一种晶圆显微镜光源结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种晶圆显微镜光源结构，所述晶圆显微镜光源结构至少包括：光线扩散灯头、光纤软管以及光源装置；所述光线扩散灯头设置在所述光纤软管的出射端；所述光纤软管由一固定支架所固定，所述固定支架包括：固定柱、锁紧套以及紧固件，所述光纤软管穿套于所述锁紧套内并由所述紧固件夹紧固定；所述光源装置设置在所述光纤软管入射端，所述光源装置包括底座、多种发光源以及开光装置，通过所述开光装置控制所述光源装置中所需发光源发出光线，并使光线沿着所述光纤软管，照射到待检晶圆上。本实用新型专利技术通过固定支架，实现灯头的固定和角度调节；通过光源装置提供不同的发光源，便于检测出不同缺陷；再通过灯头的光线发散特性，增大光源的照射区域。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种显微镜，特别是涉及一种晶圆显微镜光源结构。
技术介绍
半导体业界内晶圆出货宏观目检都是依靠光学显微镜聚光灯进行，以检测出缺陷，但是目前业界所使用的显微镜聚光灯均存在以下问题：1、聚光灯的光纤被安装在由铝合金制成的软管里，当操作人员对晶圆进行宏观目检时，为了能清楚的检测到缺陷，需手动调节光纤软管的角度和长度以达到最佳效果。这样，在操作过程中容易发生灯头下坠碰到晶圆，从而导致晶圆刮伤甚至破片。2、聚光灯的灯光是通过卤素光纤进行发光的，但是卤素光纤发出来的光线比较集中，只能覆盖到晶圆晶面或晶背的一小部分区域，易造成缺陷漏检的情况。3、目前聚光灯只能提供单一的光源，但是对于晶圆而言，不同的产品有不同的感光度，如果只是通过单一光源进行宏观目检，很可能造成某些缺陷不易被发现。
技术实现思路
鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种晶圆显微镜光源结构，用于解决现有技术中灯头易掉落刮伤晶圆、灯光过于集中导致照射面积小以及光源单一导致某些缺陷不易检出等问题。为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种晶圆显微镜光源结构，所述晶圆显微镜光源结构至少包括：光线扩散灯头、光纤软管以及光源本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆显微镜光源结构，其特征在于，所述晶圆显微镜光源结构至少包括：光线扩散灯头、光纤软管以及光源装置；所述光线扩散灯头设置在所述光纤软管的出射端；所述光纤软管由一固定支架所固定，所述固定支架包括：固定柱、套紧在所述固定柱上的至少一个锁紧套以及设置在每个锁紧套上的紧固件，所述光纤软管穿套于所述锁紧套内并由所述紧固件夹紧固定；所述光源装置设置在所述光纤软管入射端，所述光源装置包括底座、设置在所述底座上的多种发光源以及与所述底座相连的开光装置，通过所述开光装置控制所述光源装置中所需发光源发出光线，并使光线沿着所述光纤软管，照射到待检晶圆上。

【技术特征摘要】
1.一种晶圆显微镜光源结构，其特征在于，所述晶圆显微镜光源结构至少包括：光线扩散灯头、光纤软管以及光源装置；所述光线扩散灯头设置在所述光纤软管的出射端；所述光纤软管由一固定支架所固定，所述固定支架包括：固定柱、套紧在所述固定柱上的至少一个锁紧套以及设置在每个锁紧套上的紧固件，所述光纤软管穿套于所述锁紧套内并由所述紧固件夹紧固定；所述光源装置设置在所述光纤软管入射端，所述光源装置包括底座、设置在所述底座上的多种发光源以及与所述底座相连的开光装置，通过所述开光装置控制所述光源装置中所需发光源发出光线，并使光线沿着所述光纤软管，照射到待检晶圆上。2.根据权利要求1所述的晶圆显微镜光源结构，其特征在于：所述光线扩散灯头为上下底面开口且内部空心的棱台体或棱锥体。3.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张学良，高海林，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11