一种晶圆显微镜光源结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆显微镜光源结构，所述晶圆显微镜光源结构至少包括：光线扩散灯头、光纤软管以及光源装置；所述光线扩散灯头设置在所述光纤软管的出射端；所述光纤软管由一固定支架所固定，所述固定支架包括：固定柱、锁紧套以及紧固件，所述光纤软管穿套于所述锁紧套内并由所述紧固件夹紧固定；所述光源装置设置在所述光纤软管入射端，所述光源装置包括底座、多种发光源以及开光装置，通过所述开光装置控制所述光源装置中所需发光源发出光线，并使光线沿着所述光纤软管，照射到待检晶圆上。本实用新型专利技术通过固定支架，实现灯头的固定和角度调节；通过光源装置提供不同的发光源，便于检测出不同缺陷；再通过灯头的光线发散特性，增大光源的照射区域。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种显微镜，特别是涉及一种晶圆显微镜光源结构。
技术介绍
半导体业界内晶圆出货宏观目检都是依靠光学显微镜聚光灯进行，以检测出缺陷，但是目前业界所使用的显微镜聚光灯均存在以下问题：1、聚光灯的光纤被安装在由铝合金制成的软管里，当操作人员对晶圆进行宏观目检时，为了能清楚的检测到缺陷，需手动调节光纤软管的角度和长度以达到最佳效果。这样，在操作过程中容易发生灯头下坠碰到晶圆，从而导致晶圆刮伤甚至破片。2、聚光灯的灯光是通过卤素光纤进行发光的，但是卤素光纤发出来的光线比较集中，只能覆盖到晶圆晶面或晶背的一小部分区域，易造成缺陷漏检的情况。3、目前聚光灯只能提供单一的光源，但是对于晶圆而言，不同的产品有不同的感光度，如果只是通过单一光源进行宏观目检，很可能造成某些缺陷不易被发现。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种晶圆显微镜光源结构，用于解决现有技术中灯头易掉落刮伤晶圆、灯光过于集中导致照射面积小以及光源单一导致某些缺陷不易检出等问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种晶圆显微镜光源结构，所述晶圆显微镜光源结构至少包括：光线扩散灯头、光纤软管以及光源装置；所述光线扩散灯头设置在所述光纤软管的出射端；所述光纤软管由一固定支架所固定，所述固定支架包括：固定柱、套紧在所述固定柱上的至少一个锁紧套以及设置在每个锁紧套上的紧固件，所述光纤软管穿套于所述锁紧套内并由所述紧固件夹紧固定；所述光源装置设置在所述光纤软管入射端，所述光源装置包括底座、设置在所述底座上的多种发光源以及与所述底座相连的开光装置，通过所述开光装置控制所述光源装置中所需发光源发出光线，并使光线沿着所述光纤软管，照射到待检晶圆上。作为本技术晶圆显微镜光源结构的一种优化的结构，所述光线扩散灯头为上下底面
开口且内部空心的棱台体或棱锥体。作为本技术晶圆显微镜光源结构的一种优化的结构，所述固定柱上固定有两个锁紧套，用于夹紧固定所述光纤软管。作为本技术晶圆显微镜光源结构的一种优化的结构，其中一个锁紧套固定于所述光纤软管上距离所述光线扩散灯头20～28cm处，另一个锁紧套固定于所述光纤软管上距离所述光线扩散灯头45～53cm处。作为本技术晶圆显微镜光源结构的一种优化的结构，所述紧固件为螺栓组件。作为本技术晶圆显微镜光源结构的一种优化的结构，所述光源装置的底座为可旋转式底座。作为本技术晶圆显微镜光源结构的一种优化的结构，所述光纤软管具有透光孔，所述开光装置控制可旋转式底座进行旋转，使所需发光源对准所述透光孔，发光源发出的光线穿过所述透光孔再沿着所述光纤软管，照射到待检晶圆上。如上所述，本技术的晶圆显微镜光源结构，具有以下有益效果：1、通过所述固定支架，可以将所述光纤软管的下半部分固定，光线发散灯头的则可以自由扭动，这种结构既能确保光线发散不碰到待检晶圆的表面，又可以达到最佳角度来做宏观目检；2、本技术的光源装置具有多种发光源，可以根据缺陷对颜色敏感度的差别来选择不同的发光源，便于检测人员查找较小色差的缺陷，提高晶圆缺陷检测的准确率和效率；3、通过设置光线发散灯头，使发光源发出的光线发散，加大光源发射处的面积，增强光源发散能力，从而在待检晶圆上的照射区域，提高缺陷检测率。附图说明图1显示为本技术晶圆显微镜光源结构中光源装置、光纤软管以及光线发散灯头的示意图。图2显示为本技术晶圆显微镜光源结构中的固定支架、光纤软管以及光线发散灯头的示意图。元件标号说明1 光线扩散灯头2 光纤软管21 透光孔3 光源装置31 底座32 发光源33 开光装置4 固定支架41 固定柱42 锁紧套43 紧固件5 待检晶圆6 载物台具体实施方式以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。请参阅图1至图2。须知，本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技术的人士了解与阅读，并非用以限定本技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“下”、“左”、“右”、“中间”及“一”等的用语，亦仅为便于叙述的明了，而非用以限定本技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当亦视为本技术可实施的范畴。如图1图2所示，本技术提供一种晶圆显微镜光源结构，所述晶圆显微镜光源结构至少包括光线扩散灯头1、光纤软管2以及光源装置3。所述光线扩散灯头1设置在所述光纤软管2的出射端，检测过程中，所述光线扩散灯头2被设置在用于放置待检晶圆5的载物台6上方。光源发出的光线最终通过所述光线扩散灯头1照射在待检晶圆5的表面上，以便检测人员进行目检。所述光线扩散灯头1可以为上下地面开口且内部空心的棱台体或棱锥体，当然，所述光线扩散灯头1可以是其他任何能够对光线起到扩散作用的结构，在此不做限制。通过所述光线扩散灯头1，可以将光线发散，增
大照射在晶圆5表面的面积，避免由于光线集中，晶圆晶面或晶背的没有完全被光线照射而造成缺陷漏检的情况，提高晶圆缺陷的检测率。所述光纤软管2为铝合金材质，长度大概为225cm，光纤被安装在该软管里。所述光纤软管2由一固定支架4所固定，所述固定支架4包括固定柱41、至少一个锁紧套42以及紧固件43。所述固定柱41可以固定在地面上，所述锁紧套42套紧在所述固定柱41上，所述紧固件43则设置在每个锁紧套42上。所述光纤软管2穿套于所述锁紧套42内并由所述紧固件41夹紧固定。通过所述固定支架4可以将光纤软管2固定住，而灯头1部分可以自由扭动，这样既可以保证灯头不会下坠碰到晶圆5，又能调整灯头1的照射角度至最佳观察角度来进行目检。本实施例中，如图2所示，所述固定柱41上固定有两个锁紧套42，用于夹紧固定所述光纤软管2。优选地，将其中一个锁紧套42固定于所述光纤软管2上距离所述光线扩散灯头20～28cm处，另一个锁紧套42固定于所述光纤软管2上距离所述光线扩散灯头45～53cm处。本实施例中，一个锁紧套42固定于24cm处，另一个在49cm处，这样可以有效地固定所述光纤软管2。本实施例中，所述紧固件43为螺栓组件。将所述光纤软管2穿套于所述锁紧套42中之后，拧紧螺栓组件，从而将所述光纤软管2固定住。所述光源装置3设置在所述本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆显微镜光源结构，其特征在于，所述晶圆显微镜光源结构至少包括：光线扩散灯头、光纤软管以及光源装置；所述光线扩散灯头设置在所述光纤软管的出射端；所述光纤软管由一固定支架所固定，所述固定支架包括：固定柱、套紧在所述固定柱上的至少一个锁紧套以及设置在每个锁紧套上的紧固件，所述光纤软管穿套于所述锁紧套内并由所述紧固件夹紧固定；所述光源装置设置在所述光纤软管入射端，所述光源装置包括底座、设置在所述底座上的多种发光源以及与所述底座相连的开光装置，通过所述开光装置控制所述光源装置中所需发光源发出光线，并使光线沿着所述光纤软管，照射到待检晶圆上。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆显微镜光源结构，其特征在于，所述晶圆显微镜光源结构至少包括：光线扩散灯头、光纤软管以及光源装置；所述光线扩散灯头设置在所述光纤软管的出射端；所述光纤软管由一固定支架所固定，所述固定支架包括：固定柱、套紧在所述固定柱上的至少一个锁紧套以及设置在每个锁紧套上的紧固件，所述光纤软管穿套于所述锁紧套内并由所述紧固件夹紧固定；所述光源装置设置在所述光纤软管入射端，所述光源装置包括底座、设置在所述底座上的多种发光源以及与所述底座相连的开光装置，通过所述开光装置控制所述光源装置中所需发光源发出光线，并使光线沿着所述光纤软管，照射到待检晶圆上。2.根据权利要求1所述的晶圆显微镜光源结构，其特征在于：所述光线扩散灯头为上下底面开口且内部空心的棱台体或棱锥体。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张学良，高海林，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11