一种微针的制作方法技术

本发明专利技术提供一种微针的制作方法，涉及采用ＩＣ制程的微针的制作方法。传统的微针制作工艺步骤较多、制作成本高，且很难制作出纳米针。本发明专利技术的方法包括下列步骤：首先提供一基板，并在基板上形成一微针材料层；接着，对微针材料层进行光刻和刻蚀，形成多个柱形微针；以及对柱形微针进行离子轰击，以形成针尖。采用本发明专利技术的方法能够实现纳米级别的微针或微针阵列的制作，且方法简单、制作成本较低。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微针的制作方法，其特征在于，包括：　　　　ａ）提供一基板，并在基板上形成一微针材料层；　　　　ｂ）对微针材料层进行光刻和刻蚀，形成多个柱形微针；以及　　　　ｃ）对所述柱形微针进行离子轰击，以形成针尖。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：洪中山，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：31[中国|上海]