一种单片集成的多功能紫外/日盲紫外双色探测器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及一种紫外/日盲紫外双色探测器，具体是指一种单片集成的多功能紫外/日盲紫外双色探测器及其制备方法。本发明专利技术是通过激光分子束外延技术在碳化硅衬底上沉积一层氧化镓薄膜，然后利用掩膜版并通过射频磁控溅射技术在碳化硅衬底和氧化镓薄膜上沉积一层钛/金薄膜作为电极使用。本发明专利技术的优点是：所制备的单片集成的多功能双色紫外探测器具有反应灵敏，性能稳定，暗电流小，在不同电压模式下可以分别实现日盲区紫外火焰探测以及紫外线强度检测的功能，可应用于火灾报警、高压线电晕以及太阳光紫外线强度的探测；另外，该制备方法具有工艺可控性强，操作简单，普适性好，且重复测试具有可恢复性等特点，具有很大的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
201610203082

【技术保护点】
一种单片集成的多功能紫外/日盲紫外双色探测器，其特征在于由β‑Ga2O3薄膜、n型4H‑SiC衬底、Ti/Au薄膜电极以及双模开关组成。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张权岳，
申请(专利权)人：张权岳，
类型：发明
国别省市：浙江;33