【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种曝光系统及方法,具体是一种多排交叉布置DMD投影的激光直写双面曝光系统,属于直写式光刻机快速扫描曝光
技术介绍
直写式光刻技术是近年来发展较快的、以替代传统的掩膜板式光刻技术的影像直接转移技术,在半导体及PCB生产领域中有着越来越重要的地位;利用该技术可以缩短工艺流程,并降低生产成本。目前市场上主流的直写式光刻机大多以单工件台方式进行扫描曝光:即先将被曝光工件的A面曝光完成后,再进行翻版,然后对B面进行曝光;在单工件台系统中,用于曝光的基板的上板、对准、曝光、下板是依次进行的。依据目前的结构系统,各操作流程均已经达到耗时的上限,很难再缩短某个操作步骤的操作时间,即单工件台的直写式光刻机由于各操作流程的串行性质,已很难再提高产能。
技术实现思路
针对上述现有技术存在的问题,本技术提供一种多排交叉布置DMD投影的激光直写双面曝光系统,该系统能够同时曝光被曝光工件的正反两面,进一步提高工作效率,从而提高产能。 为了实现上述目的,本技术采用的技术方案是:一种多排交叉布置DMD投影的激光直写双面曝光系统,包括:垂直置于底座上表面的DMD集成组件以及被曝光工件;被曝光工件固定在Z轴板和Y轴板上,被曝光工件两侧均安装有DMD集成组件,每个DMD集成组件两面均安装有DMD器件投影光路, DMD集成组件的Y轴方向上交叉分布多个DMD器件投影光路对被曝光工件的两面同时进行垂直曝光。所述的DMD集成组件上部和底部均始终与被曝光工件上、底部平齐。所述的DMD集成组件底部可拆卸式固定在底座上表面,P被曝光工件在Z轴方向上移动曝光。被曝光工件和底座夹角为0-90 ...
【技术保护点】
一种多排交叉布置DMD投影的激光直写双面曝光系统,其特征在于,包括:垂直置于底座上表面的DMD集成组件以及被曝光工件;被曝光工件固定在Z轴板和Y轴板上,被曝光工件两侧均安装有DMD集成组件,每个DMD集成组件两面均安装有DMD器件投影光路, DMD集成组件的Y轴方向上交叉分布多个DMD器件投影光路对被曝光工件的两面同时进行垂直曝光。
【技术特征摘要】
1.一种多排交叉布置DMD投影的激光直写双面曝光系统,其特征在于,包括:垂直置于底座上表面的DMD集成组件以及被曝光工件;被曝光工件固定在Z轴板和Y轴板上,被曝光工件两侧均安装有DMD集成组件,每个DMD集成组件两面均安装有DMD器件投影光路, DMD集成组件的Y轴方向上交叉分布多个DMD器件投影光路对被曝光工件的两面同时进行垂直曝光。2.根据权利要求1所述的一种多排交叉布置DMD投...
【专利技术属性】
技术研发人员:张伟,赵华,张伟,徐巍,王翰文,马汝治,
申请(专利权)人:江苏影速光电技术有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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