示，提供一种减压干燥设备，包括底盖11、上盖10和支撑台15，底盖11和上盖10相对设置，并且底盖11和上盖10之间形成密封空腔16，支撑台15位于密封空腔16内，其中，上盖10包括侧壁104和与侧壁104相连的顶盖105，顶盖105的至少一部分能够沿朝向或远离底盖11的方向移动。本技术提供的一种减压干燥设备将上盖分成顶盖和侧壁两部分，且顶盖的至少一部分可以自由活动，通过顶盖中的至少一部分的自由活动可以改变该部分到支撑台之间的距离，进而可以改善支撑台上的基板对应于上述活动部分所受到的压力，并改善该部分的光刻胶的减压干燥效果，使得光刻胶干燥后的膜厚均匀。作为一种具体地实施方式，如图2所示，顶盖105具体可以包括活动部102和与侧壁104连接的固定部101，活动部102和固定部101活动连接，活动部102能够沿朝向或远离底盖11的方向移动。可以理解的是，顶盖105上的能够活动的部分设置为活动部102，其余的部分作为与侧壁104连接的固定部101。活动部102和固定部101活动连接，优选地，活动部102和固定部101之间可以通过一些弹性材料实现连接，该弹性材料能够保证活动部102自由的活动以及密封空腔16的密闭性。需要说明的是，为了能够进一步保证密封空腔16的真空环境，在使用弹性材料连接活动部102和固定部101时还需要保证活动部102与弹性材料的连接处以及固定部101与弹性材料的连接处的密封性。例如可以通过使用密封胶等保证连接处的密封。还需要说明的是，固定部101和侧壁104可以通过一体形成实现连接，也可以密封固定连接，即固定部101和侧壁104的连接处也同样需要保证密封性。图2中所示的固定部101和侧壁104之间是一体形成的连接方式。为了能够实现光刻胶在基板上各个区域的均匀干燥，优选地，如图2所示，活动部102包括多个活动段，每相邻两个所述活动段之间活动连接。活动部102的多个所述活动段可以有多种组合形式，通过多种组合形式，可以实现上盖10上的不同区域到支撑台15上有多种不同的距离组合。图2和图3所示分别为活动部102的多个所述活动段的两种不同的组合形式。可以理解的是，多个所述活动段不限于图2和图3中的组合形式。需要说明的是，多个所述活动段之间的连接方式也可以是通过前文所述的弹性材料进行连接，同样在连接时也需要保证连接处的密封性。为了使得多个所述活动段能够沿朝向或远离所述底盖的方向移动，作为另一种具体地实施方式，如图2所示，所述减压干燥设备还包括第一驱动装置103，每个所述活动段与第一驱动装置103之间均通过第一传动件17连接，第一驱动装置103能够通过第一传动件17控制各个所述活动段沿朝向或远离底盖11的方向移动。可以理解的是，第一驱动装置103具体可以是驱动活塞缸或马达等装置。当第一驱动装置103为所述驱动活塞缸时，第一传动件17可以为杆件。在安装第一驱动装置103时，将所述驱动活塞缸的缸筒固定在安装基础上，将所述驱动活塞缸的活塞杆与第一传动件17直接相连，通过所述活塞杆的伸缩可以控制第一传动件17的往复移动，从而可以带动相应的活动段往复移动。当第一驱动装置103为马达时，第一传动件17可以是丝杠组件。将所述丝杠组件的螺母固定在安装基础上，将所述丝杠组件的螺杆与马达的输出轴相连。马达输出的旋转运动经丝杠组件转换成直线往复移动，从而可以带动相应的活动段往复移动。当第一驱动装置103为马达时，第一传动件17还可以包括齿轮齿条传动组本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种减压干燥设备，包括底盖、上盖和支撑台，所述底盖和所述上盖相对设置，并且所述底盖和所述上盖之间形成密封空腔，所述支撑台位于所述密封空腔内，其特征在于，所述上盖包括侧壁和与所述侧壁相连的顶盖，所述顶盖的至少一部分能够沿朝向或远离所述底盖的方向移动。

【技术特征摘要】
1.一种减压干燥设备，包括底盖、上盖和支撑台，所述底盖和所述上盖相对设置，并且所述底盖和所述上盖之间形成密封空腔，所述支撑台位于所述密封空腔内，其特征在于，所述上盖包括侧壁和与所述侧壁相连的顶盖，所述顶盖的至少一部分能够沿朝向或远离所述底盖的方向移动。2.根据权利要求1所述的减压干燥设备，其特征在于，所述顶盖包括活动部和与所述侧壁连接的固定部，所述活动部和所述固定部活动连接，所述活动部能够沿朝向或远离所述底盖的方向移动。3.根据权利要求2所述的减压干燥设备，其特征在于，所述活动部包括多个活动段，每相邻两个所述活动段之间活动连接。4.根据权利要求3所述的减压干燥设备，其特征在于，所述减压干燥设备还包括第一驱动装置，每个所述活动段与所述第一驱动装置之间均通过第一传动件连接，所述第一驱动装置能够通过所述第一传动件控制各个所述活动段沿朝向或远离所述底盖的方向移动。5.根据权利要求1-4中任意一项所述的减压干...

【专利技术属性】
技术研发人员：张振宇，韩亚军，龚磊，吴克芳，陈国，
申请(专利权)人：北京京东方显示技术有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11