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基于计算机视觉的微机电系统的测试装置与方法制造方法及图纸

技术编号:1323664 阅读:141 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种基于计算机视觉的微机电系统的测试装置。该装置包括由三维微动测试台、光学显微镜、频闪照明装置、MEMS结构运动激励装置、CCD摄像机、图像采集卡、GPIB控制卡、任意波形发生器、测量和控制计算机组成,其特征在于:光源采用高亮度的发光二极管LED,并辅以高带宽的恒流驱动电路和前置的任意波形发生器;MEMS运动驱动采用以单片高压运放为核心的电压驱动电路,具有多级增益调整,辅以前置的任意波形发生器。(*该技术在2023年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:胡小唐冯亚林靳世久胡晓东栗大超郝一龙
申请(专利权)人:天津大学
类型:发明
国别省市:

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