一种工作台自适应调平装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种工作台自适应调平装置，包括绕动机构和弹性机构，所述绕动机构包括调平板，所述弹性机构包括弹性支座、弹性机构转轴、多个弹性机构弹性部件，所述多个弹性机构部件分别设置于所述弹性支座的不同受力位置，所述调平板在受力的状态下对所述弹性支座上对应的某受力位置的弹性机构弹性部件施加压力，所述弹性支座上的所述某受力位置以外的受力位置可绕所述弹性机构转轴朝所述调平板转动，并通过对应的弹性机构弹性部件对所述调平板施加弹力。本发明专利技术其体积小，质量轻，结构稳定可靠，涉及接触式光刻机设备技术领域，对手动对准定位及自动对准定位均适用。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种工作台自适应调平装置。
技术介绍
光刻机工作台接触光刻自适应调平机构是光刻机的核心部件对准工作台中的关键机构，该机构直接体现光刻机的研制、生产、制造、装配等技术水平，是光刻机的核心技术。光刻机接触式光刻基本应用原理：自适应调平机构安装于Z工作台上，自适应调平机构上安装放置晶圆片的载片台。光刻掩膜板固定于工作台上方；工作时，通过控制Z工作台上升接触光刻掩膜板，要求晶圆片紧密接触光刻掩膜板，然后将掩模版的图形复印到晶圆片的涂胶面上；图形复印时要求晶圆片涂胶面与掩模版图形面完全紧密接触，才能在晶圆片涂胶面上获得较好的掩模版上的图形，否则，复印到晶圆片上的图形与掩模版上的图形偏移值比较大，造成废品。由于制造、装配误差以及光刻掩膜板的平面误差，无法保证晶圆片与光刻掩膜版硬接触完全贴合，晶圆片涂胶面与掩模版图形面存在一个楔形角，为了消除这个楔形角，工作台必须具备自适应调平功能，弥补制造、加工等误差，保证晶圆片与光刻掩膜版紧密接触。目前国内光刻机配置的调平机构，结构复杂，体积大，质量重，只能应用于手动对准定位光刻机，不适用于自动对准定位光刻机上。自动对准定位光刻机，其调平机构安装于电动控制移动的XY工作台平台上。
技术实现思路
为了克服现有技术的不足，本专利技术提供了一种稳定可靠的工作台自适应调平装置。一种工作台自适应调平装置，包括绕动机构和弹性机构，所述绕动机构包括调平板，所述弹性机构包括弹性支座、弹性机构转轴、多个弹性机构弹性部件，所述多个弹性机构部件分别设置于所述弹性支座的不同受力位置，所述调平板在受力的状态下对所述弹性支座上对应的某受力位置的弹性机构弹性部件施加压力，所述弹性支座上的所述某受力位置以外的受力位置可绕所述弹性机构转轴朝所述调平板转动，并通过对应的弹性机构弹性部件对所述调平板施加弹力。在一个实施例中，还包括调平板限位部件，所述调平板限位部件用于限制所述调平板在设定高度平面上。在一个实施例中，所述弹性支座包括三个弹性支座臂，每个弹性支座臂之间的夹角相同，所述弹性机构弹性部件分别设置于每个弹性支座臂的相同位置。在一个实施例中，所述弹性机构还包括弹性机构导向部件，所述导向部件用于防止所述弹性支座在与所述调平板平行的平面上旋转。在一个实施例中，所述弹性机构还包括弹性机构导向部件，所述弹性支座上设有导向孔，所述调平板上安装所述弹性机构导向部件，所述弹性机构导向部件位于所述导向孔内，防止所述弹性支座在与所述调平板平行的平面上旋转。在一个实施例中，还包括基板，所述绕动机构还包括角接触轴承，所述基板上设有轴承导向支座，所述弹性机构设置在所述基板与调平板之间，所述角接触轴承安装在所述调平板的与基板相对的一面，所述轴承导向支座对所述角接触轴承作滚动导向。在一个实施例中，还包括调平板限位部件，所述调平板限位部件用于限制所述调平板在设定高度平面上，所述调平板限位部件包括上限位块和下限位块，所述下限位块固定在所述基板上，所述上限位块固定在所述调平板上，所述上限位块伸入所述下限位块的下方。在一个实施例中，所述角接触轴承包括三个均匀分布在调平板的圆周上的角接触轴承，所述轴承导向支座包括三个分别与三个角接触轴承对应的轴承导向支座。在一个实施例中，所述弹性机构弹性部件包括球头销、导套、压缩弹簧、弹簧端盖，所述弹性支座上设有导套安装孔，所述导套固定在导套安装孔内，所述球头销的主体位于所述导套内且头部伸出所述导套，所述压缩弹簧设置在所述球头销与弹簧端盖之间，所述弹簧端盖固定在所述弹性支座上。在一个实施例中，还包括上球头柱塞和下球头柱塞，所述上球头柱塞固定在所述下限位块上，所述下球头柱塞固定在所述基板上，所述上球头柱塞和下球头柱塞分别与所述上限位块的上表面和下表面相对。本专利技术的有益效果是：本专利技术其体积小，质量轻，结构稳定可靠，涉及接触式光刻机设备
，对手动对准定位及自动对准定位均适用。本装置结构紧凑，易维护；经试验测试，自适应调平稳定可靠。【附图说明】图1是本专利技术一种实施例的工作台自适应调平装置的爆炸示意图图2是图1的工作台自适应调平装置结构示意图图3是图1的工作台自适应调平装置的另一视角爆炸示意图图4是图1的工作台自适应调平装置的绕动机构爆炸示意图图5是图1的工作台自适应调平装置的基座爆炸示意图图6是图1的工作台自适应调平装置的弹性机构爆炸示意图图7是图6的弹性机构结构示意图图8是图7的弹性机构另一视角结构示意图图9是图6的弹性机构一视角结构示意图图10是图9的弹性机构结构的A-A剖面示意图图11是图1的工作台自适应调平装置局部结构示意图图12是图1的工作台自适应调平装置结构示意图图13是图12的工作台自适应调平装置B-B剖面结构示意图【具体实施方式】以下对专利技术的较佳实施例作进一步详细说明。如图1至13所示，一种实施例的工作台自适应调平装置包括：基座3、绕动机构1、弹性机构2及载片台4。基座3包括基板31、上球头柱塞35、下球头柱塞34、下限位固定块33、防松紧定螺丝37、锁紧螺丝38、垫片39及轴承导向支座32。下球头柱塞34安装于基板31上，上球头柱塞35安装于下限位固定块33上，在一个实施例中，下限位固定块33具有3个，均匀分布在基板31的某个圆周上(相邻的下限位固定块33之间成120°)，用于对绕动机构1上下限位(也即将调平板11限定在设定高度)，控制绕动机构1绕动幅度；通过3个上球头柱塞35的上下调节，可对绕动机构1进行初步平面调平；同时通过向上下调节球头柱塞，改变绕动机构上下位移量，控制弹性机构2对绕动机构1的弹簧反作用力，即实现调节绕动机构1初始状态的接触力。防松紧定螺丝37安装于下限位固定块33上，通过其头部对上球头柱塞35进行自锁，防止长时间工作上球头柱塞35的松动。轴承导向支座32可以具有3个，分别固定于基板31上，以基板轴线为中心，成120度均布，其与上球头柱塞35成60°夹角(即某个上球头柱塞35位于某一组相邻的轴承导向支座32之间)。轴承导向支座32的内侧面对绕动机构1上的轴承12作上下滚动导向。轴承导向支座32的安装孔为腰型孔，安装时可进行向里调节，消除导向面与绕动机构1上的轴承12之间的间隙，避免绕动机构1在绕动过程因间隙发生旋转。锁紧螺丝38通过压紧垫片39对轴承导向支座32进行锁紧，避免长期使用过程中轴承导向支座32发生位移。绕动机构1包括调平板11、轴承座18、偏心头螺丝19、定位销111、内六角圆柱头螺丝110、轴承止动销16、角接触轴承12、轴承隔套17、锁紧螺母15、上限位块13及导向销14(弹性机构导向部件)。调平板11上有3组台阶面，以调平板11轴线为中心成120°均布，用于安装轴承座18。通过台阶侧面及定位销111进行精密定位轴承座18，使用内六角圆柱头螺丝110及偏心头螺丝19进行锁紧，限定轴承座18各方向自由度。成对角接触轴承12通过轴承止动销16、轴承隔套17安装于轴承座18上；使用锁紧螺母15进行锁紧，对角接触轴承12轴向进行预拉，消除轴承间隙；此外三组轴承安装高度一致，避免绕动过程因存在导向间隙导致精度不稳定。上限位块安装于调平板上，120度均布，与角接触轴承成60度夹角；通过上限位块13转接安装方式进行对调平板11进行限位，简化调平板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种工作台自适应调平装置，其特征是，包括绕动机构和弹性机构，所述绕动机构包括调平板，所述弹性机构包括弹性支座、弹性机构转轴、多个弹性机构弹性部件，所述多个弹性机构部件分别设置于所述弹性支座的不同受力位置，所述调平板在受力的状态下对所述弹性支座上对应的某受力位置的弹性机构弹性部件施加压力，所述弹性支座上的所述某受力位置以外的受力位置可绕所述弹性机构转轴朝所述调平板转动，并通过对应的弹性机构弹性部件对所述调平板施加弹力。

【技术特征摘要】
1.一种工作台自适应调平装置，其特征是，包括绕动机构和弹性机构，所述绕动机构包括调平板，所述弹性机构包括弹性支座、弹性机构转轴、多个弹性机构弹性部件，所述多个弹性机构部件分别设置于所述弹性支座的不同受力位置，所述调平板在受力的状态下对所述弹性支座上对应的某受力位置的弹性机构弹性部件施加压力，所述弹性支座上的所述某受力位置以外的受力位置可绕所述弹性机构转轴朝所述调平板转动，并通过对应的弹性机构弹性部件对所述调平板施加弹力。2.如权利要求1所述的工作台自适应调平装置，其特征是，还包括调平板限位部件，所述调平板限位部件用于限制所述调平板在设定高度平面上。3.如权利要求1所述的工作台自适应调平装置，其特征是，所述弹性支座包括三个弹性支座臂，每个弹性支座臂之间的夹角相同，所述弹性机构弹性部件分别设置于每个弹性支座臂的相同位置。4.如权利要求1所述的工作台自适应调平装置，其特征是，所述弹性机构还包括弹性机构导向部件，所述导向部件用于防止所述弹性支座在与所述调平板平行的平面上旋转。5.如权利要求3所述的工作台自适应调平装置，其特征是，所述弹性机构还包括弹性机构导向部件，所述弹性支座上设有导向孔，所述调平板上安装所述弹性机构导向部件，所述弹性机构导向部件位于所述导向孔内，防止所述弹性支座在与所述调平板平行的平面上旋转。6.如权利要求1所述的工作台自适应调平装置，其特征是...

【专利技术属性】
技术研发人员：韦日文，王胜利，胡泓，
申请(专利权)人：深圳市矽电半导体设备有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44