【技术实现步骤摘要】
本技术涉及到微纳米
,尤其涉及一种新型衬底固定装置。
技术介绍
在微纳米
,经常要用到衬底。衬底多数有玻璃或陶瓷制备成的薄片,由于衬底较薄,并且容易破碎,在衬底的使用过程中,为了在衬底表面进行加工处理,怎么将衬底快速的固定,并且保证衬底的完整性,是一个急需解决的问题。为了解决上述技术问题,本技术设计了一种新型衬底固定装置,该新型衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底座和卡件之间,从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作,并且能够有效保证衬底的完整性。此外,该衬底固定装置结构设计合理,使用方便可靠,适合推广使用。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中存在的缺陷,本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种新型衬底固定装置,包括底座、推块导板、推块、卡件固定板、复位弹簧、卡件和连杆,所述推块导板和推块固定在底座上,所述复位弹簧的一端通过弹簧固定柱一固定在底座上,所述复位弹簧的另一端通过弹簧固定柱二固定在推块上,所述推块能够在推块导板上滑动,所述卡件的中部通过转轴三设置在卡件固定板上,所述卡件能够绕转轴三转动,所述连杆的一端通过转轴一与推块可活动连接在一起,所述连杆的另一端通过转轴二与卡件可活动连接在一起。本技术所涉及的一种新型衬底固定装置,该新型衬底固定装置能够方便快捷的将衬底固定在底座和卡件之间,从而方便快捷的实现在衬底上的加工操作,并且能够有效保证衬底的完整性。此外,该衬底固定装置结构设计合理,使用方便可靠,适合推广使用。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术一种新型衬底固定装置的结构示意图一;图2是本技术一种新型衬底固定装置的结构示 ...
【技术保护点】
一种新型衬底固定装置,包括底座(1)、推块导板(2)、推块(3)、卡件固定板(4)、复位弹簧(5)、卡件(6)和连杆(7),其特征在于:所述推块导板(2)和推块(3)固定在底座(1)上,所述复位弹簧(5)的一端通过弹簧固定柱一(8)固定在底座(1)上,所述复位弹簧(5)的另一端通过弹簧固定柱二(9)固定在推块(3)上,所述推块(3)能够在推块导板(2)上滑动,所述卡件(6)的中部通过转轴三(12)设置在卡件固定板(4)上,所述卡件(6)能够绕转轴三(12)转动,所述连杆(7)的一端通过转轴一(10)与推块(3)可活动连接在一起,所述连杆(7)的另一端通过转轴二(11)与卡件(6)可活动连接在一起。
【技术特征摘要】
1.一种新型衬底固定装置,包括底座(1)、推块导板(2)、推块(3)、卡件固定板(4)、复位弹簧(5)、卡件(6)和连杆(7),其特征在于:所述推块导板(2)和推块(3)固定在底座(1)上,所述复位弹簧(5)的一端通过弹簧固定柱一(8)固定在底座(1)上,所述复位弹簧(5)的另一端通过弹簧固定柱二(9)...
【专利技术属性】
技术研发人员:王云翔,
申请(专利权)人:苏州美图半导体技术有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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