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本发明公开了一种离子渗氮及电弧离子镀制备DLC一体化复合方法。包括以下步骤：步骤S100：用多弧离子镀设备进行离子增强渗氮，渗氮时，气体压力选择0.5‑5pa，氮气流量20‑200sccm，灯丝电流为40‑60A，灯丝电源电压为20V‑10...
该专利属于常州夸克涂层科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过常州夸克涂层科技有限公司授权不得商用。

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