【技术实现步骤摘要】
本技术属于蓝宝石衬底加工技术设备领域,具体涉及一种利用高精度测量千分表准确测量晶片厚度的晶片测量装置。
技术介绍
蓝宝石衬底加工过程中, 晶片尺寸常规,都是通过固定的高精度测量千分表进行晶片厚度测量。但随着行业发展和市场需求, 客户对非常规尺寸晶片的要求越来越多,由于非常规尺寸晶片大小、形状不一,固定的高精度测量千分表很难对其厚度进行测量,不停的拆装移动高精度测量千分表又会大大影响测量的稳定性和准确性。所以,现有技术中急需要一种能够快捷准确测量不同尺寸晶片的测量装置。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是:克服现有技术的不足,提供一种能够多方位准确测量非常规尺寸晶片厚度的测量装置。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种晶片测量装置,包括高精度测量千分表, 其特征在于:还包括载台基板,所述载台基板上设置有可移动滑轨,所述高精度测量千分表活动设置于可移动滑轨上。优选的,所述可移动滑轨至少1道。优选的,所述可移动滑轨为4道。优选的, 所述可移动滑轨一端设置于一中心圆上,相邻两道可移动滑轨之间成90度夹角。与现有技术相比,本技术的有益效果是:本技术通过设置载台基板和可移动滑轨,使高精度测量千分表能够沿可移动滑轨自由移动,针对不同尺寸的晶片,通过移动高精度测量千分表进行厚度测量,彻底改变了现有技术中使用固定高精度测量千分表对固定尺寸的晶片进行测量的局限。本技术操作简单、测量更加高效快捷.,精度稳定性得到很大提升。附图说明图1是本技术的立体结构示意图;图2是本技术主视结构示意图;图中标记为:1、高精度测量千分表;2、载台基板;3、可移动滑轨;4、晶片。具体实施方式下 ...
【技术保护点】
一种晶片测量装置,包括高精度测量千分表(1),其特征在于:还包括载台基板(2),所述载台基板(2)上固定设置有可移动滑轨(3),所述高精度测量千分表(1)活动设置于可移动滑轨(3)上。
【技术特征摘要】
1.一种晶片测量装置,包括高精度测量千分表(1),其特征在于:还包括载台基板(2),所述载台基板(2)上固定设置有可移动滑轨(3),所述高精度测量千分表(1)活动设置于可移动滑轨(3)上。2.根据权利要求1所述的晶片测量装置,其特征在于:所...
【专利技术属性】
技术研发人员:楚玉环,
申请(专利权)人:青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:山东;37
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