本发明专利技术涉及感光性树脂组合物。本发明专利技术涉及感光性树脂组合物，其通过包含：包含具有由化学式1表示的重复单元的第1树脂和具有由化学式2表示的重复单元的第2树脂的碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、联咪唑系引发剂(C1)、肟酯系引发剂(C2)、由化学式3表示的紫外线吸收剂(D)和溶剂(E)，能够形成T/B比值提高、密合性优异的图案。
【技术实现步骤摘要】
感光性树脂组合物、由它们形成的光固化图案和使用了其的图像显示装置
本专利技术涉及具有感光性树脂组合物、由其形成的光固化图案、以及具有其的图像显示装置，更详细地说，涉及可以进行有效的CD-Bias控制、能够形成图案T/B比值及密合性优异的图案的感光性树脂组合物、由其形成的光固化图案、及具有其的图像显示装置。
技术介绍
在显示器领域中，为了形成光致抗蚀剂、绝缘膜、保护膜、黑底、柱状间隔物等的各种光固化图案，使用感光性树脂组合物。具体地，将感光性树脂组合物通过光刻工序选择性地曝光及显影，形成所期望的光固化图案，该过程中，为了提高工序上的收率，提高应用对象的物性，要求具有高感光度的感光性树脂组合物。感光性树脂组合物的图案形成，通过光刻法、即由光反应引起的高分子的极性变化及交联反应而进行。特别地，利用曝光后对于碱水溶液等溶剂的溶解性的变化特性。采用感光性树脂组合物的图案形成，根据感光了的部分对于显影的溶解度，分类为正型和负型。正型光致抗蚀剂是通过曝光了的部分被显影液溶解，负型光致抗蚀剂是通过曝光了的部分在显影液中不溶解，将未曝光的部分溶解，从而形成图案的方式，所谓正型和负型，因使用的粘结剂树脂、交联剂等而彼此不同。对于以往的感光性树脂组合物，存在如下问题：在热工序前后发生厚度的变化，微细图案的形成困难，显影性不充分。近年来，为了解决这样的问题，在日本特开2000-095896号公报中公开了在感光性树脂组合物中添加无机粉末的方法，但由于感光性树脂组合物与无机粉末的相容性的降低及与基板的粘接性等招致的显影性降低的问题，存在不能使无机粉末的含量足够高的问题，因此，存在不能充分地解决前述的感光性树脂组合物的问题的界限。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2000-095896号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题本专利技术的目的在于使图案的T/B比值提高、能够进行微细图案形成和CD-Bias的控制的感光性树脂组合物。此外，本专利技术的目的在于提供改善对于基板的密合性、显影性优异的感光性树脂组合物。此外，本专利技术的目的在于提供图案的机械物性优异的感光性树脂组合物。此外，本专利技术的目的在于提供由上述感光性树脂组合物形成的光固化图案。用于解决课题的手段1.感光性树脂组合物，其包含：包含具有由下述化学式1表示的重复单元的第1树脂和具有由下述化学式2表示的重复单元的第2树脂的碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、联咪唑系引发剂(C1)、肟酯系引发剂(C2)、由下述化学式3表示的紫外线吸收剂(D)和溶剂(E)。【化1】[式中，R1为氢或甲基，R2为氢或碳数1～6的烷基。]【化2】[式中，R3为氢或甲基。]【化3】[式中，R14和R15相互独立地为碳数1～5的烷氧基。]2.根据上述项目1的感光性树脂组合物，其中，上述第1树脂与上述第2树脂的混合重量比为20∶80～80∶20。3.根据上述项目1的感光性树脂组合物，其中，上述第1树脂的重均分子量为10,000～30,000。4.根据上述项目1的感光性树脂组合物，其中，上述第2树脂的重均分子量为2,000～20,000。5.根据上述项目1的感光性树脂组合物，其中，上述第1树脂具有由化学式1-1表示的重复单元。【化4】[式中，R4、R5、R6和R7相互独立地为氢或甲基，R8为来自从(甲基)丙烯酸苄酯、苯氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、(2-苯基)苯氧基乙氧基(甲基)丙烯酸酯、2-羟基-(2-苯基)苯酚丙基(甲基)丙烯酸酯、2-羟基-(3-苯基)苯氧基丙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯、(甲基)苯乙烯、乙烯基甲苯、乙烯基萘、N-苄基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、甲氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基四甘醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、和(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯中选择的单体的结构，R9为来自从下述式(1)～(7)中选择的单体的结构，【化5】R10为来自从(甲基)丙烯酸、琥珀酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、六氢邻苯二甲酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、邻苯二甲酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯和琥珀酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯中的单体的结构，R11为氢或碳数1～6的烷基，a＝20～60摩尔％、b＝5～30摩尔％、c＝10～50摩尔％、d＝5～30摩尔％。]6.根据上述项目1的感光性树脂组合物，其中，上述第2树脂具有由化学式2-1表示的重复单元。【化6】[式中，R12和R13相互独立地为氢或甲基，R14为来自下述式(8)的单体的结构，【化7】R15为来自从(甲基)丙烯酸、琥珀酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、六氢邻苯二甲酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、邻苯二甲酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯和琥珀酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯中选择的单体的结构，e＝50～95摩尔％、f＝5～50摩尔％。]7.根据上述项目1的感光性树脂组合物，其中，上述联咪唑系引发剂(C1)由下述化学式4表示。【化8】[式中，L3～L20相互独立地为氢、碳数1～6的烷基、碳数1～6的烷氧基或卤素原子。]8.根据上述项目1的感光性树脂组合物，其中，上述肟酯系引发剂(C2)为由下述化学式5表示的化合物。【化9】[式中，L1为氢或碳数1～10的烷基，L2为氢、碳数1～6的烷基或碳数6～12的芳基，L3为氢、碳数1～6的烷基、碳数6～12的芳基或-SC6H5。]9.光固化图案，其由上述项目1～8中的任一项目所述的感光性树脂组合物形成。10.根据上述项目9的光固化图案，其中，上述光固化图案选自阵列平坦化膜图案、保护膜图案、绝缘膜图案、光致抗蚀剂图案、黑底图案和柱状间隔物图案。11.图像显示装置，其具有上述项目9所述的光固化图案。专利技术的效果本专利技术的感光性树脂组合物能够形成显示T/B比值、精度提高的图案。此外，本专利技术的感光性树脂组合物，显影性优异，可进行由其制造的图案的CD-Bias控制以及可形成微细的图案，并且能够改善机械物性和对于基板的密合性。附图说明图1是概略地表示T/B比的定义的附图。具体实施方式本专利技术涉及感光性树脂组合物，其通过包含：包含具有由化学式1表示的重复单元的第1树脂和具有由化学式2表示的重复单元的第2树脂的碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、联咪唑系引发剂(C1)、肟酯系引发剂(C2)、由化学式3表示的紫外线吸收剂(D)和溶剂(E)，从而显影性优异，可形成微细的图案，能够形成T/B比值、机械物性和密合性优异的图案。以下对本专利技术详细说明。<感光性树脂组合物>本专利技术的感光性树脂组合物包含碱可溶性树脂(A)、聚合性单体化合物(B)、联咪唑系引发剂(C1)、肟酯系引发剂(C2)、紫外线吸收剂(D)和溶剂(E)。碱可溶性树脂(A)本专利技术中使用的碱可溶性树脂(A)是对形成图案时的显影处理工序中使用的碱显影液赋予可溶性的成分，包含具有由下述化学式1表示的重复单元的第1树脂和具有由下述化学式2表示的重复单元的第2树脂。本专利技术涉及的第1树脂，通过具有由下述化学式1表示的重复单元，从而在曝光阶段使用光聚合引发剂产生的自由基进行光聚合。此外，能够改善感光性树脂组合物的图案形成性和显影性。【化本文档来自技高网...
【技术保护点】
感光性树脂组合物，其包含：包含具有由下述化学式1表示的重复单元的第1树脂和具有由下述化学式2表示的重复单元的第2树脂的碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、联咪唑系引发剂(C1)、肟酯系引发剂(C2)、由下述化学式3表示的紫外线吸收剂(D)和溶剂(E)，式中，R1为氢或甲基，R2为氢或碳数1～6的烷基，式中，R3为氢或甲基，式中，R14和R15相互独立地为碳数1～5的烷氧基。
【技术特征摘要】
2015.01.13 KR 10-2015-00053961.感光性树脂组合物，其包含：包含具有由下述化学式1表示的重复单元的第1树脂和具有由下述化学式2表示的重复单元的第2树脂的碱可溶性树脂(A)、聚合性化合物(B)、联咪唑系引发剂(C1)、肟酯系引发剂(C2)、由下述化学式3表示的紫外线吸收剂(D)和溶剂(E)，【化1】[化学式1]式中，R1为氢或甲基，R2为氢或碳数1～6的烷基，【化2】[化学式2]式中，R3为氢或甲基，【化3】[化学式3]式中，R14和R15相互独立地为碳数1～5的烷氧基，其中，上述第1树脂具有由化学式1-1表示的重复单元，【化4】[化学式1-1]式中，R4、R5、R6和R7相互独立地为氢或甲基，R8为来自从(甲基)丙烯酸苄酯、苯氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、(2-苯基)苯氧基乙氧基(甲基)丙烯酸酯、2-羟基-(2-苯基)苯酚丙基(甲基)丙烯酸酯、2-羟基-(3-苯基)苯氧基丙基(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯、(甲基)苯乙烯、乙烯基甲苯、乙烯基萘、N-苄基马来酰亚胺、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、甲氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基三甘醇(甲基)丙烯酸酯、甲氧基四甘醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基乙二醇(甲基)丙烯酸酯、苯氧基二甘醇(甲基)丙烯酸酯、和(甲基)丙烯酸四氢呋喃酯中选择的单体的结构，R9为来自从下述式(1)～(7)选择的单体的结构，【化5】R10为来自从(甲基)丙烯酸、琥珀酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、六氢邻苯二甲酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯、邻苯二甲酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯和琥珀酸2-(甲基)丙烯酰氧基乙酯中选择的单体的结构，R11为氢或碳数1～6的烷基，a＝20～...
【专利技术属性】
技术研发人员：赵庸桓，曺伯铉，崔和燮，金在成，
申请(专利权)人：东友精细化工有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR
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