本实用新型专利技术公开了一种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置，包括光刻胶容器，光刻胶管道，光刻胶抽取装置，涂布刮刀，以及涂布机管道，还包括光刻胶回收容器，所述光刻胶回收容器通过光刻胶回收管道与光刻胶抽取装置相连，所述光刻胶收回管道上设置有过滤器和流量计，所述光刻胶抽取装置开设三个端口，第一端口与光刻胶管道连接，第二端口与涂布机管道连接，第三端口与光刻胶回收管道连接。本实用新型专利技术在涂布机定期维护阶段对涂布刮刀和涂布机管道内的光刻胶进行了充分、合理的利用。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造领域，具体而言涉及半导体制备过程中的光刻胶涂布及回收利用装置。
技术介绍
在面板制造工艺中，光刻胶涂布是一道关键的工艺技术，进行这道工序的主要设备是涂布机，光刻胶抽取装置是涂布机的一个辅助设备，主要负责将光刻胶容器里的光刻胶抽取到光刻胶管道再传输到涂布机管道，最终通过涂布刮刀的运动在玻璃基板上均匀的涂覆一层光刻胶。由于涂布刮刀与玻璃基板的宽度一致，为保证均匀涂布，涂布刮刀上设置有很多涂布机管道，正常情况下各个管道内都需要充满光刻胶。为了提高设备稼动率，涂布机需要定期进行清洁和维护，包括对涂布机众多的涂布机管道进行清理。对涂布机进行清洁和维护之前，需要将涂布机管道内的光刻胶排除，通常是在几张测试玻璃基板上涂布光刻胶且不进行曝光和烘烤，然后经过显影液再将玻璃基板上的光刻胶去除的方式进行。当涂布机维护结束恢复设备时，需要预先将管道里充满光刻胶，再进行玻璃基板涂胶测试，直至确认涂布机涂布均匀度恢复才能恢复生产。涂布机在进行维护前后的准备过程中，其涂布机管道内的光刻胶都被浪费掉了，同时也浪费了一定量的显影液，这些对于制造行业来讲都是很严重的成本浪费。
技术实现思路
针对上述问题，本技术提供了一种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置，解决了涂布机维护前后其管道内光刻胶的浪费问题。为了实现上述目的，本技术的技术方案如下:—种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置，包括光刻胶容器，光刻胶管道，光刻胶抽取装置，涂布刮刀，以及涂布机管道，还包括光刻胶回收容器，所述光刻胶回收容器通过光刻胶回收管道与光刻胶抽取装置相连，所述光刻胶收回管道上设置有过滤器和流量计，所述光刻胶抽取装置开设三个端口，第一端口与光刻胶管道连接，第二端口与涂布机管道连接，第三端口与光刻胶回收管道连接。进一步地，所述光刻胶抽取装的第一端口和第三端口分别设置有第一门阀和第二门阀。再进一步地，所述光刻胶抽取装置抽取光刻胶的方式为双向抽取式。与现有技术相比，本技术具有以下有益效果: (I)本技术结构简单，易于操作。(2)本技术通过可双向抽取的光刻胶抽取装置将涂布刮刀、涂布机管道中残留的光刻胶吸入挤压回光刻胶回收容器中，达到了减少光刻胶的浪费及提高光刻胶的利用率的目的，大大的节约企业的制造成本，有力的增强了企业的竞争力，为企业的发展做出了突出的贡献。(3)本技术通过在光刻胶抽取装置的两个端口设置门阀，可以根据实际生产情况灵活选取两个容器内的光刻胶。【附图说明】图1为本技术的整体示意图。附图中的部分零部件名称如下:1-光刻胶容器，2-光刻胶管道，3-光刻胶抽取装置，4-涂布刮刀，5-涂布机管道，6_光刻胶回收容器，7-光刻胶回收管道，8-过滤器，9-流量计，10-第一端口，11-第二端口，12-第三端口，13-第一门阀，14-第二门阀。【具体实施方式】下面结合附图和实施例对本技术作进一步说明，本技术的实施方式包括但不限于下列实施例。如图1所示，一种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置，包括光刻胶容器，光刻胶管道，光刻胶抽取装置，涂布刮刀，以及涂布机管道，还包括光刻胶回收容器，所述光刻胶回收容器通过光刻胶回收管道与光刻胶抽取装置相连，所述光刻胶收回管道上设置有过滤器和流量计，所述光刻胶抽取装置开设三个端口，第一端口与光刻胶管道连接，第二端口与涂布机管道连接，第三端口与光刻胶回收管道连接，所述光刻胶抽取装的第一端口和第三端口分别设置有第一门阀和第二门阀，所述光刻胶抽取装置抽取光刻胶的方式为双向抽取式。正常生产情况下，光刻胶抽取装置上的第一门阀打开，第二门阀关闭，且光刻胶抽取装置选为正向抽取模式，如此就保证了光刻胶容器内的光刻胶向涂布机供给。当涂布机要进行定期维护时，将光刻胶抽取装置上的第一门阀关闭，第二门阀打开，然后将光刻胶抽取装置选为逆向抽取模式，此种模式下就可以完成将涂布刮刀和涂布机管道内的光刻胶抽取至光刻胶回收容器内，并且光刻胶回收管道上的计量器会记录收回的光刻胶量。当涂布机维护结束后，先利用光刻胶回收容器内的光刻胶填充涂布机管道，此时仍然保持第一门阀关闭，第二门阀打开，将光刻胶抽取装置再次调整为正向抽取模式即可；此时光刻胶回收管道上的过率器可以进一步对回收的光刻胶进行过滤，当流量计的计数到达设定数值后发出警报提醒工作人员转换为正常工作模式。通过以上操作，对涂布刮刀和涂布机管道内的光刻胶进行了充分、合理的利用。【主权项】1.一种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置，包括光刻胶容器(1)，光刻胶管道(2)，光刻胶抽取装置(3)，涂布刮刀(4)，以及涂布机管道(5)，其特征在于，还包括光刻胶回收容器(6)，所述光刻胶回收容器(6)通过光刻胶回收管道(7)与光刻胶抽取装置(4)相连，所述光刻胶收回管道(7)上设置有过滤器(8)和流量计(9)，所述光刻胶抽取装置开设三个端口，第一端口(10)与光刻胶管道(2)连接，第二端口(11)与涂布机管道(5)连接，第三端口(12)与光刻胶回收管道(7)连接。2.根据权利要求1所述的一种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置，其特征在于，所述光刻胶抽取装的第一端口(10)和第三端口(12)分别设置有第一门阀(13)和第二门阀(14)。3.根据权利要求2所述的一种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置，其特征在于，所述光刻胶抽取装置抽取光刻胶的方式为双向抽取式。【专利摘要】本技术公开了一种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置，包括光刻胶容器，光刻胶管道，光刻胶抽取装置，涂布刮刀，以及涂布机管道，还包括光刻胶回收容器，所述光刻胶回收容器通过光刻胶回收管道与光刻胶抽取装置相连，所述光刻胶收回管道上设置有过滤器和流量计，所述光刻胶抽取装置开设三个端口，第一端口与光刻胶管道连接，第二端口与涂布机管道连接，第三端口与光刻胶回收管道连接。本技术在涂布机定期维护阶段对涂布刮刀和涂布机管道内的光刻胶进行了充分、合理的利用。【IPC分类】G03F7/26【公开号】CN205210514【申请号】CN201520873578【专利技术人】刘幸 【申请人】刘幸【公开日】2016年5月4日【申请日】2015年11月5日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种用于回收涂布机管道内光刻胶的装置，包括光刻胶容器（1），光刻胶管道（2），光刻胶抽取装置（3），涂布刮刀（4），以及涂布机管道（5），其特征在于，还包括光刻胶回收容器（6），所述光刻胶回收容器（6）通过光刻胶回收管道（7）与光刻胶抽取装置（4）相连，所述光刻胶收回管道（7）上设置有过滤器（8）和流量计（9），所述光刻胶抽取装置开设三个端口，第一端口（10）与光刻胶管道（2）连接，第二端口（11）与涂布机管道（5）连接，第三端口（12）与光刻胶回收管道（7）连接。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：刘幸，
申请(专利权)人：刘幸，
类型：新型
国别省市：四川;51
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。