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本实用新型提供一种晶圆显微镜光源结构，所述晶圆显微镜光源结构至少包括：光线扩散灯头、光纤软管以及光源装置；所述光线扩散灯头设置在所述光纤软管的出射端；所述光纤软管由一固定支架所固定，所述固定支架包括：固定柱、锁紧套以及紧固件，所述光纤软管穿...该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。