剥离装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种使相互贴合的两片板状体剥离的剥离装置。在保持器件(30)的保持面(310)设置有开口部(314)，相对于开口部(314)配设有支撑第1板状体的支撑部件。在轴向上隔开而设置有多个限制剥离的推进的辊组件(40)。各个辊组件(40)所形成的抵接夹持部在轴向上相互隔开，抵接夹持部的剥离方向上的后端部的位置在剥离方向上相同，保持面(310)的开口部(314)设置在与在轴向上相邻的两个抵接夹持部间的间隙部对应的位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种使相互贴合的两片板状体剥离的剥离装置。
技术介绍
作为在玻璃基板或半导体基板等板状体上形成指定的图案或薄膜的技术，有将担载在另一板状体上的图案或薄膜(以下，称为“图案等”)转印到基板上的技术。在该技术中，在使两片板状体密接而将图案等从一者转印到另一者上之后，需要不使图案等损坏地将两片板状体剥离。作为能够为了该目的而加以利用的技术，有例如专利文献1中所记载的技术。在该技术中，包含相互密接的第1板状体及第2板状体的密接体通过第1板状体被吸附保持在载置台上而保持为水平姿势。然后，排列在第2板状体侧的多个剥离器件依序抵接于第2板状体，一边保持第2板状体，一边在离开第1板状体的方向上移动，由此，第1板状体与第2板状体之间的剥离在指定的剥离方向上推进。这时，辊状的抵接部件一边抵接于第2板状体的表面，一边在剥离方向上移动，由此以剥离以固定的速度推进的方式进行管理。[
技术介绍
文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2014-189350号公报
技术实现思路
[专利技术要解决的问题]如果板状体的尺寸大型化，那么在所述
技术介绍
中要求进一步的改良。也就是说，因为大型的板状体容易挠曲，所以为了一边使板状体维持水平状态、一边向装置中进行搬入及搬出而需要特别的机构。而且，伴随板状体的大型化，辊状的抵接部件也在轴向上变长，因此存在施加于板状体的按压力因辊的挠曲而变得不均匀的情况。这种按压力的差异可能会成为被转印物的损伤及剥离不良的原因。如此，为了对于大型的板状体也良好地执行剥离，需要应对板状体及辊状部件的挠曲。在这点上，所述
技术介绍
中留有改良的余地。本专利技术是鉴于所述课题而完成，其目的在于：提供一种在使相互贴合的两片板状体剥离的剥离装置中，对于大型的板状体也能够良好地执行剥离的技术。[解决问题的技术手段]本专利技术的一形态是在使主面彼此贴合的第1板状体与第2板状体剥离的剥离装置中，为了达成所述目的而具备：保持器件，上表面为大致水平的保持面，且在所述保持面设置有开口部，使与所述第2板状体为相反侧的面向下而保持载置在所述保持面的所述第1板状体；支撑部件，在上端部从所述开口部向比所述保持面靠上方突出的突出位置与所述上端部在所述开口部内退避到比所述保持面靠下方的退避位置之间移动，且在所述突出位置使所述第1板状体离开所述保持面而从下方支撑所述第1板状体；剥离器件，保持所述第2板状体并使所述第2板状体在离开所述第1状体的方向上移动，使所述第2板状体从利用所述保持器件而保持的所述第1板状体剥离；以及限制器件，抵接于所述第2板状体中与所述第1板状体为相反侧的面，限制利用所述剥离器件来剥离所述第2板状体的推进。在这里，所述限制器件具有：多个辊部件，各自抵接于所述第2板状体而在所述辊部件与所述第2板状体之间形成抵接夹持部；支撑部，将所述多个辊部件各自环绕沿着平行于所述保持面的轴向的旋转轴自由旋转且个别地支撑；以及移动机构，使所述支撑部在平行于所述保持面且与所述轴向正交的剥离方向上移动；且各个所述辊部件所形成的所述抵接夹持部在所述轴向上相互隔开，所述抵接夹持部的所述剥离方向上的后端部的位置在所述剥离方向上相同，所述开口部设置在与在所述轴向上相邻的两个所述抵接夹持部间的间隙部对应的位置。在以此方式构成的专利技术中，剥离器件使第2板状体向从保持在保持器件的保持面的第1板状体拉离的方向移动，由此执行剥离。而且，辊部件与第2板状体抵接而形成的抵接夹持部限制剥离的推进，通过该抵接夹持部在剥离方向上移动，而管理剥离的推进。由此，能够使剥离良好地推进。在用来限制剥离推进的辊部件是单个的情况下，如果第2板状体的尺寸、特别是辊的轴向上的长度变大，那么容易发生轴向上的辊径的变动或动作时的挠曲。因此，有抵接夹持部相对于第2板状体的抵接压在轴向上存在差异的担心。如果如此抵接压存在差异，那么会造成限制剥离的功能根据轴向位置而有所不同，从而无法恰当地管理剥离的推进，可能会造成剥离不良。而且，为了以高加工精度制造长条的辊部件，需要更高的
制造技术，会导致装置成本的上升。另一方面，在本专利技术中，在轴向上配置有多个辊部件，且各辊部件相互独立地得到支撑。因此，使各个辊部件的轴向长度更短即可，能够减小辊径的变动或挠曲。由此，能够使抵接夹持部的抵接压均匀而使剥离良好地推进。而且，相比于制造长条辊的情况，也能够抑制制造成本。而且，在本专利技术中，在设置在保持器件的保持面的开口部，设置有支撑部件。支撑部件是在使第1板状体离开保持面的状态下进行支撑。由此，例如在将贴合后的第1板状体与第2板状体载置在保持面上时或将剥离后的第1板状体从保持面搬出时，能够抑制第1板状体的挠曲而使从外部的进入较为容易。在载置在保持面的第1板状体中与保持面的开口部的周缘对应的部位，有如下担心：如果受到来自辊部件的按压，那么在该部位局部作用有较高的应力，而使第1板状体损伤。而且，有这种应力集中成为剥离不良的契机的担心。另一方面，在本专利技术中，在与利用多个辊部件而形成的多个抵接夹持部间的间隙对应的位置设置有开口部。因此，在开口部的正上方，第1及第2板状体不会受到来自辊部件的按压。由此，能够防止因在开口部上的按压而导致的板状体的损伤及剥离不良。[专利技术的效果]如此，在本专利技术中，在轴向上配置的多个辊部件抵接于第2板状体而形成抵接夹持部。而且，设置有支撑部件，该支撑部件从开口部突出而支撑第1板状体，该开口部设置在保持器件的保持面中碰到轴向上的抵接夹持部间的间隙的部位。因此，在本专利技术中，即便在第1及第2板状体的尺寸为大型的情况下也能够良好地执行它们的剥离。附图说明图1是表示本专利技术的剥离装置的一实施方式的立体图。图2是表示该剥离装置的主要构成的立体图。图3A、图3B是表示辊单元的构造的图。图4A、图4B、图4C是表示提升机构的构成例的剖视图。图5是表示该剥离装置的电气构成的框图。图6A、图6B、图6C、图6D是表示各部在剥离动作的过程中的动作的图。图7是表示辊单元与工件的抵接状态的图。图8A、图8B、图8C是将剥离辊为单个的情况与多个的情况加以比较的图。图9A、图9B是表示载置台上的开口部与剥离辊的位置关系的图。图10是表示载置台与载置在载置台上的工件的位置关系的图。图11是表示剥离装置的变化例的图。图12A、图12B是表示辊径不同的剥离辊的组合例的图。具体实施方式图1是表示本专利技术的剥离装置的一实施方式的立体图。为了统一地表示各图中的方向，如图1右下方所示设定XYZ正交坐标轴。在这里，XY平面表示水平面。而且，Z轴表示铅垂轴，更详细来说，(-Z)方向表示朝向铅垂下方的方向。该剥离装置1是用来使在主面彼此相互密接的状态下搬入的两片板状体剥离的装置。例如可于在玻璃基板或半导体基板等基板的表面形成指定图案的图案形成工艺的部分工艺中使用。更具体来说，在该图案形成工艺中，在印刷布表面，均匀地涂布图案形成材料(涂布步骤)，所述印刷布作为暂时担载应该对作为被转印体的基板转印的图案的担载体。然后，将已根据图案形状经过表面加工的版压抵于印刷布上的涂布层，由此使涂布层图案化(图案化步骤)。使以此方式而形成有图案的印刷布密接于基板(转印步骤)，由此图案最终被从印刷布转印到基板上。这时，为了使在图案化步骤中得以密接的版与印刷布之间、或在转印步骤本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种剥离装置，使主面彼此贴合的第1板状体与第2板状体剥离，且具备：保持器件，上表面为大致水平的保持面，且在所述保持面设置有开口部，使与所述第2板状体为相反侧的面向下而保持载置在所述保持面的所述第1板状体；支撑部件，在上端部从所述开口部向比所述保持面靠上方突出的突出位置与所述上端部在所述开口部内退避到比所述保持面靠下方的退避位置之间移动，且在所述突出位置使所述第1板状体离开所述保持面而从下方支撑所述第1板状体；剥离器件，保持所述第2板状体并使所述第2板状体向离开所述第1状体的方向移动，使所述第2板状体从利用所述保持器件而保持的所述第1板状体剥离；以及限制器件，抵接于所述第2板状体中与所述第1板状体为相反侧的面，限制利用所述剥离器件来剥离所述第2板状体的推进；所述限制器件具有：多个辊部件，各自抵接于所述第2板状体而在所述辊部件与所述第2板状体之间形成抵接夹持部；支撑部，将所述多个辊部件各自环绕沿着平行于所述保持面的轴向的旋转轴自由旋转且个别地支撑；以及移动机构，使所述支撑部在平行于所述保持面且与所述轴向正交的剥离方向上移动；且各个所述辊部件所形成的所述抵接夹持部在所述轴向上相互隔开，所述抵接夹持部的所述剥离方向上的后端部的位置在所述剥离方向上相同，所述开口部设置在与在所述轴向上相邻的两个所述抵接夹持部间的间隙部对应的位置。...

【技术特征摘要】
2015.03.31 JP 2015-0710201.一种剥离装置，使主面彼此贴合的第1板状体与第2板状体剥离，且具备：保持器件，上表面为大致水平的保持面，且在所述保持面设置有开口部，使与所述第2板状体为相反侧的面向下而保持载置在所述保持面的所述第1板状体；支撑部件，在上端部从所述开口部向比所述保持面靠上方突出的突出位置与所述上端部在所述开口部内退避到比所述保持面靠下方的退避位置之间移动，且在所述突出位置使所述第1板状体离开所述保持面而从下方支撑所述第1板状体；剥离器件，保持所述第2板状体并使所述第2板状体向离开所述第1状体的方向移动，使所述第2板状体从利用所述保持器件而保持的所述第1板状体剥离；以及限制器件，抵接于所述第2板状体中与所述第1板状体为相反侧的面，限制利用所述剥离器件来剥离所述第2板状体的推进；所述限制器件具有：多个辊部件，各自抵接于所述第2板状体而在所述辊部件与所述第2板状体之间形成抵接夹持部；支撑部，将所述多个辊部件各自环绕沿着平行于所述保持面的轴向的旋转轴自由旋转且个别地支撑；以及移动机构，使所述支撑部在平行于所述保持面且与所述轴向正交的剥离方向上移动；且各个所述辊部件所形成的所述抵接夹持部在所述轴向上相互隔开，所述抵接夹持部的所述剥离方向上的后端部的位置在所述剥离方向上相同，所述开口部设置在与在所述轴向上相...

【专利技术属性】
技术研发人员：上野美佳，芝藤弥生，柳田隆明，正司和大，
申请(专利权)人：株式会社思可林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP