一种甩胶机，包括机架，机架包括机台，机台上设有甩胶部分，机架的上部设有控制部分，控制部分包括控制面板，控制部分与机台之间还设有隔板，甩胶部分包括容纳腔，容纳腔内设有甩胶盘，甩胶盘与真空吸气部分相连通，甩胶机还设有胶液回收部分，胶液回收部分包括开设在容纳腔中的集胶孔及与集胶孔连接的收胶瓶。本机具有胶层薄、涂布效率高、环保性好之优点。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体材料加工
，尤其是涉及一种硅片用甩胶机。
技术介绍
现有技术中，半导体材料的匀胶是将硅片吸附在吸盘上高速旋转，利用离心力将光刻胶均匀涂覆在硅片表面上，涂胶的电机转速由可调电阻控制，该技术存在以下缺点:I)没有设置多余胶液回收部分，多余的胶液对机台会造成污染;2)电机转速难以进行精确调节，最终影响涂胶的均匀度和厚度。
技术实现思路
本技术的目的在于克服现有技术中存在的缺点，提供一种硅片表面布胶用的甩胶机，该机设有胶液回收部分，使得机台不被胶液污染，该机还配备了高速直流电机，能实现精确调速的需要，采用的技术方案是:一种甩胶机，包括机架，所述机架包括机台，所述机台上设有甩胶部分，所述机架的上部设有控制部分，所述控制部分包括控制面板，所述控制部分与所述机台之间还设有隔板，其特征在于:所述甩胶部分包括容纳腔，所述容纳腔内设有甩胶盘，所述甩胶盘与真空吸气部分相连通，所述甩胶机还设有胶液回收部分，所述胶液回收部分包括开设在所述容纳腔中的集胶孔及与所述集胶孔连接的收胶瓶。本技术的技术特征还有:所述甩胶盘中心开有吸气孔，所述吸气孔与所述真空吸气部分的真空管相连接。本技术的技术特征还有:所述甩胶盘上表面还开有吸气槽，所述吸气槽与所述吸气孔相连通。本技术的技术特征还有:所述甩胶机的下表面还设有连接凸台，所述连接凸台与电机带动下转动的转轴连接。本技术的技术特征还有:所述电机为高速直流无刷电机。本技术的技术特征还有:所述容纳腔上还连接有密封盖。本技术的有益效果在于:本甩胶机为防止涂布胶液时对机台造成污染，在机台上设有容纳腔，甩胶盘及吸附在甩胶盘上的硅片由密封盖密封在内；真空管连通吸气孔和吸气槽，可将放置在甩胶盘上的硅片真空吸附在盘面上，进而由甩胶盘带动硅片高速旋转，完成硅片的均匀布胶;高速直流无刷电机满足了布胶时甩胶盘高速旋转的稳定性和准确性的需要，达到了胶层薄的目的，降低了硅片布胶成本;本机具有胶层薄、涂布效率高、环保性好之优点。【附图说明】附图1是本技术结构示意图，附图2是容纳腔结构示意图，附图3是甩胶盘主视图，附图4是附图3的后视图，附图5是容纳腔中移去甩胶盘后结构示意图，I是机架，2是机台，3是控制面板，4是隔板，5是甩胶盘，51是吸气槽，52是吸气孔，53是连接凸台，6是集胶孔，7是收胶瓶，9是容纳腔，1是转轴。【具体实施方式】下面结合附图，对本技术的【具体实施方式】进行说明。本技术公开了一种甩胶机，包括机架1、甩胶部分和胶液回收部分，甩胶部分将光刻胶均匀涂布在硅片上，胶液回收部分将甩胶中甩出的胶液回收起来，以避免对机台2的污染。机架I包括机台2，机台2上设有甩胶部分，机架I的上部为控制部分，控制部分包括控制面板3，控制部分与机台2之间还设有用于搁置物品的隔板4。甩胶部分包括容纳腔9，在容纳腔9内设有甩胶盘5，甩胶盘5的上表面低于容纳腔9的最高面。为了将硅片吸附在甩胶盘5上，甩胶盘5与真空吸气部分相连通，具体方式是在甩胶盘5中心开有吸气孔52，甩胶盘5上表面还开有吸气槽51，吸气槽51与吸气孔52相连通，吸气孔52与真空吸气部分的真空管(图中未示出)相连接。这样，经真空管、吸气孔52和吸气槽51，将硅片吸附在甩胶盘5上表面上，当真空栗停止吸气时，硅片从甩胶盘上分离开来。甩胶盘5的下表面还设有连接凸台53，连接凸台53与电机(图中未示出)带动下转动的转轴10连接。为了达到高速旋转且转速可调的目的，本甩胶机的电机为高速直流无刷电机，微电脑经驱动器对电机转速进行控制，并可准确实现分段时速控制。胶液回收部分包括开设在容纳腔9中的集胶孔6及与集胶孔6连接的收胶瓶7。高速甩胶中从硅片上甩出的胶液经集胶孔6、收胶管后进入收胶瓶7中。当然，上述说明并非对本技术的限制，本技术也不仅限于上述举例，本
的普通技术人员在本技术的实质范围内所做出的变化、改型、添加或替换，也属于本技术的保护范围。【主权项】1.一种甩胶机，包括机架，所述机架包括机台，所述机台上设有甩胶部分，所述机架的上部设有控制部分，所述控制部分包括控制面板，所述控制部分与所述机台之间还设有隔板，其特征在于:所述甩胶部分包括容纳腔，所述容纳腔内设有甩胶盘，所述甩胶盘与真空吸气部分相连通，所述甩胶机还设有胶液回收部分，所述胶液回收部分包括开设在所述容纳腔中的集胶孔及与所述集胶孔连接的收胶瓶。2.按照权利要求1所述的甩胶机，其特征在于:所述甩胶盘中心开有吸气孔，所述吸气孔与所述真空吸气部分的真空管相连接。3.按照权利要求2所述的甩胶机，其特征在于:所述甩胶盘上表面还开有吸气槽，所述吸气槽与所述吸气孔相连通。4.按照权利要求3所述的甩胶机，其特征在于:所述甩胶机的下表面还设有连接凸台，所述连接凸台与电机带动下转动的转轴连接。5.按照权利要求4所述的甩胶机，其特征在于:所述电机为高速直流无刷电机。6.按照权利要求1所述的甩胶机，其特征在于:所述容纳腔上还连接有密封盖。【专利摘要】一种甩胶机，包括机架，机架包括机台，机台上设有甩胶部分，机架的上部设有控制部分，控制部分包括控制面板，控制部分与机台之间还设有隔板，甩胶部分包括容纳腔，容纳腔内设有甩胶盘，甩胶盘与真空吸气部分相连通，甩胶机还设有胶液回收部分，胶液回收部分包括开设在容纳腔中的集胶孔及与集胶孔连接的收胶瓶。本机具有胶层薄、涂布效率高、环保性好之优点。【IPC分类】B05C11/10, B05C11/08【公开号】CN205199853【申请号】CN201520934185【专利技术人】张运, 孙者利 【申请人】济南卓微电子有限公司【公开日】2016年5月4日【申请日】2015年11月23日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种甩胶机，包括机架，所述机架包括机台，所述机台上设有甩胶部分，所述机架的上部设有控制部分，所述控制部分包括控制面板，所述控制部分与所述机台之间还设有隔板，其特征在于：所述甩胶部分包括容纳腔，所述容纳腔内设有甩胶盘，所述甩胶盘与真空吸气部分相连通，所述甩胶机还设有胶液回收部分，所述胶液回收部分包括开设在所述容纳腔中的集胶孔及与所述集胶孔连接的收胶瓶。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：张运，孙者利，
申请(专利权)人：济南卓微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：山东;37
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