【技术实现步骤摘要】
刷片机的刷压微调装置
本技术涉及晶片加工
，具体涉及一种刷片机的刷压微调装置。
技术介绍
在蓝宝石衬底加工过程中，蓝宝石晶片最终出货时候要达到纳米级颗粒表面，通过刷片机的刷压调整，达到出货的目的，而颗粒度的减少有助于下游客户的制程良率提升，增加发光效率。传统的晶片毛刷压力调节方式，是在刷片机的升降滑块上设置螺杆，通过调节长轴的螺杆从而实现升降滑块的升降运动，从而带动升降滑块底部的毛刷的升降，但弊端在于螺杆调节精度低，无法精确地控制刷片压力，导致刷压调整过大现象。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种刷片机的刷压微调装置，能够更加精准地控制升降滑块的升降高度，从而更加精准地进行刷压调整，对于产品稳定性以及产线管理都发挥了重要的作用。本技术的技术方案为：刷片机的刷压微调装置，包括升降机构，所述升降机构包括固定套筒，固定套筒一端设置有微分筒，微分筒上设置有粗调旋钮，微分筒另一端设置有连接杆，连接杆另一端设置有微调旋钮，固定套筒另一端设置有测微螺杆，测微螺...
【技术保护点】
1.刷片机的刷压微调装置，包括升降机构，其特征在于：所述升降机构包括固定套筒（1），固定套筒（1）一端设置有微分筒（2），微分筒（2）上设置有粗调旋钮（3），微分筒（2）另一端设置有连接杆（4），连接杆（4）另一端设置有微调旋钮（5），固定套筒（1）另一端设置有测微螺杆（6），测微螺杆（6）竖直穿过刷片机的升降滑块（7）并与升降滑块（7）固定连接；固定套筒（1）和微分筒（2）上设置有刻度（8）。/n
【技术特征摘要】
1.刷片机的刷压微调装置，包括升降机构，其特征在于：所述升降机构包括固定套筒（1），固定套筒（1）一端设置有微分筒（2），微分筒（2）上设置有粗调旋钮（3），微分筒（2）另一端设置有连接杆（4），连接杆（4）另一端设置有微调旋钮（5），固定套筒（1）另一端设置有测微螺杆（6），测微螺杆（6）竖直穿过刷片机的升降滑块（7）并与升降滑块（7）固定连接；固定套筒（1）和微分筒（2）上设置有刻度（8）。
2.如权利要求1所述的刷片机的刷压微调装置，其特征在于：所述刷片机上位于升降滑块（7）的相对两侧分别设置有卡位机构，卡位机构包括固定在刷片...
【专利技术属性】
技术研发人员：王鑫，郑东，肖迪，
申请(专利权)人：青岛鑫嘉星电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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