薄膜太阳能电池的加工装置及薄膜太阳能电池的加工方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种有助于缩短形成划线所需时间的薄膜太阳能电池的加工装置及薄膜太阳能电池的加工方法。本发明专利技术的薄膜太阳能电池的加工装置包括：载台，供载置形成着中间层(23)的衬底(10)；刃具，在中间层(23)形成划线(30)；头，将刃具按压至中间层(23)；扫描机构，通过使头相对于载台相对移动而对刃具进行扫描；及控制装置，控制头及扫描机构的动作。控制装置是通过按压刃具而形成划线(30)的加工开始点(30X)，且在形成加工开始点(30X)后一边维持按压刃具的状态一边对刃具进行扫描，由此，在中间层(23)形成划线(30)，且使形成加工开始点(30X)时按压刃具的力即按压力强于形成划线(30)时的按压力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种薄膜太阳能电池的加工装置、及薄膜太阳能电池的加工方法。
技术介绍
以往的薄膜太阳能电池的制造步骤包含形成用于将形成在衬底上的半导体或金属薄膜分割为多个区域的划线的刻划加工。作为刻划加工方法之一，已知有机械刻划法。机械刻划法是一边将刃具按压至半导体或金属薄膜一边对刃具进行扫描，由此在薄膜形成划线。作为机械刻划法的一例的专利文献1的加工方法是在划线的加工前形成露出薄膜的下层的部分即开口部，使刃具下降到开口部中与划线的加工开始点对应的部位，并对所述刃具进行扫描，由此在薄膜形成划线。作为机械刻划法的另一例的专利文献2的加工方法是首先将刀尖的边缘部按压至薄膜，形成切口，接着，使刀尖从薄膜离开，接着，改变刀尖的姿势，将刀尖的倒角部按压至薄膜，且于该状态下对刃具进行扫描，由此在薄膜形成划线。[
技术介绍
文献][专利文献][专利文献1]日本专利第5486057号公报[专利文献2]日本专利特开2013-141702号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]关于薄膜太阳能电池的制造，为了提高生产率，而期望使刻划加工所需的步骤简化，从而缩短加工时间。另一方面，根据专利文献1的加工方法，必须进行在形成划线之前形成开口部的步骤，因此，担心加工步骤复杂化以及担心形成划线所需的时间变长。另外，根据专利文献2的加工方法，在薄膜上形成切口的步骤与形成划线的步骤之间必须进行刃具升降及刃具姿势变更，因此，担心装置的构成复杂化以及担心划线加工所需的
时间变长。此外，用于将薄膜太阳能电池的薄膜进行刻划加工的刃具的刀尖一般而言前端的宽度为数十μm左右，因此，在使刃具朝向加工对象物下降的速度较快的情况下，担心当刃具接触于加工对象物时刀尖损伤。因此，为了使刻划加工所需的时间缩短，而不易采用将使刃具下降的速度加速的方法。本专利技术的目的在于提供一种有助于缩短形成划线所需的时间的薄膜太阳能电池的加工装置、及薄膜太阳能电池的加工方法。[解决问题的技术手段]〔1〕依据本专利技术的薄膜太阳能电池的加工装置的一方式包括：载台，供载置形成着薄膜的衬底；刃具，在所述薄膜形成划线；头，将所述刃具按压至所述薄膜；扫描机构，通过使所述头相对于所述载台相对移动而对所述刃具进行扫描；及控制装置，控制所述头及所述扫描机构的动作；所述控制装置是通过将所述刃具按压至所述薄膜而在所述薄膜形成所述划线的加工开始点，且在形成所述加工开始点后，一边维持将所述刃具按压至所述薄膜的状态一边对所述刃具进行扫描，由此，在所述薄膜形成所述划线，且使形成所述加工开始点时将所述刃具按压至所述薄膜的力即按压力强于形成所述划线时的所述按压力。根据该加工装置，加工开始点形成时的按压力大于划线加工时的按压力，因此，在加工开始点薄膜或积层中途的薄膜容易被剥离。因此，为形成划线而继续对刃具进行扫描，由此，将薄膜或积层中途的薄膜确实地去除，从而稳定地形成划线。而且，由于在形成加工开始点后一边维持刃具被按压的状态一边形成划线，所以，与在划线的加工步骤之前形成开口部的情况及在形成划线的过程中实施刃具升降的情况相比，步骤的内容及刃具的动作得以简化。因此，形成划线所需的时间被缩短。另外，在薄膜太阳能电池包括具备积层结构的薄膜的情况下，形成在衬底的薄膜是指已完成积层的薄膜或积层中途的薄膜。〔2〕依据本专利技术的薄膜太阳能电池的加工装置的一方式包括：载台，供载置形成着薄膜的衬底；头，包括在所述薄膜形成划线的刃具，将所述刃具按压至所述薄膜；扫描机构，通过使所述头相对于所述载台相对移动而对所述刃具进行扫描；及控制装置，控制所述头及所述扫描机构的动作；所述控制装置是通过扫描按压至所述薄膜的所述刃具而在所述薄膜形成作为所述划线的一部分的第1划线，且在形成所述第1划线后，一边维持将所述刃具按压至所述薄膜的状态一边对所述刃具进行扫描，由此，在所述薄膜形成作为所述划线的一部分的第2划线，且在所述第1划线形成时的至少一部分，使将所
述刃具按压至所述薄膜的力即按压力大于所述第2划线形成时的所述按压力。根据该加工装置，第1划线形成时的按压力大于第2划线加工时的按压力，因此，在第1划线薄膜容易被剥离。所以，为了形成第2划线而继续对刃具进行扫描，由此，将薄膜或积层中途的薄膜确实地去除，从而稳定地形成第2划线。而且，由于在形成第1划线后一边维持刃具被按压的状态一边形成第2划线，所以，与在划线的加工步骤之前形成开口部的情况及在形成划线的过程中实施刃具升降的情况相比，步骤的内容及刃具的动作得以简化。因此，形成划线所需的时间被缩短。〔3〕根据所述薄膜太阳能电池的加工装置的一例，所述控制装置是使自所述第1划线的加工开始点到所述第1划线的加工结束点为止的部分形成时的所述按压力大于所述第2划线形成时的所述按压力。根据该加工装置，在自第1划线的加工开始点到加工结束点为止，将薄膜或积层中途的薄膜确实地去除，随之，在第2划线的加工开始点，也将薄膜或积层中途的薄膜确实地去除，从而稳定地形成第2划线。〔4〕根据所述薄膜太阳能电池的加工装置的一例，所述控制装置使形成所述第1划线时的所述刃具的扫描速度慢于形成所述第2划线时的所述刃具的扫描速度。根据该加工装置，在划线的加工步骤中的初期的部分，刃具的扫描速度设定为较慢的速度，因此，利用刃具将薄膜确实地去除。因此，稳定地形成划线。〔5〕根据所述薄膜太阳能电池的加工装置的一例，与所述刃具的长度方向交叉的剖面上的所述刃具的刀尖的形状为圆形。根据该加工装置，与刀尖的剖面包含角的情况相比，在刀尖磨损的情况下，刀尖自初始形状变化的程度较小，因此，在长期使用同一刃具的情况下，划线的完工品质不易产生偏差。〔6〕依据本专利技术的薄膜太阳能电池的加工方法的一方式是通过在将刃具按压至形成在衬底的薄膜的状态下对所述刃具进行扫描而在所述薄膜形成划线，且包括：第1步骤，通过将所述刃具按压至所述薄膜而在所述薄膜形成所述划线的加工开始点；第2步骤，在形成所述加工开始点后，一边维持将所述刃具按压至所述薄膜的状态一边对所述刃具进行扫描，由此在所述薄膜形成所述划线；及第3步骤，使形成所述加工开始点时将所述刃具按压至所述薄膜的力即按压力大于形成所述划线时的所述按压力。根据该加工方法，加工开始点形成时的按压力大于划线加工时的按压力，因此，在加工开始点，薄膜或积层中途的薄膜容易被剥离。因此，为了形成划线而继续对刃具进行扫描，由此，将薄膜或积层中途的薄膜确实地去除，从而稳定地形成划线。而且，由
于在形成加工开始点之后一边维持刃具被按压的状态一边形成划线，所以，与在划线的加工步骤之前形成开口部的情况及在形成划线的过程中实施刃具升降的情况相比，步骤的内容及刃具的动作得以简化。因此，形成划线所需的时间被缩短。〔7〕依据本专利技术的薄膜太阳能电池的加工方法的一方式是通过在将刃具按压至形成在衬底的薄膜的状态下对所述刃具进行扫描而在所述薄膜形成划线，且包括：第1步骤，通过对按压至所述薄膜的所述刃具进行扫描而在所述薄膜形成作为所述划线的一部分的第1划线；第2步骤，在形成所述第1划线后，一边维持将所述刃具按压至所述薄膜的状态一边对所述刃具进行扫描，由此在所述薄膜形成作为所述划线的一部分的第2划线；及第3步骤，在所述第1划线形成时的至少一部分使将所述刃具按压本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜太阳能电池的加工装置，包括：载台，供载置形成着薄膜的衬底；刃具，在所述薄膜形成划线；头，将所述刃具按压至所述薄膜；扫描机构，通过使所述头相对于所述载台相对移动而对所述刃具进行扫描；及控制装置，控制所述头及所述扫描机构的动作；所述控制装置是通过将所述刃具按压至所述薄膜而在所述薄膜形成所述划线的加工开始点，且在形成所述加工开始点后，一边维持将所述刃具按压至所述薄膜的状态一边对所述刃具进行扫描，由此，在所述薄膜形成所述划线，且使形成所述加工开始点时将所述刃具按压至所述薄膜的力即按压力大于形成所述划线时的所述按压力。

【技术特征摘要】
2015.04.30 JP 2015-0934571.一种薄膜太阳能电池的加工装置，包括：载台，供载置形成着薄膜的衬底；刃具，在所述薄膜形成划线；头，将所述刃具按压至所述薄膜；扫描机构，通过使所述头相对于所述载台相对移动而对所述刃具进行扫描；及控制装置，控制所述头及所述扫描机构的动作；所述控制装置是通过将所述刃具按压至所述薄膜而在所述薄膜形成所述划线的加工开始点，且在形成所述加工开始点后，一边维持将所述刃具按压至所述薄膜的状态一边对所述刃具进行扫描，由此，在所述薄膜形成所述划线，且使形成所述加工开始点时将所述刃具按压至所述薄膜的力即按压力大于形成所述划线时的所述按压力。2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池的加工装置，其中与所述刃具的长度方向交叉的剖面上的所述刃具的刀尖的形状为圆形。3.一种薄膜太阳能电池的加工装置，包括：载台，供载置形成着薄膜的衬底；头，包括在所述薄膜形成划线的刃具，将所述刃具按压至所述薄膜；扫描机构，通过使所述头相对于所述载台相对移动而对所述刃具进行扫描；及控制装置，控制所述头及所述扫描机构的动作；所述控制装置是通过扫描按压至所述薄膜的所述刃具而在所述薄膜形成作为所述划线的一部分的第1划线，且在形成所述第1划线后，一边维持将所述刃具按压至所述薄膜的状态一边对所述刃具进行扫描，由此，在所述薄膜形成作为所述划线的一部分的第2划线，且在所述第1划线形成时的至少一部分，使将所述刃具按压至所述薄膜的力即按压力大于所述第2划线形成时的所述按压力。4.根据权利要求3所述的薄膜太阳能电池的加工装置，其中所述控制装置使自所述第1划线的...

【专利技术属性】
技术研发人员：山田充，木下知子，中谷郁祥，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP