温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种多排交叉布置DMD投影的激光直写双面曝光系统，包括：垂直置于底座上表面的DMD集成组件以及被曝光工件；被曝光工件固定在Z轴板和Y轴板上，被曝光工件两侧均安装有DMD集成组件，每个DMD集成组件两面均安装有DMD器件投影光...
该专利属于江苏影速光电技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏影速光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。