生产可用高纯精细化学品的设备制造技术

本文涉及生产操作助剂的系统和方法。该系统包括箱体，箱体中包括位于第一隔室内的功能性模块单元、位于第二隔室中的控制模块单元，以及至少一条连接管路，其中连接管路位于第三隔室中。至少一个隔室位于箱体的指定位置上。模块单元在各自的隔室中是可以移动的。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及高纯化学品的配料过程，具体涉及某种箱体设备。
技术介绍
在许多行中，比如在半导体行业中，化学品配料系统及浆料配料系统通常被用来制备高纯化学品。在生产和制造硅片的过程中，化学品配料系统及浆料配料系统特别有用。在常规的设备和系统中，所有的部件、连接管路以及控制模块单元都安装在箱体的内壁上。设备通常是单独设计的，这样可满足用户具体的功能要求和设计需求。由于每台设备是单独设计的，所以现有设备的成本很高，制造时间也很长。专利技术概述本专利技术的实施方案涉及配料系统，在这些实施方案中，在不对用户的具体需求构成限制的情况下，配料系统的建设、制造、安装和/或维护成本降低了，所用的时间也减少了。在某一实施方案中，本专利技术提供一种制备操作助剂的系统，该系统含有三个隔室，其中至少一个隔室位于箱体的指定位置上。功能性模块单元位于第一隔室中，控制模块单元位于第二隔室中，至少一条连接管路位于第三隔室中。在另一实施方案中，本专利技术提供一种制备操作助剂的系统，该系统含有一个箱体，箱体含有第一隔室；其中第一隔室用来可拆装的容纳以下模块单元中的任何模块单元维护模块单元、采样模块单元、分析模块单元、加湿模块单元、储罐模块单元、数据输入模块单元、混合模块单元、混合罐模块单元、传感器模块单元、单泵模块单元、双泵模块单元、单过滤器模块单元以及双过滤器模块单元。在另一实施方案中，本专利技术提供一种方法，该方法可提供操作助剂。该方法包括提供一种箱体以及提供功能性模块单元，其中箱体含有第一隔室，第一隔室中可拆装的容纳功能性模块单元。功能性模块单元选自于以下组维护模块单元、采样模块单元、分析模块单元、加湿模块单元、储罐模块单元、数据输入模块单元、混合模块单元、混合罐模块单元、传感器模块单元、单泵模块单元、双泵模块单元、单过滤器模块单元以及双过滤器模块单元。通过下面对本专利技术的非限制性实施方案进行详细的说明可以清楚地了解到本专利技术的其他优势以及新特点和新目标。非限制性实施方案是结合本文所附图形进行说明的，这些图形是示意性图形，并不一定是按比例绘制的。不同图形中相同的部件或近似相同的部件通常用的相同的数字表示。为了清晰起见，并非每张图中的每个部件都加有标签；同样，并非本专利技术每个实施方案中的每个部件都在图中加以表明，对于不是使本领域的普通技术人员理解本专利技术所必须的部件和每一个实施例，没有在附图中展示。当本技术说明与通过引证而被并入本文的文献相冲突时，应以本技术说明为准。图示简介本专利技术的非限制性优选实施方案将结合本文所附图形进行说明。附图说明图1是整个机柜模块单元的示意图，机柜中插有不同的模块单元和连接管路。图2半机柜模块单元的示意图。图3是半高机柜模块单元的示意图。图4是半高半机柜模块单元的示意图。图5是图1所示机柜模块单元的透视图。图6是由四个整机柜模块单元构成的设备的示意图。图7是由三个整机柜模块单元构成的设备的示意图。图8是由两个整机柜模块单元构成的设备的示意图。图9是由半机柜模块单元构成的设备的示意图。图10是由半高机柜模块单元构成的设备的示意图。图11是由半高机柜模块单元构成的其他设备的示意图。图12是由半高半机柜模块单元构成的设备的示意图。图13表明的是含有电子设备的另一机柜模块单元。图14表明的是功能性模块单元的液压连接图。图15a和15b表明了两个不同功能性模块单元的透视图。图16a和16b表明的是接口模块单元的液压连接图。图17a是带有内置功能性模块单元的机柜模块单元的正视图。图18是双机柜模块单元结构和附加机柜模块单元的透视图，其中双机柜模块单元中含有功能性模块单元；附加机柜模块单元中含有电子控制设备。本专利技术的详细说明本专利技术的实施方案涉及制造可用高纯化学品的设备，尤其涉及为半导体行业制造高纯化学品的设备。这些设备含有各种各样的部件，这些部件位于箱体内，并以某种方式相连，这样这些部件可以发挥一项或几种所需的具体功能，从而制备出有用的操作助剂。箱体可带有多个隔室来支持各种部件，比如支持功能性模块单元、控制模块单元和/或接口模块单元。箱体还包括其他隔室，这些其他隔室容纳其他部件、部件间连接管路以及用于对部件进行控制的控制模块单元。箱体可具有任意的尺寸及形状，并可由能够支持各个模块单元的任何材料制成，在某一实施方案中，箱体是以机柜的形式出现的。根据本专利技术的一个方面，箱体被分成指定的隔室，每个隔室容纳用于特定目的的特定模块单元。隔室可以具有任意的大小和形状，从而容纳特定的模块单元，比如隔室可以是正方形、长方形、环形或类似形状的，在优选情况下，隔室的结构可使特定的模块单元容易被接近。隔室的结构还可使模块单元方便地进行移动。举例而言，隔室可带有滑轨。一个或多个功能性模块单元可从指定的可用功能性模块单元中选出。控制模块单元可以与功能性模块单元相连，控制模块单元中含有控制元件。在本专利技术的某一实施方案中，至少第一隔室至少含有功能性模块单元，至少第二隔室至少含有控制模块单元，至少第三隔室至少含有连接管路。在本专利技术的另一实施方案中，几个功能性模块单元可置于同一箱体的几个第一隔室，几个控制模块单元可位于同一箱体的几个第二隔室中，多条连接管路可位于同一箱体的多个第三隔室中。在本专利技术的优选实施方案中，多个第一隔室在大小上可以相似，这些第一隔室可容纳多个不同的功能性模块单元。同样，每个第二隔室在大小上也可以相似，这些第二隔室可容纳多个不同的控制模块单元。每个第三隔室在大小上也可以相似，这些第三隔室容纳多条不同的连接管路。根据本专利技术的另一方面，在对设备进行现场安装之前，可以根据用户的具体需求来选用某些指定的功能性模块单元，从而使用户将这些模块单元组合起来并将它们安装到现场。同样，带有指定隔室的箱体也可在现场进行制作，用户在现场安装所需功能性模块单元、控制模块单元以及连接管路。由于这些模块单元可以进行选择的，并被安装到指定的隔室中，所以这一系统可依据用户具体的需求而方便进行制作。同样，该系统可由用户进行安装，这样可显著降低成本和时耗。此外，该系统还具有很大的安装灵活性，用户可对系统需求进行灵活的修改，并可用某一模块单元替换另一模块单元。当用户的需求发生变化或原有的模块单元不能工作而致导原有的功能性模块单元不能再使用时，这种灵活性就显得尤为有用了。再者，模块单元安装的灵活性还可降低与系统维护相关的时间及成本。在本专利技术的另一实施方案中，该系统可包括至少一个与相应功能性模块单元相对应的接口模块单元。其中接口模块单元可放置在箱体的第四隔室中，从而方便接口模块单元的维护或更换。在本专利技术的某一实施方案中，隔室中至少有一个隔室的结构和构造可使定位于相应隔室中的模块单元进行移动。在本专利技术的优选实施方案中，该隔室设有滑轨。在本专利技术的另一优选实施方案中，在至少一个箱体中，位于第一隔室中的至少一个功能性模块单元和/或位于第二隔室中的至少一个控制模块单元是可以移动的，其中第一隔室和/或第二隔室设有滑轨。在这种方式下，可以容易地进行功能性模块单元和/或控制模块单元的维护和更换。在本专利技术的另一优选实施方案中，系统中含有液压连接管路，箱体可包括第五隔室，这样可使液压供料管路和液压排出管路彼此分离开。在本专利技术的某一实施方案中，液压供料管路可位于箱体的第三隔室中，而液压排出管路可位于箱体的第五隔室本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提供操作助剂的系统，该系统包括：第一箱体；该箱体包括第一隔室、第二隔室和第三隔室；功能性模块单元，该功能性模块单元位于第一隔室中；控制模块单元，该控制模块单元位于第二隔室中；至少一条连接管路，该连接管路位于第三隔室中；第一、第二、第三隔室中至少有一个隔室位于箱体的指定部位。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：托德格雷夫斯，马丁沃德安，马丁本泽杰，
申请(专利权)人：德国动力股份有限公司，
类型：发明
国别省市：DE[德国]