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保持装置、投射装置、测量装置以及保持方法制造方法及图纸
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下载保持装置、投射装置、测量装置以及保持方法的技术资料
文档序号:13884480
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一种保持装置、投射装置、测量装置以及保持方法。该保持装置包括:支撑构件,支撑构件具有用于定位图案光产生单元的定位部分,被配置为支撑图案光产生单元;和固定构件,固定构件被配置为与图案光产生单元的外周接触以保持图案光产生单元,固定构件被固定到支...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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