下载一种晶片测量装置的技术资料

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为解决现有技术中不同尺寸晶片难以通过固定的高精度测量千分表进行厚度测量的问题,本实用新型研发了一种晶片测量装置,属于蓝宝石衬底加工技术设备领域,包括高精度测量千分表,其特征在于:还包括载台基板,所述载台基板上固定设置有可移动滑轨,所述高精度...
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