【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种利用预蚀刻玻璃基材以降低事后释放时间的方法，其特征在于，包含以下步骤： 提供一玻璃基材、一微小结构物、及一硅基底座； 将该玻璃基材与该微小结构物接合； 对该玻璃基材进行一第一蚀刻制程，以缩减该玻璃基材与该微小结构物的接触面积； 将该微小结构物与该硅基底座结合；以及 对该玻璃基材进行一第二蚀刻制程，以将该玻璃基材由该微小结构物上去除。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄荣山，陈炳儒，曾士原，
申请(专利权)人：华新丽华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。