【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及镀膜
,尤其涉及一种离子渗氮及电弧离子镀制备DLC一体化复合方法。
技术介绍
类金刚石薄膜(DLC)是一种介于石墨和金刚石之间的物质,兼具力金刚石和石墨的优良特性,其中金刚石的碳碳是以sp3键形式结合,而石墨的碳碳是以sp2键形式结合。sp3键含量越高,硬度越硬,越有力切削加工,但sp3含量越高,脆性越大,涂层结合力越差。电弧离子镀DLC涂层可以获得sp3含量很高的DLC,但结合力差是目前面临的主要问题。
技术实现思路
为了克服现有技术的结合力差的问题,本专利技术提供了一种离子渗氮及电弧离子镀制备DLC一体化复合方法。为了达到上述目的,本专利技术提供的一种离子渗氮及电弧离子镀制备DLC一体化复合方法,包括以下步骤:步骤S100:用多弧离子镀设备进行离子增强渗氮,渗氮时,气体压力选择0.5-5Pa,氮气流量20-200sccm,灯丝电流为40-60A,灯丝电源电压为20V-100V,灯丝电源电流为10A-50A,工件偏压为300-1000V,根据渗氮层深度的需求,渗氮时间0.5-5小时,渗氮深度为10-50微米,显微硬度约为hv1000;步骤S200:渗氮结束后,直接在工件涂层,涂层时弧流30-80A,工件偏压为0-100V,根据厚度需求,涂层时间为20min-100min,涂层厚度为0.5-3微米,使处理过的工件硬度为hv4000,结合力为1级。优选的,所述步骤100:用多弧离子镀设备进行离子增强渗氮,渗氮时,气体压力选择0.5、1或3Pa,氮气流量50sccm,氢气流量50sccm,灯丝电流为50A,灯丝电源电压为60V,灯丝电源电流为 ...
【技术保护点】
一种离子渗氮及电弧离子镀制备DLC一体化复合方法,包括以下步骤:步骤S100:用多弧离子镀设备进行离子增强渗氮,渗氮时,气体压力选择0.5‑5Pa,氮气流量20‑200sccm,灯丝电流为40‑60A,灯丝电源电压为20V‑100V,灯丝电源电流为10A‑50A,工件偏压为300‑1000V,根据渗氮层深度的需求,渗氮时间0.5‑5小时,渗氮深度为10‑50微米,显微硬度约为hv1000;步骤S200:渗氮结束后,直接在工件涂层,涂层时弧流30‑80A,工件偏压为0‑100V,根据厚度需求,涂层时间为20min‑100min,涂层厚度为0.5‑3微米,使处理过的工件硬度为hv4000,结合力为1级。
【技术特征摘要】
1.一种离子渗氮及电弧离子镀制备DLC一体化复合方法,包括以下步骤:步骤S100:用多弧离子镀设备进行离子增强渗氮,渗氮时,气体压力选择0.5-5Pa,氮气流量20-200sccm,灯丝电流为40-60A,灯丝电源电压为20V-100V,灯丝电源电流为10A-50A,工件偏压为300-1000V,根据渗氮层深度的需求,渗氮时间0.5-5小时,渗氮深度为10-50微米,显微硬度约为hv1000;步骤S200:渗氮结束后,直接在工件涂层,涂层时弧流30-80A,工件偏压为0-100V,根据厚度需求,涂层时间为20min-100min,涂层厚度为0.5-3微米,使处理过的工件硬度为hv4000,结合力为1级。2.根据权利要求1所...
【专利技术属性】
技术研发人员:卢国英,石昌仑,石武昌,兰睿,
申请(专利权)人:常州夸克涂层科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏;32
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