镜驱动装置制造方法及图纸

提供能消除短路导致的导通不良的镜驱动装置。镜驱动装置1A具备：固定框、可动框14、镜以及永磁体10。可动框14具有基体材料100、驱动线圈18、覆盖层102以及绝缘层104。基体材料100包含位于主面S4侧且以螺旋状延伸的槽部100a。驱动线圈18由配置于槽部100a内的金属材料构成。覆盖层102以覆盖槽部100a的开口的方式延伸至主面S4上，并且由抑制构成驱动线圈18的金属材料的扩散的金属材料构成。绝缘层104配置于主面S4上及覆盖层102上。与驱动线圈18的内侧端部电连接的引出导体28b隔着绝缘层104与驱动线圈18立体交叉。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及镜驱动装置。
技术介绍
近年来，较多研究了使用融合微小的大小的机械元件及电子电路元件的MEMS（Micro Electro Mechanical System；微机电系统）技术（也称为微机器技术）的镜驱动装置。作为镜驱动装置的一个例子，专利文献1公开了一种具备固定框、可动框、镜、驱动线圈以及一对永磁体的电磁式镜驱动装置。可动框经由在同一直线上延伸的一对扭力杆以能相对于固定框旋转的方式安装。镜配置于可动框的表面。驱动线圈配置于可动框，并且从相对于镜的表面正交的方向观察呈螺旋状卷绕。一对永磁体在与一对扭力杆延伸的方向交叉的方向上，以驱动线圈位于其间的方式配置。电流在驱动线圈中流动时，通过在其与一对永磁体之间生成的磁场之间的相互作用而在驱动线圈中产生洛伦兹力，可动框相对于固定框旋转。可动框旋转时，配置在可动部的表面的镜的朝向改变，来自镜的反射光的光路变更。这样的镜驱动装置，例如，应用于光通信用光开关、光扫描仪等。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2008－122955号公报。
技术实现思路
专利技术要解决的课题在形成于充当可动框的硅基板的表面的呈螺旋状的槽内，通过隔着种子本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种镜驱动装置，具备：支撑部；可动部，经由连结部材，以能相对于所述支撑部旋转的方式被支撑；镜，配置于所述可动部的表面；以及磁体，在所述可动部的周围形成磁场，所述可动部具有：基体材料，包含主面以及位于所述主面侧且从相对于所述主面正交的方向观察以螺旋状延伸的槽部；驱动线圈，由配置于所述槽部内的第1金属材料构成，并且从相对于所述主面正交的方向观察以螺旋状卷绕；覆盖层，以覆盖所述槽部的开口的方式延伸到所述主面上，并且由抑制所述第1金属材料的扩散的第2金属材料构成；以及第1绝缘层，配置于所述主面上及所述覆盖层上，引出导体的一端电连接在所述驱动线圈的内侧端部，所述引出导体的另一端引出至所述驱动线圈的外侧，...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2013.01.11 JP 2013-003345;2013.08.01 JP 2013-160581. 一种镜驱动装置，具备：支撑部；可动部，经由连结部材，以能相对于所述支撑部旋转的方式被支撑；镜，配置于所述可动部的表面；以及磁体，在所述可动部的周围形成磁场，所述可动部具有：基体材料，包含主面以及位于所述主面侧且从相对于所述主面正交的方向观察以螺旋状延伸的槽部；驱动线圈，由配置于所述槽部内的第1金属材料构成，并且从相对于所述主面正交的方向观察以螺旋状卷绕；覆盖层，以覆盖所述槽部的开口的方式延伸到所述主面上，并且由抑制所述第1金属材料的扩散的第2金属材料构成；以及第1绝缘层，配置于所述主面上及...

【专利技术属性】
技术研发人员：滝本贞治，木元正国，足立训秀，
申请(专利权)人：英特尔公司，
类型：发明
国别省市：美国;US