基板固定装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种不导致装置构成的复杂化及装置整体的大型化而确实地固定基板的基板固定装置。本发明专利技术的基板固定装置具备平台以及夹抓机构，其中，前述夹抓机构包括：多个夹具，其与基板的各边对应而设置，并可在将基板予以固定的固定位置、与将基板予以释放的释放位置之间移动；以及动力传达机构，其在对应于基板的相对向的两边之中的一边而设置的一边侧夹具、与对应于另一边而设置的另一边侧夹具之间传达用以移动夹具的驱动力；而动力传达机构具有：滑动构件，其随着前述一边侧夹具的移动、或随着对前述一边侧夹具传达驱动力的构件的移动而往预定方向滑动移动，来对前述另一边侧夹具传达驱动力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及用以固定基板的基板固定装置。
技术介绍
就上述类型的基板固定装置而言，有一种基板固定装置如专利文献1所示，为用于对基板照射离子束的离子束照射装置，并具备载置呈大致矩形形状的基板的平台及夹抓机构；该夹抓机构在该夹抓机构与该平台之间固定基板。具体而言，该夹抓机构具备与基板的彼此相对向的两边分别对应而设置的一对夹具以及致动器；该致动器与各夹具对应而设置以使各夹具在固定基板的固定位置与释放基板的释放位置之间移动。然而，在上述构成的基板固定装置中，由于仅以相对向的两边固定基板，故有基板会朝与该相对向方向正交的方向位置偏移之虞。上述问题尤其在离子束注入装置使水平地载置的基板立起并注入离子射束时，往与离子束交叉的方向扫描基板的情况下更为显著。另一方面，若与基板的各边分别对应而设置夹具，则需要与所增加的夹具数量相当的致动器，而导致装置构成的复杂化及装置整体的大型化。[现有技术文献][专利文献]专利文献1：日本特开2001-107235号公报
技术实现思路
(专利技术所欲解决的课题)因此，本专利技术为用以解决上述问题点而研创，主要专利技术目的在于提供一种不会导致装置构成的复杂化及装置整体的大型化而确实地固定基板的基板固定装置。(解决课题的手段)也就是，本专利技术的基板固定装置具备载置呈大致矩形形状的基板的平台以及夹抓机构，该夹抓机构在该夹抓机构与前述平台之间固定前述基板；其中，前述夹抓机构包括：多个夹具，其与前述基板的各边对应而设置，并可在将前述基板予以固定的固定位置、与将前述基板予以释放的释放位置之间移动；以及动力传达机构，其在对应于前述基板的相对向的两边之中的一边而设置的一边侧夹具与对应于另一边而设置的另一边侧夹具之间传达用以移动前述夹具的驱动力；而前述动力传达机构具有：滑动构件，其随着前述一边侧夹具的移动、或随着对前述一边侧夹具传达前述驱动力的构件的移动，而往预定方向滑动移动，来对前述另一边侧夹具传达前述驱动力。依据上述基板固定装置，由于夹具与基板的各边对应而设置，故可确实地固定基板，并且，由于滑动构件随着一边侧夹具的移动或随着对该一边侧夹具传达驱动力的构件的移动而滑动移动，来对另一边侧夹具传达驱动力，故可使用共通的致动器来使一边侧夹具及另一边侧夹具移动，进而谋求装置构成的简化及装置整体的小型化。本专利技术的基板固定装置优选：构成为前述一边侧夹具及前述另一边侧夹具的相对向方向是与前述基板对于前述平台搬入搬出的基板搬入搬出方向大致一致。只要为该构成，即可将于一边侧夹具及另一边侧夹具共通使用的致动器避开基板搬入搬出侧而配置，使致动器不会妨碍基板搬入搬出。相对于此，以往的与各夹具分别对应而设置致动器的构成中，若要使一边侧夹具及另一边侧夹具的相对向方向与基板搬入搬出方向一致，则配置于基板搬入搬出侧的致动器会妨碍基板的搬入搬出。本专利技术的基板固定装置优选：前述一边侧夹具或前述另一边侧夹具之中的基板搬入搬出侧的夹具，是构成为于前述释放位置中位于比前述平台的基板载置面更靠下方的位置。只要为该构成，由于基板的搬入搬出不会被夹具妨碍，故可将搬入搬出的基板的高度维持在既有的设定，换言之，可不变更搬运基板的搬运机器人的设定而将基板搬入搬出。本专利技术的基板固定装置优选：前述动力传达机构具备：第一传达要素，其对侧边侧夹具传达前述驱动力，该侧边侧夹具与和前述基板的前述相对向
的两边不同的至少一边对应而设置；以及第二传达要素，其对前述一边侧夹具传达前述驱动力；经由前述第一传达要素、前述第二传达要素及前述滑动构件来将前述驱动力分别传达至前述侧边侧夹具、前述一边侧夹具及前述另一边侧夹具。只要为该构成，可通过来自共通的致动器的驱动力使与基板的至少三边分别对应而设置的夹具移动，以谋求更优选的装置构成的简化及装置整体的小型化。本专利技术的基板固定装置优选：前述夹具是构成为被弹性构件往前述固定位置弹推，并通过前述驱动力而从前述固定位置往前述释放位置移动，且在前述夹具位于前述固定位置的状态下，在前述夹具与前述动力传达机构之间形成有不使前述驱动力作用于前述夹具的空隙。只要为该构成，由于位于固定位置的各夹具为以不受驱动力作用的状态(也就是以彼此独立的状态)个别地固定基板，故即便假设有一个夹具因夹住存在于基板上的微粒等而自固定位置稍微浮起，也可通过其他夹具确实地固定基板。本专利技术的基板固定装置优选：基板固定装置还具备比前述平台的基板载置面更往上方突出的挡止件，并且前述挡止件设置成可在制止位置与退出位置之间移动，该制止位置是接触载置于前述基板载置面的基板的外缘而制止该基板的移动的位置，该退出位置为相对于前述基板退出至比前述制止位置更靠外侧的位置。只要为该构成，通过位于制止位置的挡止件接触基板的外缘而可防止过度的基板的位置偏移或基板的掉落，并且在通过搬运机器人抬起基板时，使挡止件从制止位置往退出位置移动而使挡止件与基板成为非接触，由此可防止基板端面与挡止件摩擦而产生微粒。相对于此，在挡止件被固定于预定位置时，当通过搬运机器人将基板抬起时，基板端面与挡止件摩擦而可能会产生微粒。本专利技术的基板固定装置优选：前述平台为可在递送前述基板的水平姿势与自该水平姿势立起的立起姿势之间移动，前述挡止件设于位于前述立起姿势的前述平台的下侧。只要为该构成，在使平台自水平姿势移动成立起姿势之际等情形，可防
止基板自平台掉落。本专利技术的基板固定装置优选：上述基板固定装置还具备：旋转构件，其与前述滑动构件的滑动移动连动而绕着预定的旋转中心旋转；以及转换机构，其将前述旋转构件的旋转驱动力转换成沿着前述挡止件的移动方向的直线驱动力；并且构成为将通过前述转换机构而转换得来之前述直线驱动力传达至前述挡止件。只要为该构成，由于与挡止件的移动连动而将直线驱动力传达至挡止件，故可使夹具与挡止件连动，而无须用以使挡止件移动的专用的致动器。本专利技术的基板固定装置优选：前述转换机构包括设于前述旋转构件或固定前述挡止件的固定板的一方的滑动体、及形成于另一方以供前述滑动体滑动的滑动空间，并构成为随着前述旋转构件的旋转，前述滑动体在前述滑动空间滑动，且前述固定板沿着前述挡止件的移动方向移动，并构成为在前述挡止件位于前述制止位置的状态下，于前述平台移动至立起姿势时，前述滑动体位于前述旋转中心的垂直上方的位置。只要为该构成，在使平台立起时，即便在挡止件位于制止位置的状态下对固定板施加荷重，也由于使滑动体位于旋转中心的垂直上方的位置，故该滑动体不会旋转，且固定板不会移动。由此，即便是基板掉落的情形，也可防止挡止件往下方偏移。(专利技术的功效)依据如上述所构成的本专利技术，不会导致装置构成的复杂化及装置整体的大型化而可确实地固定基板。附图说明图1为从表面侧观看本实施例的基板固定装置的示意图。图2为从背面侧观看本实施例的基板固定装置的示意图。图3用以说明本实施例的第一传达机构的示意图。图4用以说明本实施例的第一夹具的动作的图(A1－A1'剖面图)。图5用以说明本实施例的第二传达机构的示意图。图6用以说明本实施例的第二夹具的动作的图(A2－A2'剖面图)。图7用以说明本实施例的第三传达机构的示意图。图8用以说明本实施例的挡止件的动作的示意图。图9用以说明本实施例的连动机构的示意图。图10用以说明变形实施例的连动机构的示意图。符号说本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板固定装置，其特征为具备载置呈矩形形状的基板的平台、以及夹抓机构，该夹抓机构在该夹抓机构与前述平台之间固定前述基板；其中，前述夹抓机构包括：多个夹具，其与前述基板的各边对应而设置，并可在将前述基板予以固定的固定位置、与将前述基板予以释放的释放位置之间移动；以及动力传达机构，其在对应于前述基板的相对向的两边之中的一边而设置的一边侧夹具、与对应于另一边而设置的另一边侧夹具之间传达用以移动前述夹具的驱动力；而前述动力传达机构具有：滑动构件，其随着前述一边侧夹具的移动、或随着对前述一边侧夹具传达前述驱动力的构件的移动，而往预定方向滑动移动，来对前述另一边侧夹具传达前述驱动力。

【技术特征摘要】
2015.05.08 JP 2015-0960771.一种基板固定装置，其特征为具备载置呈矩形形状的基板的平台、以及夹抓机构，该夹抓机构在该夹抓机构与前述平台之间固定前述基板；其中，前述夹抓机构包括：多个夹具，其与前述基板的各边对应而设置，并可在将前述基板予以固定的固定位置、与将前述基板予以释放的释放位置之间移动；以及动力传达机构，其在对应于前述基板的相对向的两边之中的一边而设置的一边侧夹具、与对应于另一边而设置的另一边侧夹具之间传达用以移动前述夹具的驱动力；而前述动力传达机构具有：滑动构件，其随着前述一边侧夹具的移动、或随着对前述一边侧夹具传达前述驱动力的构件的移动，而往预定方向滑动移动，来对前述另一边侧夹具传达前述驱动力。2.如权利要求1所述的基板固定装置，其特征为，前述一边侧夹具及前述另一边侧夹具的相对向方向，是与前述基板对于前述平台搬入搬出的基板搬入搬出方向一致。3.如权利要求2所述的基板固定装置，其特征为，前述一边侧夹具及前述另一边侧夹具之中的基板搬入搬出侧的夹具，是构成为于前述释放位置中位于比前述平台的基板载置面更靠下方的位置。4.如权利要求1至3中任一项所述的基板固定装置，其特征为，前述动力传达机构包括：第一传达要素，其对侧边侧夹具传达前述驱动力，该侧边侧夹具与和前述基板的前述相对向的两边不同的至少一边对应而设置；以及第二传达要素，其对前述一边侧夹具传达前述驱动力；并经由前述第一传达要素、前述第二传达要素及前述滑动构件来将前述驱动力分别传达至前述侧边侧夹具、前述一边侧夹具及前述另一边侧夹具。5.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：中泽喜之，小野田正敏，
申请(专利权)人：日新离子机器株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP