位置传感器以及包括其的运送装置和利用其进行位置修正的方法制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种改进的位置传感器、具有该位置传感器的运送装置以及利用该位置传感器进行位置修正的方法。该位置传感器包括至少两个光发射器、光接收器阵列以及基座，所述基座具有中心平面以及在相对的边缘处的向中心倾斜的至少两个斜面，所述至少两个发射器分别被设置所述至少两个斜面上，所述光接收器阵列被放置在所述基座的中心平面处。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及位置检测的领域，具体涉及一种位置传感器以及包括该位置传感器的运送装置和位置修正方法。
技术介绍
在很多电子器件领域，尤其是液晶面板制造领域，经常需要在用于不同工艺处理的设备之间对例如玻璃基板进行运送。而玻璃基板的运送过程中容易出现基板的放置位置的偏差，因此需要检测基板的放置位置，尤其是基板是否对准。为了检测基板是否对齐，尤其需要检测其边缘的位置和取向。现有的位置检测装置往往具有分离式部件，例如具有相互分离的一个发射器和一个接收器（如图1中所示）。该检测装置根据单个发射器和单个接收器给出的信号来检测经过两者之间的基板是否对准。这种检测装置的位置是固定的，难以实现在运送期间的实时测量，并且精度难以满足要求。另外，在基板运送过程中如果检测到基板的放置位置出现偏差，则往往通过硬性的设备中心位置调整来对基板放置位置进行调制，这容易导致基板的破损。
技术实现思路
鉴于以上问题，本专利技术提出了改进的位置传感器、具有该位置传感器的运送装置以及进行位置修正的方法。在一方面中，提出了一种位置传感器，包括至少两个光发射器、光接收器阵列以及基座，所述基座具有中心平面以及在相对的边缘处的向中心倾本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种位置传感器，包括至少两个光发射器、光接收器阵列以及基座，所述基座具有中心平面以及在相对的边缘处的向中心倾斜的至少两个斜面，每个所述斜面上设置有至少一个所述光发射器，所述光接收器阵列设置在所述基座的中心平面处。

【技术特征摘要】
1.一种位置传感器，包括至少两个光发射器、光接收器阵列以及基座，所述基座具有中心平面以及在相对的边缘处的向中心倾斜的至少两个斜面，每个所述斜面上设置有至少一个所述光发射器，所述光接收器阵列设置在所述基座的中心平面处。2.根据权利要求1所述的位置传感器，其中所述光发射器被配置为垂直于各自的斜面发射具有相同的频率的光波，以使得来自所述光发射器的光波到达被测物体之前发生干涉。3.根据权利要求1所述的位置传感器，其中所述光发射器为柱状发射器。4.根据权利要求2所述的位置传感器，其中所述光接收器阵列被配置为接收干涉后直接向下行进到光接收器处的光波分量和/或被所述位置传感器上方的所述被测物体反射之后的光波分量。5.根据权利要求4所述的位置传感器，其中，根据所述光接收器阵列中接收到低强度的光波的光接收器与接收到高强度的光波的光接收器之间的接收到剧变光波的光接收器的位置来确定所述被测物体的位置。6.一种运送装置，包括如权利要求1-5中的任一项所述的位置传感器，用于检测被运送物体的边缘位置。7.根据权利要求6所述的运送装置，其中所述装置设置有至少三个所述位置传感器，所述至少三个位置传感器被布置在两条相交的直线上。8.根据权利要求7所述的运送装置，其中所述装置包括三个位置传感器，所述位置传感器的其中两个被配置为检测所述被运送物体在第一方向上的偏移量，另一个位置传感器被配置为检测所述被运送物体在与第一方向不同的第二方向上的偏移量。9.根据权利要求8所述的运送装置，其中所述三个位置传感器中的两个与所述被运送物体的一个边缘在所述装置上的标准位置对齐，并且另一个位置传感器与所述被运送物...

【专利技术属性】
技术研发人员：齐鹏煜，汪栋，侯建，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11