本实用新型专利技术涉及机械臂支撑架领域，尤其涉及一种温控型传送装置，通过将承接玻璃的支撑架设计成中空型机构，在其内部通入温控气体，使支撑架具备温度调整功能。气体温控装置依随各制程单元不同的制程温度而进行相对应的温度参数调整，使温控气体通入支撑架本体内，进而使支撑架本体(含支撑垫)与经过各制程的玻璃温度趋近一致，即可避免支撑架的支撑垫支承玻璃时因温度差异而产生Mura。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机械臂支撑架领域，尤其涉及一种温控型传送装置。
技术介绍
在阵列(Array)制程中，主要制程为薄膜、黄光以及刻蚀，其中不同制程、不同设备有不同温度需求。在现行Array制程上，常会发现形状、严重程度不同的光晕(Mura)缺陷，其原因多是因为温度变异过大造成。如现行在高温制程后，部份设备由机械臂(Robot)的支撑架(Fork)承接玻璃，进而传送至下一单元。但因Fork为常温约23度左右，当高温的玻璃接触到常温的Fork时，其一瞬间的热传导效应即造成玻璃上的光刻胶或膜质产生变异，使得该接触点位上的薄膜晶体管(TFT)元件有局部变异，进而在后段点灯时出现Mura异常。由于现有的机械臂(Robot)支撑架(fork)均仅有支撑功能，但无任何温度控制功能，在承接与环境温度差异过大的制程玻璃时，极有可能因温差过大而造成接触点位上TFT元件的局部变异，进而产生Mura。为能有效解决上述问题，亟需专利技术出一种可依不同制程温度需求，能随时变更温度的支撑架，以彻底杜绝此类异常再次发生。
技术实现思路
鉴于现有技术中的不足，本技术技术方案提供一种温控型传送装置，通过将承接玻璃的支撑架设计成中空型机构，在其内部通入温控气体，使支撑架具温度调整功能。本技术为解决上述技术问题所采用的技术方案为:提供一种温控型传送装置，其特征在于，包括:机械手臂；支撑架本体，固定设置于所述机械手臂的一端，且所述支撑架本体上方均匀设置有若干用于承接玻璃的支撑垫；温控装置，设置于所述机械手臂未连接支撑架本体的另一端，用于调整所述支撑垫的温度。优选的，上述的温控型传送装置，其中，所述温控装置包括:温控腔体，具有入气口和出气口；风扇，临近所述入气口设置，以将温控气体导入所述温控腔体中；加热器，设置于所述温控腔体中，以对导入的所述温控气体进行加热。优选的，上述的温控型传送装置，其中，所述支撑架本体内部设置有气体回路通道，且所述气体回路通道具有进气口和排气口。优选的，上述的温控型传送装置，还包括:送气管道，所述温控腔体的出气口通过所述送气管道与所述气体回路通道的进气口贯通连接；出气管道，所述气体回路通道的排气口和外界通过所述出气管道贯通连接。优选的，上述的温控型传送装置，其中，所述送气管道和所述出气管道都设置在所述机械手臂中。优选的，上述的温控型传送装置，其中，所述气体回路通道均匀分布于所述支撑架本体内部，以使所述若干支撑垫的温度均趋于一致。优选的，上述的温控型传送装置，其中，所述支撑架的材质为热的良导体材质。 优选的，上述的温控型传送装置，其中，所述温控装置还包括:控制模块，与所述加热器连接；所述控制模块依据各制程单元的不同制程温度来控制所述加热器的温度，以使被所述加热器加热后的所述温控气体的温度与当前制程单元的制程温度趋于一致。优选的，上述的温控型传送装置，其中，所述温控气体为大气。本技术的技术方案具备以下有益效果:本技术的一种温控型传送装置，通过将承接玻璃的支撑架设计成中空型机构，在其内部通入温控气体，使支撑架具备温度调整功能。因承接玻璃时支撑架是通过支撑垫与玻璃基板接触，造成Mura异常的主要原因是因为与玻璃接触的支撑垫与玻璃基板之间的温差过大。因此本技术将气体温控装置依随各制程单元不同的制程温度而进行相对应的温度参数调整，使温控气体通入支撑架本体内，进而使支撑架本体(含支撑垫)与经过各制程的玻璃温度趋近一致，即可避免因温度差异而产生Mura。【附图说明】通过阅读参照以下附图对非限制性实施例所作的详细描述，本技术及其特征、外形和优点将会变得更明显。在全部附图中相同的标记指示相同的部分。并未刻意按照比例绘制附图，重点在于示出本技术的主旨。图1是本技术的温控型传送装置与机械手臂连接的俯视图；图2是本技术的温控型传送装置整体结构示意图；图3是本技术的温控型传送装置内部气体回路通道示意图。【具体实施方式】在下文的描述中，给出了大量具体的细节以便提供对本技术更为彻底的理解。然而，对于本领域技术人员而言显而易见的是，本技术可以无需一个或多个这些细节而得以实施。在其他的例子中，为了避免与本技术发生混淆，对于本领域公知的一些技术特征未进行描述。为了彻底理解本技术，将在下列的描述中提出详细的步骤以及详细的结构，以便阐释本技术的技术方案。本技术的较佳实施例详细描述如下，然而除了这些详细描述外，本技术还可以具有其他实施方式。参照图1，本技术的温控型传送装置1(也即支撑架I，下文中为描述方便可将该温控型传送装置I称为温控型支撑架I或直接简称为支撑架I)安装在阵列制程的机械手臂2上，支撑架(fork)I上还设置有支撑垫(support pad)3，支撑垫3的材质与支撑架I一样，用于在各制程单元中支承玻璃，起到缓冲与稳固的作用。支撑架I与机械手臂2的具体连接方式可使用螺丝或插接装置，只要其能固定安装即可，本技术对此不作限制。参照图2，本技术的温控型传送装置I整体结构主要包括:支撑架本体I，安装在机械手臂(robot)2上;机械手臂2安装在机械臂基座4上，机械臂基座4用于固定支撑机械手臂2。另外，机械臂基座4连接有气体温控装置5。在机械臂基座4、机械手臂2以及支撑架本体I内部均设置有气体回路通道，气体温控装置提供温控气体6经机械臂基座4以及机械手臂2通入支撑架本体I内部，并且温控气体6又经过机械手臂2以及机械臂基座4从支撑架I内部流出，以使得温控气体6在支撑架I内部不断循环，从而使支撑架1(包含设置在支撑架I上的支撑垫3)的温度与通入的温控气体6—致。而温控气体6的温度又是根据各制程单元的不同玻璃温度设定的，这样就使得支撑架1(包含设置在支撑架I上的支撑垫3)的温度与各制程单元的玻璃温度趋于一致，支撑架I在承接制程玻璃时，就不会因温差过大而造成接触点位上TFT元件的局部变异，也即不会产生Mura。作为一个优选的实施例，本实施例中在机械臂基座4、机械手臂2以及支撑架本体I内部均设置有气体回路通道，在本技术的其他优选实施例中，也可以只在支撑架本体I内部设置气体回路通道，并将气体温控装置5送气管道直接连接至支撑架本体I内部设置气体回路通道中；或者将送气管道设置于机械手臂2中。具体可以有灵活变动的多种设置方式，本技术对此不作限制。需要注意的是，若工艺制程允许，本实施例的气体温控装置5也可直接连接在支撑架I上，只要其设置不影响支撑架I的正常运行即可。另外，本实施例以气体温控装置5为例进当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种温控型传送装置，其特征在于，包括：机械手臂；支撑架本体，固定设置于所述机械手臂的一端，且所述支撑架本体上方均匀设置有若干用于承接玻璃的支撑垫；温控装置，设置于所述机械手臂未连接支撑架本体的另一端，用于调整所述支撑垫的温度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：吴韦良，
申请(专利权)人：上海和辉光电有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。