【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构,属于蓝宝石窗口片生产加工
技术介绍
蓝宝石(Sapphire)晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能,广泛应用于高亮度LED衬底材料、各种光学元器件、扫描仪窗口材料。蓝宝石窗口片用于光学窗口领域具有以下几个优良特征:1.高光学透射率,蓝宝石晶体有很好的透光性能,其透光范围为0.15~7.5微米,覆盖了紫外、可见、近红外、中红外等波段;2.高耐磨性,膨胀系数仅为5X10-6/度,熔点为2050°C,工作温度可达1900°C,具有优秀的耐热冲击和耐高温性能;3.很好的机械性能,其硬度可达莫氏9级,同时还有很好的抗压强度、压缩强度和弯曲强度,同时具有抗电磁干扰、电磁兼容性能,抗辐射性能、电绝缘性能;随着蓝宝石应用领域的发展,对蓝宝石研磨厚度去除效率、外观等要求也越来越严格。传统的蓝宝石减薄加工采用球墨铸铁配合碳化硼研磨液加工,由于球墨铸铁材质硬,碳化硼颗粒在研磨过程中菱角容易磨损,存在加工效率低、晶片外观划痕多、返修多、研磨液用量多成本高等不足。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的缺陷,提供一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构,利于降低生产成本,减少晶片划痕,提高晶片质量和加工效率。本技术是通过如下的技术方案予以实现的:一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构,包括第一转轴、储液盘、上基盘、上固结磨料磨盘、支撑筒、第二转轴和下基盘,其中,所述储液盘内设有储液槽,所述第一转轴底部与储液盘相连,所述第一转轴外设有支撑架,所述支撑架上设有若干输液管,所述若干输液管底部置于储液槽内,且绕储液盘 ...
【技术保护点】
一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构,包括第一转轴、储液盘、上基盘、上固结磨料磨盘、支撑筒、第二转轴和下基盘,其特征为,所述储液盘内设有储液槽,所述第一转轴底部与储液盘相连,所述第一转轴外设有支撑架,所述支撑架上设有若干输液管,所述若干输液管底部置于储液槽内,且绕储液盘一周均匀间隔设置,所述输液管上设有截流阀;所述上基盘顶部设有法兰盘,所述法兰盘上设有若干支撑柱,所述若干支撑柱绕法兰盘一周均匀间隔设置,且顶部与储液盘相连,所述上基盘与储液盘之间设有若干导液管,所述导液管与储液槽连通,所述上固结磨料磨盘顶部与上基盘底部相连,所述上固结磨料磨盘和上基盘中心均设有轴孔,所述上固结磨料磨盘上设有若干通孔,所述若干通孔与导液管对应连通;所述第二转轴置于支撑筒中心,且与轴孔相对设置,所述第二转轴外设有外齿轮,所述第二转轴外设有支撑座,所述支撑座上设有若干下基盘支撑,所述下基盘底部设有若干凹槽,所述凹槽与下基盘支撑配合,所述下基盘上设有下固结磨料磨盘,所述支撑筒上设有若干内齿,所述若干内齿与外齿轮在同一水平面上。
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构,包括第一转轴、储液盘、上基盘、上固结磨料磨盘、支撑筒、第二转轴和下基盘,其特征为,所述储液盘内设有储液槽,所述第一转轴底部与储液盘相连,所述第一转轴外设有支撑架,所述支撑架上设有若干输液管,所述若干输液管底部置于储液槽内,且绕储液盘一周均匀间隔设置,所述输液管上设有截流阀;所述上基盘顶部设有法兰盘,所述法兰盘上设有若干支撑柱,所述若干支撑柱绕法兰盘一周均匀间隔设置,且顶部与储液盘相连,所述上基盘与储液盘之间设有若干导液管,所述导液管与储液槽连通,所述上固结磨料磨盘顶部与上基盘底部相连,所述上固结磨料磨盘和上基盘中心均设有轴孔,所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡孔林,王禄宝,
申请(专利权)人:江苏吉星新材料有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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