连接配线制造技术

本发明专利技术提供能够通过防止连接配线间的漏电并且防止水分的侵入来确保可靠性的连接配线。使用在与相邻的连接配线(50)之间的有机绝缘膜(70)的图案边缘对应的位置具有前端尖的突起图案(55a)的形状的掩模进行过曝光。由此，由连接配线(50)夹着的有机绝缘膜(70)的斜面的倾斜变得平缓，因此，在形成连接配线(50)时，抗蚀剂的膜厚沿着有机绝缘膜(70)的边缘线变厚的情况得到抑制。其结果，抗蚀剂不再连接着残留在由相邻的连接配线(50)夹着的区域，能够防止相邻的连接配线间的漏电。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及连接配线，尤其涉及用于在从母玻璃基板切出液晶面板之前从外部输入液晶面板的检查信号等的连接配线。
技术介绍
以往，在横向电场方式的液晶显示装置的液晶面板中，为了防止对显示区域的扫描信号线和数据信号线施加的信号因寄生电容而变钝，在扫描信号线和数据信号线上形成厚的有机绝缘膜，在其上形成共用电极。由此，扫描信号线以及数据信号线与共用电极之间的寄生电容减小，因此，信号的变钝降低。但是，当在形成于有机绝缘膜上的导电膜上形成抗蚀剂图案，并以此为掩模进行蚀刻来形成配线层时，有机绝缘膜的膜厚较厚，因此，沿着有机绝缘膜的边缘线，抗蚀剂的膜厚变厚，本来应该在显影时被除去的抗蚀剂容易连接着残留。该沿着边缘线残留的抗蚀剂，在对导电膜进行蚀刻时成为将导电膜的一部分覆盖的掩模，因此，导电膜将沿着边缘线连接着残留。相邻的连接配线会经由该残留的导电膜电连接，存在在连接配线间产生漏电的问题。因此，专利文献1中公开了：在构成液晶面板的阵列基板上，在对在具有厚的膜厚的层间绝缘膜上形成的像素电极材料进行图案化来形成配线之前，为了使层间绝缘膜的端部的倾斜缓和，在层间绝缘膜的端部中的由相邻的安装端子夹着的区域的端部设置凸部。由此，层间绝缘膜的倾斜变得平缓。其结果，在层间绝缘膜的凸部上形成的抗蚀剂的膜厚变薄，抗蚀剂不会在显影后以连接的状态残留。因此，相邻的安装端子不再会被电连接，安装端子间不再会发生漏电。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开平11-24101号公报
技术实现思路
专利技术要解决的技术问题但是，在专利文献1公开的阵列基板上，作为层间绝缘膜使用的有机绝缘膜的边缘部没有被无机绝缘膜覆盖。因此，空气中的水分会经由有机绝缘膜侵入到配线内部，使构成配线的金属膜腐蚀，或使无机绝缘膜容易剥离。由此，产生配线的可靠性降低的问题。另外，若水分侵入到液晶面板的内部，则扫描信号线驱动电路的配线会受到腐蚀，成为显示不均匀的原因。因此，本专利技术的目的在于，提供一种能够通过防止连接配线间的漏电并且防止水分的侵入来确保可靠性的连接配线。用于解决技术问题的手段本专利技术的第一方面是一种用于在形成有多个单元的透明基板中，将在上述多个单元分别设置的配线与在上述透明基板的没有形成上述单元的区域形成的共用配线连接的多根连接配线，其中，上述多个单元在分割后成为基于从外部提供的图像数据在显示部显示图像的显示装置，上述连接配线的特征在于：上述连接配线以在上述单元中横穿台阶部的方式形成，上述台阶部包括：配置在上述显示部的外侧的导电层；形成在上述导电层上的第一无机绝缘膜；形成在上述第一无机绝缘膜上的有机绝缘膜；和形成在上述有机绝缘膜上的第二无机绝缘膜，由相邻的上述多根连接配线夹着的区域中的上述有机绝缘膜的斜面的倾斜，比上述连接配线中的斜面的倾斜平缓。本专利技术的第二方面的特征在于，在本专利技术的第一发面中，从由相邻的上述连接配线夹着的区域的上述有机绝缘膜的斜面向上述第二无机绝缘膜的边缘部去，形成有至少1个突起部，上述突起部为随着向前端去而宽度变窄并且厚度变薄的形状，包括上述突起部的上述有机绝缘膜由上述第二无机绝缘膜覆盖。本专利技术的第三方面的特征在于，在本专利技术的第一方面中，上述有机绝缘膜由感光性树脂构成，上述突起部通过使用具有突起图案的掩模进行比恰当时间长的时间的曝光而形成。本专利技术的第四方面的特征在于，在本专利技术的第一方面中，上述连接配线包括由透明导电膜构成的第一连接配线。本专利技术的第五方面的特征在于，在本专利技术的第四方面中，上述连接配线还包括在上述第一连接配线与上述有机绝缘膜之间形成的由透明导电膜构成的第二连接配线，上述第二连接配线的宽度比上述第一连接配线的宽度窄，上述第一连接配线和上述第二连接配线在设置于上述台阶部的接触区域电连接。本专利技术的第六方面的特征在于，在本专利技术的第五方面中，沿着上述第二连接配线的长度方向，在上述第二连接配线的上表面和下表面中的任一个上，形成有由电阻率比上述第二连接配线的电阻率小的金属构成的第三连接配线。本专利技术的第七方面的特征在于，在本专利技术的第六方面中，构成上述第三连接配线的金属膜是铜、钼、铝、它们的合金以及铝与钼的层叠膜中的任一种。本专利技术的第八方面的特征在于，在本专利技术的第一方面中，在由相邻的连接配线夹着的区域的上述有机绝缘膜，在比上述台阶部的上表面低的位置的斜面，形成有具有与上述透明基板的表面大致平行的平面的中间区域。本专利技术的第九方面的特征在于，在本专利技术的第八方面中，上述中间区域通过使用具有半色调部的掩模进行曝光和显影而形成，其中，上述半色调部的膜厚被调整为使得透射率处于不使光透射的遮光部与使光直接透射的开口部之间。本专利技术的第十方面的特征在于，在本专利技术的第八方面中，上述中间区域通过使用具有灰色调部(gray tone portion)的掩模进行曝光和显影而形成，其中，上述灰色调部是在遮光膜上设置多个狭缝而得到的。本专利技术的第十一方面的特征在于，在本专利技术的第二或第八方面中，在上述由相邻的连接配线夹着的区域形成的上述突起部或上述中间区域，还形成在没有形成上述单元的区域。本专利技术的第十二方面的特征在于，在本专利技术的第一方面中，上述连接配线，为了检查在上述显示部形成的扫描信号线或数据信号线的断线和短路中的至少任一个，对在上述透明基板上形成的多个单元的与上述扫描信号线和上述数据信号线连接的检查用配线，提供从上述共用配线输入的检查信号。本专利技术的第十三方面的特征在于，在本专利技术的第一方面中，上述显示装置是通过对在上述显示部由像素电极和共用电极夹持的液晶层施加电压来控制光的透射率从而显示图像的液晶显示装置，在上述透明基板上形成的上述多个单元的上述连接配线，在使预先混合在上述液晶层中的光聚合性单体或低聚物聚合而形成对没有施加电压时的上述液晶层中包含的液晶分子的取向方向进行控制的取向维持层时，经由与上述像素电极连接的数据信号线对上述像素电极输入用于形成上述取向维持层所需要的信号，在上述像素电极与上述共用电极之间对上述液晶层施加电压。本专利技术的第十四方面的特征在于，在本专利技术的第十三方面中，上述液晶显示装置还包括辅助电容配线，在该辅助电容配线与上述像素电极之间形成辅助电容，在上述透明基板上形成的上述多个单元的上述连接配线，在使预先混合在上述液晶层中的光聚合性单体或低聚物聚合而形成上述取向维持层时，经由上述辅助电容配线对上述像素电极输入用于形成上述取向维持层所需要的信号，在上述像素电极与上述共用电极之间对上述液晶层施加电压。专利技术效果根据上述第一方面，由相邻的多根连接配线夹着的区域中的有机绝缘膜的斜面的倾斜，比连接配线中的有机绝缘膜的斜面的倾斜平缓。由此，为了对连接配线进行图案化而涂敷的抗蚀剂的膜厚不会沿着连接配线间的区域的有机绝缘膜的边缘线变厚，因此，抗蚀剂难以在相邻的连接配线间以连接着的状态残留。因此，难以发生由相邻的连接配线被电连接而引起的漏电。另外，有机绝缘膜的端部被第二无机绝缘膜覆盖，因此，不再会出现空气中的水分从有机绝缘膜的端部侵入，使配线的可靠性降低的情况。根据上述第二方面，在由相邻的多根连接配线夹着的区域，从有机绝缘膜的斜面向第二绝缘膜的边缘部去，形成有至少1个突起部。由此，在连接配线间的区域中，有机绝缘膜的斜面的倾斜与连接配线中的有机绝缘膜的斜面的倾斜相比，因突起部的形成而相应本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种连接配线，其是用于在形成有多个单元的透明基板中，将在所述多个单元分别设置的配线与在所述透明基板的没有形成所述单元的区域形成的共用配线连接的多根连接配线，其中，所述多个单元在分割后成为基于从外部提供的图像数据在显示部显示图像的显示装置，所述连接配线的特征在于：所述连接配线以在所述单元中横穿台阶部的方式形成，所述台阶部包括：配置在所述显示部的外侧的导电层；形成在所述导电层上的第一无机绝缘膜；形成在所述第一无机绝缘膜上的有机绝缘膜；和形成在所述有机绝缘膜上的第二无机绝缘膜，由相邻的所述多根连接配线夹着的区域中的所述有机绝缘膜的斜面的倾斜，比所述连接配线中的斜面的倾斜平缓。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.05.22 JP 2014-1065651.一种连接配线，其是用于在形成有多个单元的透明基板中，将在所述多个单元分别设置的配线与在所述透明基板的没有形成所述单元的区域形成的共用配线连接的多根连接配线，其中，所述多个单元在分割后成为基于从外部提供的图像数据在显示部显示图像的显示装置，所述连接配线的特征在于：所述连接配线以在所述单元中横穿台阶部的方式形成，所述台阶部包括：配置在所述显示部的外侧的导电层；形成在所述导电层上的第一无机绝缘膜；形成在所述第一无机绝缘膜上的有机绝缘膜；和形成在所述有机绝缘膜上的第二无机绝缘膜，由相邻的所述多根连接配线夹着的区域中的所述有机绝缘膜的斜面的倾斜，比所述连接配线中的斜面的倾斜平缓。2.如权利要求1所述的连接配线，其特征在于：从由相邻的所述连接配线夹着的区域的所述有机绝缘膜的斜面向所述第二无机绝缘膜的边缘部去，形成有至少1个突起部，所述突起部为随着向前端去而宽度变窄并且厚度变薄的形状，包括所述突起部的所述有机绝缘膜由所述第二无机绝缘膜覆盖。3.如权利要求2所述的连接配线，其特征在于：所述有机绝缘膜由感光性树脂构成，所述突起部通过使用具有突起图案的掩模进行比恰当时间长的时间的曝光而形成。4.如权利要求1所述的连接配线，其特征在于：所述连接配线包括由透明导电膜构成的第一连接配线。5.如权利要求4所述的连接配线，其特征在于：所述连接配线还包括在所述第一连接配线与所述有机绝缘膜之间形成的由透明导电膜构成的第二连接配线，所述第二连接配线的宽度比所述第一连接配线的宽度窄，所述第一连接配线和所述第二连接配线在设置于所述台阶部的接触区域电连接。6.如权利要求5所述的连接配线，其特征在于：沿着所述第二连接配线的长度方向，在所述第二连接配线的上表面和下表面中的任一个上，形成有由电阻率比所述第二连接配线的电阻率小的金属构成的第三连接配线。7.如权利要求6所述的连接配线，其特征在于：构成所述第三连接配线的金属膜是铜、钼、铝、它们的合金以及铝与钼的层叠膜中的任一种。8.如权利要求1所述的连接配...

【专利技术属性】
技术研发人员：久保田智文，宫本和茂，三村泰裕，中武靖裕，中嶋和也，
申请(专利权)人：夏普株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP