用于处理基板的太阳能电池生产装置，及用于处理用于产生太阳能电池的基板的方法制造方法及图纸

本公开提供一种用于处理基板的太阳能电池生产装置。所述太阳能电池生产装置包括：至少一个基板支撑件(12)，经配置以支持所述基板(10)；一个或多个印刷站(11)，经配置以供在定位于所述基板支撑件(12)上的所述基板(10)上形成印刷结构；及检查系统，包括至少一个第一相机(180)，其中所述至少一个第一相机(180)经配置，以在所述基板经过所述至少一个第一相机(180)的视场时，检测定位于所述基板支撑件(12)上的所述基板(10)上的所述印刷结构的位置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本公开的实施例关于用于处理基板的太阳能电池生产装置，且关于用于处理用于产生太阳能电池的基板的方法。本公开的实施例特别关于用于在基板上沉积材料的太阳能电池生产装置，且关于用于在用于产生太阳能电池的基板上沉积材料的方法。本公开的实施例具体关于用于在用于产生太阳能电池的基板上进行丝网印刷的装置。公开背景太阳能电池是将阳光直接转换成电力的光电(PV)装置。在此领域内，已经知道藉由印刷技术(例如丝网印刷)来在基板(例如晶态硅基底)上产生太阳能电池，从而在太阳能电池的正面实现选择性发射器的结构。用于制造太阳能电池的太阳能生产装置可具有有传输路径的线路配置，其中可沿所述传输路径提供多个处理站。所述处理站可包括用于在基板上沉积材料的一个或多个印刷站、检查站及对准站。在生产处理期间，可通过所述处理站中的至少某些部分来传输所述基板，且在所述处理站中的至少某些部分处理所述基板。在各种处理中传输基板及处理基板花费了时间，从而限制了太阳能电池生产装置的生产效率及生产量。综上所述，本公开针对提供用于在基板上沉积材料的太阳能电池生产装置，所述装置具有增加的生产效率和/或生产量。本公开的目标特别是提供用于在基板上沉积材料的太阳能电池生产装置，所述装置能够声生增量的太阳能电池。专利技术概述综上所述，提供用于处理基板的太阳能电池生产装置，及用于处理用于产生太阳能电池的基板的方法。根据所附权利要求书、说明书及附图，本公开的进一步方面、优点及特征是显见的。依据本公开的一方面，提供用于处理基板的太阳能电池生产装置。所述装置包括：至少一个基板支撑件，经配置以支持所述基板；一个或多个印刷站，经配置以在定位于所述基板支撑件上的所述基板上形成印刷结构；及检查系统，包括至少一个第一相机，其中所述至少一个第一相机经配置，以在位于所述基板支撑件上的所述基板经过所述至少一个第一相机的视场时，检测所述基板上的所述印刷结构的位置。依据本公开的另一方面，提供用于在基板上进行丝网印刷的太阳能电池生产装置。所述装置包括：至少一个基板支撑件，经配置以支持所述基板；一个或多个印刷站，经配置以供在定位于所述基板支撑件上的所述基板上沉积印刷结构；及检查系统，包括至少一个矩阵相机及至少一个线性相机，其中所述至少一个线性相机经配置，以检测所述基板上的所述印刷结构的位置，且其中所述至少一个矩阵相机经配置，以具体地在位于所述基板支撑件上的所述基板经过所述至少一个线性相机的视场时，在所述基板上沉积所述印刷结构之前检测所述基板支撑件上的所述基板的位置。依据本公开的又一方面，提供用于处理用于产生太阳能电池的基板的方法。所述方法包括以下步骤：在定位于基板支撑件上的所述基板上形成印刷结构；及在所述基板经过至少一个第一相机的视场时，藉由所述至少一个第一相机，检测所述基板上的所述印刷结构的位置。依据本公开的再一方面，提供用于传输用于产生太阳能电池的基板的方法。所述方法包括以下步骤：在印刷处理期间，相对于印刷装置，移动所述至少一个基板支撑件，具体地其中所述印刷装置在所述印刷处理期间固定在位。实施例亦针对用于实现所公开的方法的装置，且包括用于执行各所述方法方面的装置部件。这些方法步骤可藉由硬件组件、由适当软件所编程的计算机、藉由所述两者的任何组合或以任何其他方式来执行。并且，依据本公开的实施例亦针对用于操作所述装置的方法。其包括用于实现所述装置的每个功能的方法方面。附图简述可藉由参照实施例来拥有本公开的更特定描述，使得可使用详细的方式来了解(以上所简要概述的)以上所载的本公开特征。随附的绘图关于本公开的实施例且说明如下：图1图示依据本文中所公开的实施例的用于处理基板的太阳能电池生产装置的透视图；图2图示依据本文中所公开的进一步实施例的用于处理基板的太阳能电池生产装置的透视图；图3图示依据本文中所公开的实施例的图2的太阳能生产装置的横截前视图；图4图示依据本文中所公开的实施例的图2的太阳能生产装置的平面图；图5图示依据本文中所公开的实施例的图2的太阳能生产装置的侧视图；图6A及6B图示依据本文中所公开的实施例的太阳能电池生产装置的基板支撑件透视图；图7图示依据本文中所公开的进一步实施例的用于处理基板的太阳能电池生产装置的透视图；及图8图示依据本文中所公开的实施例的用于处理用于产生太阳能电池的基板的方法的流程图。实施例详细描述现将详细参照本公开的各种实施例，这些实施例的一个或多个示例是绘示于图式中。在以下绘图说明内，相同的参考标号指的是相同的组件。一般而言，仅描述针对个别实施例的差异。藉由解释本公开来提供各示例，且各示例不意味著作为本公开的限制。进一步地，绘示或描述为一个实施例的部分的特征可用在其他实施例上或与其他实施例结合使用以又产生进一步的实施例。意欲的是，本说明包括这样的修改及变化。依据本公开的一方面，提供用于处理用于产生太阳能电池的基板的太阳能电池生产装置。所述装置包括：至少一个基板支撑件，所述至少一个基板支撑件经配置以支持所述基板；一个或多个印刷站，所述一个或多个印刷站经配置以供在定位于所述基板支撑件上的所述基板上形成印刷结构；及检查系统，包括至少一个第一相机，其中所述至少一个第一相机经配置以在位于所述基板支撑件上的所述基板经过所述至少一个第一相机的视场时，检测所述基板上的所述印刷结构的位置。依据某些实施例，所述印刷结构可包括但不限于印刷轨迹(例如指状物及汇流条(busbar)中的至少一者)、十字形、标记元素及印刷结构中的至少一者。依据某些实施例，所述太阳能电池生产装置经配置以进行以下步骤中的至少一者：丝网印刷、喷墨印刷及激光处理。在某些实施方式中，激光处理可包括在基板中产生孔洞以产生图案，在所述图案处，可沉积印刷浆(printing paste)以形成印刷结构。依据某些实施例，“激光处理”亦可称为“激光印刷”。在某些实施方式中，所述至少一个第一相机包括至少一个线性相机或至少一个矩阵相机。例如，所述至少一个第一相机可为单个线性相机。在其他实施方式中，所述至少一个第一相机可包括单个矩阵相机或矩阵相机系统。作为一示例，所述至少一个第一相机可包括具有至少2个矩阵相机(且具体是具有5个矩阵相机)的矩阵相机的系统。如此申请案各处所使用的术语“视场”(FOV)指的是可以空间中的特定位置及定向通过所述第一相机看见的区域。在拍照时，FOV外面的对象并不被记录在所述照片中。在某些实施方式中，所述基板上的所述印刷结构的所述位置是相对于一个或多个参考点的位置。所述一个或多个参考点可包括(但不限于)所述基板的至少一个特征(例如所述基板的边缘或角落)及由所述太阳能电池生产装置所提供的参考点(例如所述一个或多个印刷站的印刷头)。例如若是执行双印刷时，所述一个或多个参考点亦可包括一个或多个基准点。依据某些实施方式，所述至少一个第一相机(例如线性相机)允许在所述至少一个基板支撑件移动(例如沿传输路径或传输轨迹移动)时，检测所述基板上的所述印刷结构的所述位置。换言之，可在所述至少一个基板支撑件经过所述线性相机(具体地，所述至少一个第一相机的所述视场)时，检测所述基板上的所述印刷结构的所述位置。依据本文中所述的实施例，不需要为了检测所述印刷结构的所述位置而停止所述至少一个基板支撑件。进一步地，当所述至少一个第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于处理基板的太阳能电池生产装置，包括：至少一个基板支撑件，经配置以支持所述基板；一个或多个印刷站，经配置以在定位于所述基板支撑件上的所述基板上形成印刷结构；及检查系统，包括至少一个第一相机，其中所述至少一个第一相机经配置以在定位于所述基板支撑件上的所述基板经过所述至少一个第一相机的视场时，检测所述基板上的所述印刷结构的位置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于处理基板的太阳能电池生产装置，包括：至少一个基板支撑件，经配置以支持所述基板；一个或多个印刷站，经配置以在定位于所述基板支撑件上的所述基板上形成印刷结构；及检查系统，包括至少一个第一相机，其中所述至少一个第一相机经配置以在定位于所述基板支撑件上的所述基板经过所述至少一个第一相机的视场时，检测所述基板上的所述印刷结构的位置。2.如权利要求1所述的装置，其中所述至少一个第一相机包括至少一个线性相机或至少一个矩阵相机。3.如权利要求1或2所述的装置，包括：包括所述一个或多个印刷站的两个或更多个处理站；及至少一个传输装置，经配置以在水平方向及垂直方向上传输所述至少一个基板支撑件，以供在所述两个或更多个处理站间传输所述至少一个基板支撑件。4.如权利要求1至3中的一项所述的装置，其中所述检查系统经配置以供进行所述基板上的印刷结构的质量检查。5.如权利要求1至4中的一项所述的装置，更包括对准系统，所述对准系统经配置以具体地在水平平面中对准所述基板支撑件及印刷装置中的至少一者的位置及角定向中的至少一者。6.如权利要求5所述的装置，其中所述对准系统经配置以基于由所述检查系统所检测的所述印刷结构的所述位置，来调整所述基板支撑件及所述印刷装置中的至少一者的所述位置及所述角定向中的至少一者。7.如权利要求5或6所述的装置，其中所述对准系统是经配置以在所述基板上形成另一印刷结构之前，调整所述基板支撑件及所述印刷装置中的至少一者的所述位置及所述角定向中的至少一者。8.如权利要求5至7中的一项所述的装置，其中所述对准系统经配置，以基于所述基板支撑件上的所述基板上的所述印刷结构的所述经检测位...

【专利技术属性】
技术研发人员：L·德桑蒂，D·吉斯隆，A·巴希尼，T·瓦塞斯，G·帕斯奎林，
申请(专利权)人：应用材料意大利有限公司，
类型：发明
国别省市：意大利;IT