具有自检重置导线的磁场传感器制造技术

本实用新型专利技术提供一种具有自检重置导线的磁场传感器，其包括：基板，其具有第一表面；第一电桥电路，其包括多个第一磁场传感单元；第二电桥电路，其包括多个第二磁场传感单元，各个第一磁场传感单元的磁敏轴相互平行且与第一表面成第一预定角度，各个第二磁场传感单元的磁敏轴相互平行且与第一表面成第二预定角度；自检重置导线，其包括位于第一磁场传感单元之上或之下且与第一磁场传感单元的磁敏轴平行的第一倾斜部、位于第二磁场传感单元之上或之下且与第二磁场传感单元磁敏轴平行的第二倾斜部。与现有技术相比，本实用新型专利技术基于同一自检重置导线就可产生沿垂直于芯片表面的Z轴方向的磁场用于自检，还可产生沿磁易轴方向的磁场用于重置/再重置。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及磁场传感器，特别涉及一种能够实现对磁感应层重置和自检的磁场传感器。
技术介绍
目前基于磁阻效应的磁场传感器已经应用非常普通，比如各向异性磁阻(AMR)磁场传感器、巨磁阻(GMR)磁场传感器及隧穿磁阻(TMR)磁场传感器。一般来说，基于磁阻效应的磁场传感器在磁场方向和大小改变时，器件电阻会随之改变。磁场传感器的结构通常包括一层软磁材料，例如铁、钴，镍，钴铁硼合金或镍铁合金(permalloy)等。在磁场方向和大小改变时，软磁材料层的磁化方向随之改变，从而引起电阻的变化。为了得到磁场的准确数值，在磁场传感器测量前所述软磁层需要被重置。通常的方法是在紧邻磁场传感器的基本传感单元的导线中通过大电流以产生强磁场，从而使得基本传感单元的所有的磁畴都被磁化且沿磁易轴方向排列，而磁易轴的方向由磁场传感器的基本传感单元的各向异性决定。通过控制所述导线上流过的电流的方向，磁畴的方向可以沿磁易轴平行的两个相反的方向排列。通常这个操作被称为重置(SET)和再重置(RESET)。除了可以对软磁层的磁化进行初始化，SET/RESET还可以帮助恢复软磁层的磁化。如果所处磁场传感器遭外界强磁场干本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁场传感器，其特征在于，其包括：基板，其具有第一表面；第一电桥电路，其包括多个第一磁场传感单元；第二电桥电路，其包括多个第二磁场传感单元，其中所述磁场传感单元均具有磁易轴和与所述磁易轴垂直的磁敏轴，各个磁场传感单元的磁易轴互相平行，各个第一磁场传感单元的磁敏轴相互平行且与第一表面成第一预定角度，各个第二磁场传感单元的磁敏轴相互平行且与第一表面成第二预定角度；自检重置导线，其包括位于第一磁场传感单元之上或之下且与所述第一磁场传感单元的磁敏轴平行的第一倾斜部、位于第二磁场传感单元之上或之下且与所述第二磁场传感单元的磁敏轴平行的第二倾斜部、位于所述基板的第一表面之上并与所述基板的第一表面平行的平...

【技术特征摘要】
1.一种磁场传感器，其特征在于，其包括：基板，其具有第一表面；第一电桥电路，其包括多个第一磁场传感单元；第二电桥电路，其包括多个第二磁场传感单元，其中所述磁场传感单元均具有磁易轴和与所述磁易轴垂直的磁敏轴，各个磁场传感单元的磁易轴互相平行，各个第一磁场传感单元的磁敏轴相互平行且与第一表面成第一预定角度，各个第二磁场传感单元的磁敏轴相互平行且与第一表面成第二预定角度；自检重置导线，其包括位于第一磁场传感单元之上或之下且与所述第一磁场传感单元的磁敏轴平行的第一倾斜部、位于第二磁场传感单元之上或之下且与所述第二磁场传感单元的磁敏轴平行的第二倾斜部、位于所述基板的第一表面之上并与所述基板的第一表面平行的平坦部，其中第一预定角度和第二预定角度均大于0度小于90度。2.根据权利要求1所述的磁场传感器，其特征在于，其还包括：位于所述基板的第一表面上的多个凸块，每个凸块包括相对的第一倾斜表面和第二倾斜表面，第一倾斜表面相对于第一表面成第一预定角度，第二倾斜表面相对于第一表面成第二预定角度，所述凸块为纵长条形，其延伸方向均与所述磁易轴方向平行，第一磁场传感单元和第一倾斜部位于所述凸块的第一倾斜表面之上，第二磁场传感单元和第二倾斜部位于所述凸块的第二倾斜表面之上。3.根据权利要求2所述的磁场传感器，其特征在于，所述凸块为梯形横截面，其具有顶面，所述自检重置导线还包括有位于所述多个凸块的顶面之上并与所述顶面平行的连接部，所述连接部位于第一倾斜部和第二倾斜部的顶部之间，第一倾斜部和第二倾斜部的底部之间具有平坦部。4.根据权利要求2所述的磁场传感器，其特征在于，每个凸块为三角形横截面，所述自检重置导线的第一倾斜部与第二倾斜部的顶部相连，第一倾斜部和第二倾斜部的底部之间具有平坦部。5.根据权利要求2所述的磁场传感器，其特征在于，第一磁场传感单元位于第一倾斜表面和第一倾斜...

【专利技术属性】
技术研发人员：李斌，蒋乐跃，
申请(专利权)人：美新半导体无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32