适用于端电极的喷射式电镀装置制造方法及图纸

一种适用于端电极的喷射式电镀装置包括用于储存镀液的镀液储存箱、喷射组件、电镀电源以及控制器，所述喷射组件与所述镀液储存箱连接并与镀件相对，所述喷射组件、所述镀件以及所述电镀电源连接形成闭合电镀回路，所述控制器与所述电镀电源及所述喷射组件连接，用于对外加于所述闭合电镀回路上的电流和/或电压进行控制。本发明专利技术喷射式电镀装置在控制器的控制下实现自动化，同时该装置省水、省电、占地面积小，便于实现电镀工序的模块化和加速产线的自动化升级。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种适用于端电极的喷射式电镀装置。
技术介绍
随着科技的不断进步和信息产业的快速发展，大规模、超大规模集成电路成为发展的主流和趋势。目前制造行业都在向自动化、模块化发展，在电子元器件产业链中，对于电子元器件的端电极处理主要是通过电镀的方式进行处理，传统的电镀方式占地面积广且浪费水电等能源，限制了电子元器件生产企业的自动化升级进程。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种能有效节省能源且占地面积，便于实现电镀工序的模块化的适用于端电极的喷射式电镀装置。一种适用于端电极的喷射式电镀装置包括用于储存镀液的镀液储存箱、喷射组件、电镀电源以及控制器，所述喷射组件与所述镀液储存箱连接并与镀件相对，所述喷射组件、所述镀件以及所述电镀电源连接形成闭合电镀回路，所述控制器与所述电镀电源及所述喷射组件连接，用于对外加于所述闭合电镀回路上的电流和/或电压进行控制。在其中一个实施例中，所述喷射组件包括与所述镀液储存箱连接的喷头、支撑柱、阳极板以及喷嘴，所述支撑柱设置于所述喷头内，所述阳极板设置于所述支撑柱上并通过所述支撑柱与所述电镀电源的电极导通，所述镀件设置于镀件治具上并通过所述镀件治具与所述电镀电源的电极导通，所述喷嘴可拆卸地设置于所述喷头上并与所述镀件相对。在其中一个实施例中，所述控制器还用于控制所述镀件治具转动以调整所述喷嘴与所述镀件之间的喷射角度。在其中一个实施例中，所述喷嘴包括朝向所述镀件的出口端，所述阳极板安装时需要与所述出口端的喷射方向相垂直，且有效面积大于喷嘴出口端的截面积，所述出口端的截面形状与所述镀件被电镀部分的正对面投影形状相匹配。在其中一个实施例中，所述适用于端电极的喷射式电镀装置包括搅拌器，所述搅拌器设置于所述镀液储存箱内，并与所述控制器连接。在其中一个实施例中，所述适用于端电极的喷射式电镀装置包括温度控制器，所述温度控制器设置于所述镀液储存箱内，并与所述控制器连接。在其中一个实施例中，所述适用于端电极的喷射式电镀装置包括流量泵，所述流量泵设置于所述喷头与所述镀液储存箱之间，并与所述控制器连接。在其中一个实施例中，所述控制器用于控制所述喷射组件的电镀时间，并当所述喷射组件的电镀时间达到设定值时，控制切断所述电镀电源并关闭所述流量泵。在其中一个实施例中，所述适用于端电极的喷射式电镀装置包括与所述镀液储存箱的镀液过滤回收槽。在其中一个实施例中，所述适用于端电极的喷射式电镀装置用于对电子元器件的端电极进行电镀处理。本专利技术适用于端电极的喷射式电镀装置在控制器的控制下实现自动化，同时该装置省水、省电、占地面积小，便于实现电镀工序的模块化和加速产线的自动化升级。附图说明图1为本专利技术实施例适用于端电极的喷射式电镀装置的结构示意图；图2为绕线电感器的端电极表面采用图1所示适用于端电极的喷射式电镀装置电镀镍之后的表面和截面形貌图。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将参照相关附图对本专利技术进行更全面的描述。附图中给出了本专利技术的较佳的实施例。但是，本专利技术可以以许多不同的形式来实现，并不限于本文所描述的实施例。相反地，提供这些实施例的目的是使对本专利技术的公开内容的理解更加透彻全面。需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。除非另有定义，本文所使用的所有的技术和科学术语与属于本专利技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本文中在本专利技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是旨在于限制本专利技术。本文所使用的术语“及/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。请参阅图1，本专利技术实施例中适用于端电极的喷射式电镀装置100包括用于储存镀液的镀液储存箱10、喷射组件20、电镀电源30以及控制器40。其中，喷射组件20与镀液储存箱10连接并与镀件200相对，且喷射组件20、镀件200以及电镀电源30连接形成闭合电镀回路。控制器40与电镀电源30及喷射组件20连接，用于对外加于闭合电镀回路上的电流和/或电压进行监控与转换，从而使镀液在喷射组件20与镀件200之间形成连续的镀液流体300，实现喷射组件20对镀件200喷射式电镀。具体地，控制器40可对闭合电镀回路实现不同形式的电流电压加载，如恒定电流、恒定电压、脉冲电流电压等，从而实现不同电流电压加载形式的喷射式电镀。此外，采用控制器40对适用于端电极的喷射式电镀装置100进行控制，便于实现电镀工序的模块化与自动化，加速产线的自动化升级。在本具体实施例中，镀件200为带有端电极202的电子元器件，喷射式电镀装置100用于对电子元器件的端电极202进行电镀处理。具体地，喷射组件20包括喷头21、支撑柱23、阳极板25以及喷嘴27。喷头21与镀液储存箱10连接。支撑柱23设置于喷头21内，阳极板25设置于支撑柱23上并通过支撑柱23与电镀电源30的电极导通。镀件200设置于镀件治具201上并通过镀件治具201与电镀电源30的电极导通。如此，阳极板25与镀件200之间外加电镀电源30后形成闭合电镀回路，引流至喷头21内的镀液在阳极板25与镀件200被镀表面之间形成一条流向镀件200的镀液流体300，从而实现喷射式电镀。喷嘴27可拆卸地设置于喷头21上且包括朝向镀件200的出口端270。其中，阳极板25是可更换的，其可根据镀件200的不同既可以是可溶性的镍、锡、铜等参与电化学反应的材料，也可以是铂、银、石墨等惰性材料。同时，阳极板25安装时需要与喷嘴27中出口端270的喷射方向相垂直，并且有效面积大于喷嘴27出口端270的截面积。同时，喷嘴27亦是可替换的，其可选用不导电的塑料或者陶瓷等材料制作，其出口端270内部截面形状需要与镀件200的端电极202正对面投影形状相匹配。进一步地，控制器40用于控制镀件治具201转动以调节喷嘴27与镀件200的端电极202表面之间的喷射角度。其中，喷射角度可以根据需要而定，其可以固定也可以随电镀过程进行变化，在此不作限定。进一步地，适用于端电极的喷射式电镀装置100包括搅拌器50，搅拌器50设置于镀液储存箱10内并与控制器40连接。控本文档来自技高网...

【技术保护点】
适用于端电极的喷射式电镀装置，其特征在于：包括用于储存镀液的镀液储存箱、喷射组件、电镀电源以及控制器，所述喷射组件与所述镀液储存箱连接并与镀件相对，所述喷射组件、所述镀件以及所述电镀电源连接形成闭合电镀回路，所述控制器与所述电镀电源及所述喷射组件连接，用于对外加于所述闭合电镀回路上的电流和/或电压进行控制。

【技术特征摘要】
1.适用于端电极的喷射式电镀装置，其特征在于：包括用于储存镀液的镀
液储存箱、喷射组件、电镀电源以及控制器，所述喷射组件与所述镀液储存箱
连接并与镀件相对，所述喷射组件、所述镀件以及所述电镀电源连接形成闭合
电镀回路，所述控制器与所述电镀电源及所述喷射组件连接，用于对外加于所
述闭合电镀回路上的电流和/或电压进行控制。
2.如权利要求1所述的适用于端电极的喷射式电镀装置，其特征在于：所
述喷射组件包括与所述镀液储存箱连接的喷头、支撑柱、阳极板以及喷嘴，所
述支撑柱设置于所述喷头内，所述阳极板设置于所述支撑柱上并通过所述支撑
柱与所述电镀电源的电极导通，所述镀件设置于镀件治具上并通过所述镀件治
具与所述电镀电源的电极导通，所述喷嘴可拆卸地设置于所述喷头上并与所述
镀件相对。
3.如权利要求2所述的适用于端电极的喷射式电镀装置，其特征在于：所
述控制器还用于控制所述镀件治具转动以调整所述喷嘴与所述镀件之间的喷射
角度。
4.如权利要求2所述的适用于端电极的喷射式电镀装置，其特征在于：所
述喷嘴包括朝向所述镀件的出口端，所述阳极板安装时需要与所述出口端的喷
射方向相垂直，且有效面积大于喷嘴出口端...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟景高，王上衡，朱建华，黄寒寒，施威，王智会，石菊幸，
申请(专利权)人：深圳振华富电子有限公司，中国振华集团科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44