一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构制造技术

技术编号:13996858 阅读:163 留言:0更新日期:2016-11-15 09:39
本实用新型专利技术涉及一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构,包括第一转轴、储液盘、上基盘、上固结磨料磨盘、支撑筒、第二转轴和下基盘,储液盘内设有储液槽,支撑架上设有若干输液管,上基盘顶部设有法兰盘,法兰盘上设有若干支撑柱,上基盘与储液盘之间设有若干导液管,上固结磨料磨盘上设有若干通孔,第二转轴外设有外齿轮,第二转轴外设有支撑座,支撑座上设有若干下基盘支撑,下基盘底部设有若干凹槽,下基盘上设有下固结磨料磨盘,支撑筒上设有若干内齿;本实用新型专利技术利于降低生产成本,减少晶片划痕,提高晶片质量和加工效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构,属于蓝宝石窗口片生产加工

技术介绍
蓝宝石(Sapphire)晶体具有优良的光学性能、物理性能和稳定的化学性能,广泛应用于高亮度LED衬底材料、各种光学元器件、扫描仪窗口材料。蓝宝石窗口片用于光学窗口领域具有以下几个优良特征:1.高光学透射率,蓝宝石晶体有很好的透光性能,其透光范围为0.15~7.5微米,覆盖了紫外、可见、近红外、中红外等波段;2.高耐磨性,膨胀系数仅为5X10-6/度,熔点为2050°C,工作温度可达1900°C,具有优秀的耐热冲击和耐高温性能;3.很好的机械性能,其硬度可达莫氏9级,同时还有很好的抗压强度、压缩强度和弯曲强度,同时具有抗电磁干扰、电磁兼容性能,抗辐射性能、电绝缘性能;随着蓝宝石应用领域的发展,对蓝宝石研磨厚度去除效率、外观等要求也越来越严格。传统的蓝宝石减薄加工采用球墨铸铁配合碳化硼研磨液加工,由于球墨铸铁材质硬,碳化硼颗粒在研磨过程中菱角容易磨损,存在加工效率低、晶片外观划痕多、返修多、研磨液用量多成本高等不足。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术的缺陷,提供一种蓝宝石减薄加工用双面固本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构,包括第一转轴、储液盘、上基盘、上固结磨料磨盘、支撑筒、第二转轴和下基盘,其特征为,所述储液盘内设有储液槽,所述第一转轴底部与储液盘相连,所述第一转轴外设有支撑架,所述支撑架上设有若干输液管,所述若干输液管底部置于储液槽内,且绕储液盘一周均匀间隔设置,所述输液管上设有截流阀;所述上基盘顶部设有法兰盘,所述法兰盘上设有若干支撑柱,所述若干支撑柱绕法兰盘一周均匀间隔设置,且顶部与储液盘相连,所述上基盘与储液盘之间设有若干导液管,所述导液管与储液槽连通,所述上固结磨料磨盘顶部与上基盘底部相连,所述上固结磨料磨盘和上基盘中心均设有轴孔,所述上固结磨料磨盘上设有若...

【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石减薄加工用双面固结磨料研磨机构,包括第一转轴、储液盘、上基盘、上固结磨料磨盘、支撑筒、第二转轴和下基盘,其特征为,所述储液盘内设有储液槽,所述第一转轴底部与储液盘相连,所述第一转轴外设有支撑架,所述支撑架上设有若干输液管,所述若干输液管底部置于储液槽内,且绕储液盘一周均匀间隔设置,所述输液管上设有截流阀;所述上基盘顶部设有法兰盘,所述法兰盘上设有若干支撑柱,所述若干支撑柱绕法兰盘一周均匀间隔设置,且顶部与储液盘相连,所述上基盘与储液盘之间设有若干导液管,所述导液管与储液槽连通,所述上固结磨料磨盘顶部与上基盘底部相连,所述上固结磨料磨盘和上基盘中心均设有轴孔,所述...

【专利技术属性】
技术研发人员:胡孔林王禄宝
申请(专利权)人:江苏吉星新材料有限公司
类型:新型
国别省市:江苏;32

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