本发明专利技术考虑到由测定夹具使测定值产生误差的三个原因(传输线路的不同，直达波的不同，非传输线路的不同)，能对测定夹具间的测定值差高精度地进行校正。针对相对误差校正电路网模型(38)的全部的系数，利用最大似然法计算似然值，基于如下假设导出该相对误差校正电路网模型：对于从与高频信号的施加或检测有关的信号线端口和信号线端口以外的非信号线端口中选出的所有两个端口间的组合，假设存在直接传输的泄漏信号。利用第一相对误差校正电路网子模型的系数和第二相对误差校正电路网子模型的非信号端口的系数，作为初始值，基于如下假设导出第一相对误差校正电路网子模型：针对仅从信号线端口选出的所有两个端口间的组合，假设存在有在端口间直接传输的泄漏信号；基于如下假设导出第二相对误差校正电路网子模型：假设存在非信号线端口反射的信号。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及测定误差的校正方法以及电子器件特性测定装置，详细而言，涉及根据安装在试验夹具的状态下对电子器件的电学特性进行测定的结果，计算假设将该电子器件安装在基准夹具上进行测定的情况下将会得到的电学特性的推测值的测定误差的校正方法以及电子器件特性测定装置。
技术介绍
以往，有时会将表面安装型电子器件等不具有同轴连接器的电子器件，安装在具有同轴连接器的测定夹具上，经由同轴电缆连接测定夹具和测定装置，测定其电学特性。像这样的测定中，各个测定夹具的特性偏差，或各个同轴电缆以及测定装置的特性的偏差成为测定误差的原因。对于同轴电缆以及测定装置，通过将具有基准特性的标准器经由同轴电缆与测定装置连接并进行测定，能确定测定装置侧相对于连接了标准器的同轴电缆的前端的误差。然而，对于测定夹具，无法高精度地确定安装电子器件的部分的连接端子和用于与同轴电缆连接的同轴连接器之间的电学特性的误差。另外，测定夹具间的特性不容易调整为一致。尤其是在较宽的频带宽度中，调整测定夹具使测定夹具间的特性达到一致非常困难。因此，提出了所谓的相对误差校正法，即，将校正数据取得用试料安装在多个测定夹具上进行测定，根据测定夹具间的测定值的偏差，预先导出对某个测定夹具(以下称为“基准夹具”)和其它的测定夹具(以下称为“试验夹具”)之间的相对误差进行校正的数学式，对于任意的电子器件的电学特性，根据以安装在试验夹具上的状态下测定到的测定值(试验夹具测定值)，利用该数学式，计算与将该电子器件安装在基准夹具上测定到的测定值(试验夹具测定值)相对应的推测值。例如专利文献1公开的相对误差校正方法，作为对基准夹具和试验夹具之间的相对误差进行校正的数学式，利用对每个端口导出将基准夹具的误差的散布矩阵、和去除(中和)试验夹具的误差的散布矩阵合成后得到的散布矩阵的“相对误差校正适配器”。通过对于任意的试料的试验夹具测定值的散布矩阵合成该相对误差校正适配器，来对与该试料的基准夹具测定值相对应的推测值进行计算。相对误差校正适配器能在每个端口对基准夹具、试验夹具双方的至少三个单端口标准试料进行测定，并根据该测定结果进行计算。专利文献1公开的相对误差校正法中，假设仅存在与同高频信号的施加或检测有关的信号线相连接的信号线端口，利用该假设情况下导出的相对误差校正电路网模型，而相对误差校正电路网模型中省略了GND、电源端口等信号线端口以外的非信号线端口的影响。然而，实际上，由于在具有非RF端口的测定夹具间，存在不少非RF端口的差异，像这样的省略成为了相对误差校正中残留误差较大的主要原因。专利文献2针对该问题，公开了通过以试验夹具对非RF端口进行测定，对与未测定非RF端口的基准夹具测定值相对应的推测值进行计算的相对误差校正法。作为用于实施专利文献2公开的相对误差校正法所必须的标准试料，准备非RF端口的数量、并与RF端口连接的试料即可。专利文献1、2所公开的相对误差校正法中，相对误差校正电路网模型省略了将从测定夹具不经由DUT、在测定夹具内直接在端口间传输的信号(以下称为“端口间泄漏信号”)从。实际上，由于在测定夹具中存在不少端口间泄漏信号，因此这样的省略成为了相对误差校正中残留误差的主要原因。专利文献3中针对该问题，公开了在两个端口以上的任意的N个端口测定中，对测定夹具间的端口间泄漏信号的差异也可进行校正的相对误差校正法。作为用于实施专利文献3中公开的相对误差校正法所必须的标准试料，需要准备的试料所具有的端口数量与在任意的N个端口测定中特性不同的最少五个以上的测定端口数量相同。现有技术文献专利文献专利文献1：日本专利第3558086号公报专利文献2：日本专利第4009876号公报专利文献3：日本专利第5246172号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的技术问题即使测定同样的电子器件，用于测定的测定夹具不同，测定值也会产生偏差。由测定夹具使测定值产生偏差的原因，考虑有以下三点。(a)传输路径的不同，即，各端口的信号传输特性不同(b)直达波的不同，即，在端口间信号泄漏的特性不同(c)非传输路径的有无，即，高频信号的施加或检测所涉及的信号线端口以外的非信号线端口(GND端口、电源端口)的有无专利文献1公开的现有技术考虑到(a)，对测定误差进行校正。专利文献2公开的现有技术考虑到(a)以及(c)，对测定误差进行校正。专利文献3公开的现有技术考虑到(a)以及(b)，对测定误差进行校正。然而，专利文献1～3公开的现有技术均不能对(a)、(b)、(c)三点同时进行校正。因此，即使在测定夹具间完全没有误差的理想状态下，理论上也必定残留校正误差。本专利技术鉴于以上情况，提供了一种测定误差的校正方法以及电子器件特性测定装置，能够考虑到由于测定夹具使测定值产生偏差的三个原因(传输路径的不同，直达波的不同，非传输路径的不同)，高精度地对测定夹具间的测定值差进行校正。解决技术问题所采用的技术手段本专利技术为了解决上述问题，提供了如下文所述结构的测定误差的校正方法。测定误差的校正方法是，针对具有与高频信号的施加或检测有关的信号线连接的信号线端口以及所述信号线端口以外的非信号线端口的电子器件的电学特性，根据使所述电子器件与能对所述信号线以及所述非信号线端口进行测定的试验夹具连接的状态下测定到的结果，计算假设使该电子器件与仅能对所述信号线端口进行测定的基准夹具连接的状态下所应该测定得到的、该电子器件的电学特性的推测值。测定误差的校正方法包括第一至第五步骤。所述第一步骤中，在使至少三种能视为具有等同的电学特性的校正数据取得用试料与所述试验夹具连接的状态下，针对各个所述校正数据取得用试料的至少一个信号线端口和至少一个非信号线端口，测定电学特性，且在与所述基准夹具连接的状态下，针对各个所述校正数据取得用试料的至少一个信号线端口，测定电学特性，获得第一测定值。所述第二步骤中，准备使至少一个所述信号线端口和至少一个所述非信号线端口电连接的校正数据取得用连通器件，在使所述校正数据取得用连通器件与所述试验夹具连接的状态下，对该信号线端口以及该非信号线端口进行测定，且在使所述校正数据取得用连通器件与所述基准夹具连接的状态下，对该信号线端口进行测定，获得第二测定值。所述第三步骤中，基于所述第一测定值和所述第二测定值，根据在使所述电子器件与所述试验夹具连接的状态下对所述信号线端口以及所述非信号线端口进行测定的结果，确定数学式，该数学式用于计算假设在使所述电子器件与所述基准夹具连接的状态下对所述信号线端口进行测定所应该得到的该电子器件的电学特性的推测值。所述第四步骤中，对任意的所述电子器件，在与所述试验夹具连接的状态下对所述信号线端口以及所述非信号线端口进行测定。所述第五步骤中，基于所述第四步骤得到的测定值，利用在所述第三步骤确定的所述数学式，计算假设在使该电子器件与所述基准夹具连接的状态下对所述信号线端口进行测定所应该得到的该电子器件的电学特性的推测值。所述第三步骤中确定的所述数学式使用相对误差校正电路网模型来表示，基于如下假设导出所述相对误差校正电路网模型：分别在所述基准夹具和所述试验夹具中，除了在所述信号线端口以及所述非信号线端口的各端口内的信号传输之外，对于从所述信号线端口以及所述非信号线端口中选出的所有两个端口之间的组合，假设存本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种测定误差的校正方法，该校正方法针对具有与高频信号的施加或检测有关的信号线连接的信号线端口以及所述信号线端口以外的非信号线端口的电子器件的电学特性，根据使所述电子器件连接能对所述信号线以及所述非信号线端口进行测定的试验夹具的状态下测定到的结果，计算假设使所述电子器件连接仅能对所述信号线端口进行测定的基准夹具的状态下所应该测定得到的、该电子器件的电学特性的推测值，其特征在于，该校正方法包括：第一步骤，该第一步骤在使至少三种能视为具有等同的电学特性的校正数据取得用试料与所述试验夹具连接的状态下，针对各个所述校正数据取得用试料的至少一个信号线端口和至少一个非信号线端口，测定电学特性，且在与所述基准夹具连接的状态下，针对各个所述校正数据取得用试料的至少一个信号线端口，测定电学特性，获得第一测定值；第二步骤，该第二步骤准备使至少一个所述信号线端口和至少一个所述非信号线端口电连接的校正数据取得用连通器件，在使所述校正数据取得用连通器件与所述试验夹具连接的状态下，对该信号线端口以及该非信号线端口进行测定，且在使所述校正数据取得用连通器件与所述基准夹具连接的状态下，对该信号线端口进行测定，获得第二测定值；第三步骤，该第三步骤基于所述第一测定值和所述第二测定值，根据在使所述电子器件与所述试验夹具连接的状态下对所述信号线端口以及所述非信号线端口进行测定的结果，确定数学式，该数学式用于计算假设在使所述电子器件与所述基准夹具连接的状态下对所述信号线端口进行测定所应该得到的该电子器件的电学特性的推测值；第四步骤，该第四步骤对任意的所述电子器件，在与所述试验夹具连接的状态下对所述信号线端口以及所述非信号线端口进行测定；以及第五步骤，该第五步骤基于所述第四步骤得到的测定值，利用在所述第三步骤确定的所述数学式，计算假设在使该电子器件与所述基准夹具连接的状态下对所述信号线端口进行测定所应该得到的该电子器件的电学特性的推测值，所述第三步骤中确定的所述数学式使用相对误差校正电路网模型来表示，基于如下假设导出所述相对误差校正电路网模型：分别在所述基准夹具和所述试验夹具中，除了在所述信号线端口以及所述非信号线端口的各端口内的信号传输之外，对于从所述信号线端口以及所述非信号线端口中选出的所有两个端口之间的组合，假设存在有未传输至与该两个端口连接的所述电子器件、而在该两个端口间直接传输的泄漏信号，所述第三步骤包含：第一子步骤，该第一子步骤基于所述第一测定值计算第一相对误差校正电路网子模型的第一系数，基于如下假设导出所述第一相对误差校正电路网子模型：分别在所述基准夹具和所述试验夹具中，除了在所述信号线端口的各端口内的信号传输之外，对于仅从所述信号线端口中选出的所有两个端口之间的组合，假设存在有未传输至与该两个端口连接的所述电子器件、而在该两个端口间直接传输的所述泄漏信号；第二子步骤，该第二子步骤基于所述第二测定值计算第二相对误差校正电路网子模型的系数中、所述第一系数对应的所述系数之外的第二系数，基于如下假设导出所述第二相对误差校正电路网子模型：分别在所述基准夹具和所述试验夹具中，除了所述第一相对误差校正电路网模型中的假设之外，还假设存在由所述非信号线端口反射的信号；以及第三子步骤，该第三子步骤针对所述相对误差校正电路网模型的所述系数中、所述第一以及第二系数所对应的所述系数，将所述第一以及第二系数用作初始值，其它的所述系数将规定值用作初始值，利用所述第一以及第二测定值，通过最大似然法对所述相对误差校正电路网模型的全部的所述系数的似然值进行计算，利用计算出的所述似然值确定所述数学式。...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2014.03.04 JP 2014-0411841.一种测定误差的校正方法，该校正方法针对具有与高频信号的施加或检测有关的信号线连接的信号线端口以及所述信号线端口以外的非信号线端口的电子器件的电学特性，根据使所述电子器件连接能对所述信号线以及所述非信号线端口进行测定的试验夹具的状态下测定到的结果，计算假设使所述电子器件连接仅能对所述信号线端口进行测定的基准夹具的状态下所应该测定得到的、该电子器件的电学特性的推测值，其特征在于，该校正方法包括：第一步骤，该第一步骤在使至少三种能视为具有等同的电学特性的校正数据取得用试料与所述试验夹具连接的状态下，针对各个所述校正数据取得用试料的至少一个信号线端口和至少一个非信号线端口，测定电学特性，且在与所述基准夹具连接的状态下，针对各个所述校正数据取得用试料的至少一个信号线端口，测定电学特性，获得第一测定值；第二步骤，该第二步骤准备使至少一个所述信号线端口和至少一个所述非信号线端口电连接的校正数据取得用连通器件，在使所述校正数据取得用连通器件与所述试验夹具连接的状态下，对该信号线端口以及该非信号线端口进行测定，且在使所述校正数据取得用连通器件与所述基准夹具连接的状态下，对该信号线端口进行测定，获得第二测定值；第三步骤，该第三步骤基于所述第一测定值和所述第二测定值，根据在使所述电子器件与所述试验夹具连接的状态下对所述信号线端口以及所述非信号线端口进行测定的结果，确定数学式，该数学式用于计算假设在使所述电子器件与所述基准夹具连接的状态下对所述信号线端口进行测定所应该得到的该电子器件的电学特性的推测值；第四步骤，该第四步骤对任意的所述电子器件，在与所述试验夹具连接的状态下对所述信号线端口以及所述非信号线端口进行测定；以及第五步骤，该第五步骤基于所述第四步骤得到的测定值，利用在所述第三步骤确定的所述数学式，计算假设在使该电子器件与所述基准夹具连接的状态下对所述信号线端口进行测定所应该得到的该电子器件的电学特性的推测值，所述第三步骤中确定的所述数学式使用相对误差校正电路网模型来表示，基于如下假设导出所述相对误差校正电路网模型：分别在所述基准夹具和所述试验夹具中，除了在所述信号线端口以及所述非信号线端口的各端口内的信号传输之外，对于从所述信号线端口以及所述非信号线端口中选出的所有两个端口之间的组合，假设存在有未传输至与该两个端口连接的所述电子器件、而在该两个端口间直接传输的泄漏信号，所述第三步骤包含：第一子步骤，该第一子步骤基于所述第一测定值计算第一相对误差校正电路网子模型的第一系数，基于如下假设导出所述第一相对误差校正电路网子模型：分别在所述基准夹具和所述试验夹具中，除了在所述信号线端口的各端口内的信号传输之外，对于仅从所述信号线端口中选出的所有两个端口之间的组合，假设存在有未传输至与该两个端口连接的所述电子器件、而在该两个端口间直接传输的所述泄漏信号；第二子步骤，该第二子步骤基于所述第二测定值计算第二相对误差校正电路网子模型的系数中、所述第一系数对应的所述系数之外的第二系数，基于如下假设导出所述第二相对误差校正电路网子模型：分别在所述基准夹具和所述试验夹具中，除了所述第一相对误差校正电路网模型中的假设之外，还假设存在由所述非信号线端口反射的信号；以及第三子步骤，该第三子步骤针对所述相对误差校正电路网模型的所述系数中、所述第一以及第二系数所对应的所述系数，将所述第一以及第二系数用作初始值，其它的所述系数将规定值用作初始值，利用所述第一以及第二测定值，通过最大似然法对所述相对误差校正电路网模型的全部的所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：森太一，影山智，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。