【技术实现步骤摘要】
201610316590
【技术保护点】
一种全集成型风速传感器,包括基板、两个相同的超声波发生模块和两个相同的超声波接收模块,其特征在于:所述超声波发生模块和超声波接收模块设置于基板上,超声波发生模块的发声面与超声波接收模块的接收面相对应,形成一对收发系统,共计两对;两对收发系统形成的两条连线长度相同,并相互垂直成十字形,垂足为两条连线中点;所述基板由Si衬底、设置在Si衬底上的集成电路和设置在Si衬底上的Si衬底键合层构成;集成电路用于处理由超声信号转变成的电信号,制备在Si衬底上,与Si衬底键合层不相交;超声波发生模块和超声波接收模块的键合层与Si衬底键合层相适应,并通过金锡键合工艺与Si衬底键合层键合,形成机械连接,通过金丝键合使其与集成电路形成电气连接;所述超声波发生模块由发生Si柱、聚音孔、发声单元和发生键合层构成;聚音孔设置在发生Si柱上,发声单元设置在聚音孔内,发生Si柱底部设有发生键合层;所述发声单元通过对其两面施加高频电信号,产生高频振动,从而产生超声波;所述超声波接收模块由接收Si柱、制备孔、方孔、下电极、接收压电体、上电极和接收键合层构成;方孔设置在接收Si柱上,制备孔设置在接收Si柱上,制备孔内从下至 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:罗文博,陈留根,吴勤勤,俞玉澄,吴传贵,帅垚,张万里,
申请(专利权)人:电子科技大学,
类型:发明
国别省市:四川;51
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