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一种单片集成的多功能紫外/日盲紫外双色探测器及其制备方法技术
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文档序号:13551470
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本发明涉及一种紫外/日盲紫外双色探测器,具体是指一种单片集成的多功能紫外/日盲紫外双色探测器及其制备方法。本发明是通过激光分子束外延技术在碳化硅衬底上沉积一层氧化镓薄膜,然后利用掩膜版并通过射频磁控溅射技术在碳化硅衬底和氧化镓薄膜上沉积一层...
该专利属于张权岳所有,仅供学习研究参考,未经过张权岳授权不得商用。
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