保持装置、投射装置、测量装置以及保持方法制造方法及图纸

一种保持装置、投射装置、测量装置以及保持方法。该保持装置包括：支撑构件，支撑构件具有用于定位图案光产生单元的定位部分，被配置为支撑图案光产生单元；和固定构件，固定构件被配置为与图案光产生单元的外周接触以保持图案光产生单元，固定构件被固定到支撑构件。固定构件包括抵靠部分和弹性构件，抵靠部分被配置为与图案光产生单元的外周的部分接触，弹性构件被配置为将图案光产生单元的与抵靠部分接触的部分按压到抵靠部分上。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种用于保持图案光产生单元的装置、投射装置、测量装置以及保持方法。
技术介绍
近年来，通过使用图案光产生单元(诸如数字镜器件(DMD)、液晶型光学调制器件以及形成图案的掩模)来产生图案光、然后执行图案投射、曝光和测量的装置是已知的。例如，使用图案投射方法的某一测量装置将图案光投射在目标上，捕捉目标的图像，并且基于捕捉的图像来测量目标的形状。测量装置包括测量头和成像单元，测量头包括用于投射图案光的投射单元，成像单元用于捕捉目标的图像。测量装置在测量装置的内部或外部设有计算单元。投射单元通过图案光产生单元来产生图案光。投射单元通过投射透镜将图案光投射在目标上。成像单元使用通过成像透镜的传感器来捕捉其上被投射图案光的目标的图像。计算单元使用捕捉的图像来执行基于三角测量的计算以获取目标的形状。组成构件(诸如投射单元中的图案光产生单元和投射透镜)需要用保持构件固定，以使得这些组成构件不移位。日本专利申请公开No.2010-175583讨论了投射显示装置中的DMD芯片附连结构。在日本专利申请公开No.2010-175583中讨论的DMD芯片附连结构中，DMD芯片、DMD控制电路板本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于保持图案光产生单元的保持装置，其特征在于包括：支撑构件，所述支撑构件具有用于定位图案光产生单元的定位部分，并且支撑图案光产生单元；以及固定构件，所述固定构件被配置为与图案光产生单元的外周的一部分接触以保持图案光产生单元，所述固定构件被固定到支撑构件，其中，所述固定构件包括：抵靠部分，所述抵靠部分被配置为与图案光产生单元的外周的一部分接触；以及偏置构件，所述偏置构件被配置为使图案光产生单元朝向抵靠部分偏置。

【技术特征摘要】
2015.03.31 JP 2015-0745001.一种用于保持图案光产生单元的保持装置，其特征在于包括：支撑构件，所述支撑构件具有用于定位图案光产生单元的定位部分，并且支撑图案光产生单元；以及固定构件，所述固定构件被配置为与图案光产生单元的外周的一部分接触以保持图案光产生单元，所述固定构件被固定到支撑构件，其中，所述固定构件包括：抵靠部分，所述抵靠部分被配置为与图案光产生单元的外周的一部分接触；以及偏置构件，所述偏置构件被配置为使图案光产生单元朝向抵靠部分偏置。2.根据权利要求1所述的保持装置，其中，所述定位部分包括能移除的装配构件，所述装配构件被配置为能移除地插入到图案光产生单元的孔部分中。3.根据权利要求2所述的保持装置，其中，所述装配构件装配到孔部分中以用于将图案光产生单元定位到支撑构件上，并且其中，所述装配构件被配置为从孔部分取出，从而使得图案光产生单元能被抵靠部分和偏置构件保持。4.根据权利要求2或3所述的保持装置，其中，所述装配构件是销。5.根据权利要求1至4中的任何一个所述的保持装置，其中，所述偏置构件在与抵靠部分接触图案光产生单元的外周的一侧相对的一侧将偏置力提供给图案光产生单元的...

【专利技术属性】
技术研发人员：小池香奈，
申请(专利权)人：佳能株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP