一种真空设备的旋转导入器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种真空设备的旋转导入器，包括真空腔、密封地插设在所述真空腔内的导入座、安装在所述导入座上且沿自身轴心线方向旋转地插设在所述真空腔内的导入轴，所述导入器还包括安装在所述导入轴的径向方向上的若干电极，所述电极相对所述导入轴固定的安装在所述真空腔内，所述电极与所述导入轴间相绝缘设置，所述导入器还包括密封地插设在所述真空腔内的引线柱，所述电极通过引线连接在所述引线柱上。本实用新型专利技术的旋转导入器，结构简单、操作方便，有效地防止了在运行过程中，电极上的引线缠绕在导入轴上的情况发生，使得导入轴能够高速、连续的进行旋转，同时还增加了实验的多样性、提高了实验的可持续性。

Rotary lead-in device for vacuum equipment

The utility model discloses a rotary guide device of vacuum equipment, including vacuum chamber, hermetically inserted inside the vacuum chamber into the seat, mounted on the import into the shaft base and its rotation along the axis line direction is inserted in the vacuum chamber, the guide device also comprises a plurality of electrode installation in the radial direction of the axis of the import, the electrode relative to the shaft into fixed installed in the vacuum chamber, the electrode and the import shaft phase insulation set, the introducer also includes a sealing plug arranged in the vacuum chamber of lead column, the electrodes are connected in the lead column by wire. The rotating guide device of the utility model has the advantages of simple structure, convenient operation, effectively prevent in the operation process, the lead electrode winding occurs in the import on the shaft, the shaft can import high-speed, continuous rotation, but also increase the experimental diversity and increase the sustainability of the experiment.

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空设备领域，具体涉及一种真空设备的旋转导入器。
技术介绍
现有技术中，为了实现在真空环境中的各项研究分析，通常将探测用的电极连接在旋转导入轴上，其电极引线也直接与旋转导入轴共同安装在导入座上，按照该方法进行电极的安装，在使用过程中，电极会随导入轴的旋转而旋转，从而极易导致电极引线缠绕在导入轴上，不利于检测，为此，急需解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种真空设备的旋转导入器，其解决了现有技术中存在的问题，在导入器中引入了电极，并且该电极的引线不会缠绕在导入轴上，便于检测，同时可实现导入轴的高速、连续旋转。为达到上述目的，本技术采用的技术方案是：一种真空设备的旋转导入器，包括真空腔、密封地插设在所述真空腔内的导入座、安装在所述导入座上且沿自身轴心线方向旋转地插设在所述真空腔内的导入轴，所述导入器还包括安装在所述导入轴的径向方向上的若干电极，所述电极相对所述导入轴固定的安装在所述真空腔内，所述电极与所述导入轴间相绝缘设置，所述导入器还包括密封地插设在所述真空腔内的引线柱，所述电极通过引线连接在所述引线柱上。优选地，所述电极通过轴承套设在所述导入轴的径向外侧部上，所述轴承包括外环、能够相对所述外环旋转的内环，所述内环与外环间相互导电，所述轴承的内环紧密地套设在所述导入轴的径向外侧部上且随所述导入轴的旋转而旋转，所述轴承的内环与所述导入轴相绝缘设置，所述轴承的外环上安装有所述电极且所述轴承的外环相对所述导入轴固定在所述真空腔内。进一步优选地，所述电极或所述轴承的外环通过固定件固定安装在所述真空腔内，所述电极与所述固定件间或所述轴承的外环与所述固定件间相绝缘设置。当导入轴能够沿其自身轴向向真空腔内伸入或缩回时，为了防止固定件磨损，这里所述的固定件是由柔性材料制成的。进一步优选地，所述导入轴的输出端部上还固设有能够随所述导入轴的旋转而旋转的实验台，所述轴承的内环与所述实验台间还连接有引线。优选地，所述导入轴的径向外侧部上套设有绝缘片，用于防止所述导入轴与所述电极间发生导电。优选地，所述导入座与所述真空腔的腔壁间、所述引线柱与所述真空腔的腔壁间均分别通过密封圈相密封设置。由于上述技术方案的运用，本技术与现有技术相比具有下列优点：本技术的旋转导入器，通过将电极相对固定地安装在导入轴上，并将电极通过引线连接在引线柱上从而将电极信号引出真空腔外，这里，通过该设置，使得电极不会随导入轴的旋转而旋转，电极上的引线不会缠绕在导入轴上，不会出现引线断裂的情况发生，使得导入轴能够高速、连续的进行旋转，同时降低了电极的维护率，且该结构简单、操作方便，增加了实验的可能性及提高了实验的持续性。附图说明附图1为本技术所述的真空设备的旋转导入器的结构示意图；其中：1、真空腔；2、导入座；21、导入轴；22、实验台；3、电极；4、引线；5、引线柱；6、固定件；7、轴承；71、外环；72、内环；8、绝缘片；9、密封圈。具体实施方式下面结合附图来对本技术的技术方案作进一步的阐述。参见图1所述，一种真空设备的旋转导入器，包括真空腔1、密封地插设在真空腔1内的导入座2、安装在导入座2上且沿自身轴心线方向旋转的插设在真空腔1内的导入轴21，该导入器还包括安装在导入轴21径向方向上的若干电极3，该电极3相对导入轴21固定的安装在真空腔1内，该电极3与导入轴21间相绝缘设置，导入器还包括密封地插设在真空腔1内的引线柱5，电极3通过引线4连接在引线柱5上，从而将信号引出真空腔1外进行检测分析。这里，该导入座2上与真空腔1的腔壁上均固设有一密封法兰，通过两片法兰及设于该两片法兰间的密封圈9使导入座2密封地插设在真空腔1内；同样的，该引线柱5与也是通过该设置方式密封地插设在真空腔1内的。本例中，该电极3通过轴承7套设在导入轴21的径向外侧部上，该轴承7包括外环71、相对外环71绕自身轴心线方向旋转的内环72，该内环72与外环71间相互导电，这里，该轴承7可以是滚动轴承也可以是滑动轴承。该轴承的内环72紧密地套设在导入轴21的径向外侧部上且随导入轴21的旋转而旋转，该轴承的内环72与导入轴21相绝缘设置，该轴承的外环71上安装有电极3且该轴承的外环71相对导入轴21固定在真空腔1内。通过该设置，使得当导入轴21旋转时，电极3固定在真空腔1内不随导入轴21的旋转而旋转，从而不会导致连接在电极3上的引线4缠绕在导入轴21上的现象发生，使得导入轴21能够高速、连续的旋转，提高了实验的持续性。当然也可采用如下结构：套设在导入轴21径向外侧的、随导入轴21旋转而旋转的导电环片及滑动地连接在环片径向外侧部上的电刷，环片与导入轴21电绝缘，而后将电极3安装在电刷上，通过上述设置，也可实现电极3相对导入轴21固定地安装在真空腔1内。这里，为了确保电极3能相对导入轴21固定地安装在真空腔1内，该电极3或轴承的外环71通过固定件6固定安装在真空腔1内，该电极3与固定件6间或轴承的外环71与固定件6间相绝缘设置。若导入轴21为直线旋转导入轴21时，为了防止固定件6在导入轴21沿其轴向向真空腔1内延伸或缩回过程中发生断裂，这里，该固定件6采用了柔性材料制成。为了防止电极3与导入轴21间发生导电现象，这里，在导入轴21的径向外侧部上套设有绝缘片8，具体的，绝缘片8位于导入轴21与轴承的内环72间。这里，为了在真空腔1内实现检测，在导入轴21的输出端部上固设有能够随导入轴21的旋转而旋转的实验台22，该轴承的内环72与实验台22间也连接有引线4，电极3通过外环、内环引线4将信号传输至实验台22上，完成检测，该设置方式增加了实验的可能性。上述实施例只为说明本技术的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本技术的内容并据以实施，并不能以此限制本技术的保护范围。凡根据本技术精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种真空设备的旋转导入器，包括真空腔、密封地插设在所述真空腔内的导入座、安装在所述导入座上且沿自身轴心线方向旋转地插设在所述真空腔内的导入轴，其特征在于，所述导入器还包括安装在所述导入轴的径向方向上的若干电极，所述电极相对所述导入轴固定的安装在所述真空腔内，所述电极与所述导入轴间相绝缘设置，所述导入器还包括密封地插设在所述真空腔内的引线柱，所述电极通过引线连接在所述引线柱上。

【技术特征摘要】
1.一种真空设备的旋转导入器，包括真空腔、密封地插设在所述真空腔内的导入座、安装在所述导入座上且沿自身轴心线方向旋转地插设在所述真空腔内的导入轴，其特征在于，所述导入器还包括安装在所述导入轴的径向方向上的若干电极，所述电极相对所述导入轴固定的安装在所述真空腔内，所述电极与所述导入轴间相绝缘设置，所述导入器还包括密封地插设在所述真空腔内的引线柱，所述电极通过引线连接在所述引线柱上。2.根据权利要求1所述的真空设备的旋转导入器，其特征在于，所述电极通过轴承套设在所述导入轴的径向外侧部上，所述轴承包括外环、能够相对所述外环旋转的内环，所述内环与外环间相互导电，所述轴承的内环紧密地套设在所述导入轴的径向外侧部上且随所述导入轴的旋转而旋转，所述轴承的内环与所述导入轴相绝缘设置，所述轴承的外环上安装有所述电极且所述轴承的外环相对所述导入轴固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：张磊，
申请(专利权)人：苏州衡微仪器科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32