废气处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种废气处理装置，其包括废气处理机以及气体导入装置。气体导入装置连接于废气处理机的出口端的管路上，其中气体导入装置导入的气体的湿度低于废气处理机内的尾气的湿度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种废气处理装置，且特别是涉及具有气体导入装置的废气处理装置。
技术介绍
在半导体制作工艺中常产生含有氟氯碳化合物、氟碳化合物、碳氢化合物以及其它的含氟气体等制作工艺废气，这些气体可能会毒害人体以及造成温室效应，其中又以氟化的化合物或全氟化合物(per-fluoro compounds；PFCs)影响最深。目前业界常见的废气处理装置为燃烧式以及电热式的废气处理装置。无论是使用燃烧式或电热式的废气处理装置分解含有氟化的化合物或全氟化合物等废气，其过程中都会产生高温以及大量的粉尘与酸性气体，因此废气处理装置通常会设有洒水设备以进行降温以及洗涤。洒水设备的用水来自于废气处理装置中的循环水槽。为了节省用水，循环水槽中的用水采用循环系统以重复使用，在一段时间后才排除并补充新的用水。然而，在尚未补充新的用水时，其用水已因反复吸收废气热量而使温度升高，不仅造成降温与粉尘洗涤的效果变差，更容易造成废气处理装置的后段尾气湿度因温度上升而增加。高湿度环境使上述无法被有效降温及洗涤的粉尘、酸性气体(例如HF、F2)与水气混合后形成具强酸且易附着的腐蚀性物质。这些高温的腐蚀性物质会随着厂务酸排系统的抽气管路沿路腐蚀弯头以及焊道等容易附着并累积之处，造成工厂必须不定期停机清除粉尘甚至巨资更换酸排系统内遭到严重腐蚀的管路，进而增加维修及更换排气系统管路的成本。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种废气处理装置，其可降低废气处理机内的尾气湿度。本专利技术的再一目的在于提供一种废气处理装置，其包括废气处理机以及气体导入装置。气体导入装置连接于废气处理机的出口端的管路上，其中气体导入装置导入的气体的湿度低于废气处理机内的尾气的湿度。依照本专利技术实施例所述的废气处理装置，其中气体导入装置包括止逆阀或连接于厂务端的进气管。依照本专利技术实施例所述的废气处理装置，其中当气体导入装置为止逆阀时，气体导入装置导入的气体例如是自然空气。当气体导入装置为连接于厂务端的进气管时，气体导入装置导入的气体例如是干净干燥气体(clean dry air，CDA)。依照本专利技术实施例所述的废气处理装置，其中止逆阀例如是摆动式止逆阀(swing valve)。依照本专利技术实施例所述的废气处理装置，其中废气处理装置还包括气体流量调整盘，设置于气体导入装置的进气端。依照本专利技术实施例所述的废气处理装置，其中废气处理机例如是燃烧式废气处理机、电热式废气处理机或等离子体式废气处理机。依照本专利技术实施例所述的废气处理装置，其中气体导入装置导入的气体与废气处理机内的尾气混合后，废气处理机内的尾气的湿度降至95％RH以下。依照本专利技术实施例所述的废气处理装置，其中废气处理机包括废气处理腔室。依照本专利技术实施例所述的废气处理装置，其中废气处理机还包括洗涤塔、循环水槽以及热交换器。洗涤塔与废气处理腔体连通，其中洗涤塔具有至少一个液体喷嘴。此外，循环水槽与洗涤塔连通。另外，热交换器连接于循环水槽与洗涤塔的至少一个液体喷嘴之间，其中循环水槽中的循环水经过热交换器而传送到洗涤塔中，再流入循环水槽。依照本专利技术实施例所述的废气处理装置，其中热交换器包括循环水管路以及冷却水循环装置。循环水管路的一端与循环水槽连接，而循环水管路的另一端与洗涤塔的至少一个液体喷嘴连接。此外，冷却水循环装置包覆至少部分循环水管路。基于上述，本专利技术的废气处理装置设有气体导入装置，其导入的气体可有效地使废气处理机内的尾气的湿度降低，因此能避免产生具强酸且易附着
的腐蚀性物质。由此，可减少高温的腐蚀性物质腐蚀厂务排气系统的管路或减少腐蚀性物质的累积及阻塞，因此能够增加排气系统管路的使用周期及降低维修成本。为让本专利技术的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合所附的附图作详细说明如下。附图说明图1为本专利技术的一实施例所绘示的废气处理装置的示意图；图2为本专利技术的一实施例所绘示的气体导入装置的示意图；图3为本专利技术的另一实施例所绘示的气体导入装置的示意图。符号说明100：废气处理装置102：出口端104：管路106：预留孔110：废气处理机112：废气处理腔室114：制作工艺机台120：洗涤塔122：液体喷嘴124：填充材料126：分接头130：气体导入装置132：气体流量调整盘134：止逆阀136：进气管150：循环水槽152：循环水160：热交换器162：循环水管路164：冷却水循环装置166：冷却水输入管路168：冷却水输出管路具体实施方式图1为依照本专利技术的一实施例所绘示的废气处理装置的示意图。请参考图1，本实施例的废气处理装置100包括废气处理机110以及气体导入装置130。在本实施例中，废气处理机110包括废气处理腔室112。由制作工艺机台114所产生的废气可输入至废气处理腔室112中进行分解。制作工艺机台114所产生的废气例如是含有全氟化物、有害空气污染物(Hazardous Air Pollutants；HAPs)或挥发性有机物质(Volatile Organic Compounds；VOCs)等半导体制作工艺或其他工业制作工艺的废气。废气处理机110例如是燃烧式废气处理机、电热式废气处理机或等离子体式废气处理机。在本实施例中，废气处理机110是以燃烧式废气处理机为例进行说明，但本专利技术并不以此为限。废气处理机110还包括洗涤塔120、循环水槽150以及热交换器160。洗涤塔120与废气处理腔室112连通。经由废气处理腔室112热分解后的高温废气会随着气流而被引入洗涤塔120中。洗涤塔120具有至少一个液体喷嘴122，可将来自于循环水槽150中的循环水152喷洒于洗涤塔120中。喷洒于洗涤塔120中的循环水152可作为洗涤液使用，以将洗涤塔120中的废气降温，同时洗涤粉尘等固体微粒。循环水槽150与洗涤塔120连通。循环水槽150可用以提供循环水152至洗涤塔120中。此外，通过液体喷嘴122喷洒于洗涤塔120中的循环水152可流入循环水槽150，因此循环水槽150中的循环水152可重复提供至液体喷嘴122。在本实施例中，洗涤塔120可还包括填充材料124。填充材料124设置于洗涤塔120中。利用液体喷嘴122喷洒循环水152于填充材料124上，可增加气体与液体之间的接触面积。在本实施例中，液体喷嘴122的数目为2个，但本专利技术不限于此。所属
具有通常知识者可视需求决定液体喷嘴122的数目。热交换器160连接于循环水槽150与洗涤塔120的液体喷嘴122之间。在本实施例中，热交换器160包括循环水管路162以及冷却水循环装置164。
热交换器160的材料例如是铁氟龙(TEFLON)，可降低因循环重复使用循环水152后所产生强酸性对热交换器160的循环水管路162造成腐蚀。循环水管路162的一端与循环水槽150连接，循环水管路162的另一端与洗涤塔120的液体喷嘴122连接。在本实施例中，循环水管路162的另一端可利用分接头126与洗涤塔120的各个液体喷嘴122连接。冷却水循环装置164包覆至少部分的循环水管路162。此外，热交换器160还可包括冷却水输入管路166与冷却水输出管路168。冷却水输入管路166可将低温的冷却水持续提供至冷却水循环装置164中，且冷却水输出管路168可本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种废气处理装置，包括：废气处理机；以及气体导入装置，连接于该废气处理机的出口端的管路上，其中该气体导入装置导入的气体的湿度低于该废气处理机内的尾气的湿度。

【技术特征摘要】
2015.02.05 TW 1041038781.一种废气处理装置，包括：废气处理机；以及气体导入装置，连接于该废气处理机的出口端的管路上，其中该气体导入装置导入的气体的湿度低于该废气处理机内的尾气的湿度。2.如权利要求1所述的废气处理装置，其中该气体导入装置包括止逆阀或连接于厂务端的进气管。3.如权利要求2所述的废气处理装置，其中当该气体导入装置为该止逆阀时，该气体导入装置导入的气体包括自然空气，当该气体导入装置为该连接于厂务端的进气管时，该气体导入装置导入的气体包括干净干燥气体。4.如权利要求2所述的废气处理装置，其中该止逆阀包括摆动式止逆阀。5.如权利要求1所述的废气处理装置，还包括气体流量调整盘，设置于该气体导入装置的进气端。6.如权利要求1所述的废气处理装置，其中该废气处理机包括燃烧式废气...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭尧政，陈俊正，陈博洋，
申请(专利权)人：力晶科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾;71