一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置及其补偿方法制造方法及图纸

一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，包括：滤片槽轮盘，其上呈圆周间隔设置滤片槽；锁固部件，其外圈设置卡口，并通过定位栓固定设置在滤片槽轮盘之滤片槽内，且外周上设置齿轮牙纹；补偿滤片，固定设置在锁固部件内圈；主动齿轮，其齿轮与锁固部件之齿轮牙纹相啮合，并通过联轴器在驱动电机的作用下转动。本发明专利技术通过在锁固部件的外周上设置齿轮牙纹，并与通过联轴器在驱动电机的作用下进行转动的主动齿轮之齿轮相啮合，以在驱动电机的作用下进行旋转，且通过驱动电机启动旋转固定计数，不仅可以实现补偿滤片进行90°自动旋转，减少相同补偿滤片的重复安装，而且使得同一补偿滤片根据需要可满足X、Y方向的亮度调节，节省滤片槽的位置。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及半导体制造
，尤其涉及一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置及其补偿方法。
技术介绍
目前，在半导体光刻领域，光刻机的照明光瞳均一性系通过自动光瞳补偿滤片(AutoPupilCompensationFilter,AutoPCF)进行补偿，其功能是调整照明光瞳在X、Y方向上的四个位置之光亮均一性。作为本领域技术人员，不难知道地，在补偿过程中，机械自动根据光瞳光亮的大小选择合适的滤片，以调整Ia、Ib、Ic、Id的光亮，具体为根据X、Y、XY的以下公式来判断光瞳均一性是否满足要求：X＝{|Ic-Id|/(Ic+Id)

【技术保护点】
一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，包括：滤片槽轮盘，所述滤片槽轮盘上呈圆周间隔设置滤片槽；锁固部件，所述锁固部件之外圈设置卡口，并通过设置在所述卡口内的定位栓固定设置在所述滤片槽轮盘之滤片槽内，且在所述锁固部件之外周上设置齿轮牙纹；补偿滤片，所述补偿滤片固定设置在所述锁固部件内圈；主动齿轮，所述主动齿轮之齿轮与所述锁固部件之外周上的齿轮牙纹相啮合，并通过联轴器在所述驱动电机的作用下进行转动。

【技术特征摘要】
1.一种光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，所述光刻机之
照明光瞳均一性补偿装置，包括：
滤片槽轮盘，所述滤片槽轮盘上呈圆周间隔设置滤片槽；
锁固部件，所述锁固部件之外圈设置卡口，并通过设置在所述卡口内的
定位栓固定设置在所述滤片槽轮盘之滤片槽内，且在所述锁固部件之外周上
设置齿轮牙纹；
补偿滤片，所述补偿滤片固定设置在所述锁固部件内圈；
主动齿轮，所述主动齿轮之齿轮与所述锁固部件之外周上的齿轮牙纹相
啮合，并通过联轴器在所述驱动电机的作用下进行转动。
2.如权利要求1所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，
所述锁固部件之外圈设置的卡口数量为4个。
3.如权利要求2所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，
所述锁固部件之外圈设置的卡口在X方向和Y方向上互成90°。
4.如权利要求1所述光刻机之照明光瞳均一性补偿装置，其特征在于，
所述滤片槽轮盘上设置的滤片槽之数量为1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张浩，谢华，朱克俭，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31