【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种对不合格晶元进行点墨标识的打点机构,本技术尤其是涉及一种两用型打点机构。
技术介绍
在半导体晶元检查时,需要对于不合格晶元进行点墨标识,一般通过装载在工业显微镜上的打点器实现。一般打点器分为气动给墨式打点器和电动给墨式打点器,实际运用中根据需要装载。
技术实现思路
本技术的目的是克服现有技术中存在的不足,提供一种可以按照需要自由调换给墨方式、使用方便的两用型打点机构。按照本技术提供的技术方案,所述两用型打点机构,包括固定板、基座、保持架、固定座、第一气缸、第二气缸、复位弹簧、给墨头与连接头;在固定板上固定有基座,在基座上滑动安装有保持架,在保持架与基座之间设有复位弹簧,在保持架上固定有固定座,在固定座与保持架上安装有给墨头;在基座上固定有第一气缸与第二气缸,第一气缸平行设置在第二气缸的上方,第一气缸的活塞杆与保持架相抵,在第二气缸的活塞杆端部安装有连接头。所述打点器为气动给墨头或者电动给墨头。在基座上固定有定位套,在定位套内设有推杆,推杆的一端与第一气缸的活塞杆相抵,推杆的另一端与保持架相抵。本技术可以根据工作需要自由调换气动给墨头或者电动给墨头,不仅使用方便、功能齐全而且结构简单、可靠。附图说明图1是本技术实施例1的结构示意图。图2是本技术实施例2的结构示意图。具体实施方式下面结合具体实施例对本技术作进一步说明。实施例1本技术包括固定板1、基座2、保持架3、固定座4、第一气缸5、第二气缸6、复位弹簧7、给墨头与连接头9;在固定板1上固定有基座2,在基座2上滑动安装有保持架3,在保持架3与基座2之间设有复位弹簧7,在保持架3上固定有固定座4,在 ...
【技术保护点】
一种两用型打点机构,包括固定板(1)、基座(2)、保持架(3)、固定座(4)、第一气缸(5)、第二气缸(6)、复位弹簧(7)、给墨头与连接头(9);其特征是:在固定板(1)上固定有基座(2),在基座(2)上滑动安装有保持架(3),在保持架(3)与基座(2)之间设有复位弹簧(7),在保持架(3)上固定有固定座(4),在固定座(4)与保持架(3)上安装有给墨头;在基座(2)上固定有第一气缸(5)与第二气缸(6),第一气缸(5)平行设置在第二气缸(6)的上方,第一气缸(5)的活塞杆与保持架(3)相抵,在第二气缸(6)的活塞杆端部安装有连接头(9)。
【技术特征摘要】
1.一种两用型打点机构,包括固定板(1)、基座(2)、保持架(3)、固定座(4)、第一气缸(5)、第二气缸(6)、复位弹簧(7)、给墨头与连接头(9);其特征是:在固定板(1)上固定有基座(2),在基座(2)上滑动安装有保持架(3),在保持架(3)与基座(2)之间设有复位弹簧(7),在保持架(3)上固定有固定座(4),在固定座(4)与保持架(3)上安装有给墨头;在基座(2)上固定有第一气缸(5)与第二气缸(6),第一气缸(5)平...
【专利技术属性】
技术研发人员:沈震,祁云峰,陈宏成,
申请(专利权)人:无锡联发易创科技有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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