一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是：包括两层在PTFE滤布，所述两层PTFE滤布上设置圆孔，所述两层PTFE滤布上圆孔之间设置有PTFE圆形通道，所述PTFE圆形通道的长度为8~12mm，所述PTFE滤布为高缜密基布，所述PTFE滤布的内表面覆有Gore膜，所述PTFE滤布的外表面附有PTFE膜。本发明专利技术采用Gore膜对磷酸进行过滤,通过与PTFE滤布的复合使用，代替通常使用的化纤滤布进行过滤,可以控制微粒要求0.2μm以下，满足工厂适用于大规模集成电路加工工艺，用于小于0.09-0.20um线宽电路蚀刻。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及滤料
，具体涉及一种一种适用于过滤电子级磷酸的滤料。
技术介绍
电子级磷酸属高纯磷酸，高纯磷酸(H3P04)是电子行业使用的一种超高纯化学试剂，属于微电子化学产品之一，目前世界上仅有美国、日本、韩国等少数几个国家能够生产。电子级磷酸广泛应用于超大规模集成电路、大屏幕液晶显示器等微电子工业，主要用于芯片的湿法清洗和湿法蚀刻，包括:①基片涂胶前的清洗；②光刻过程中的蚀刻及最终去胶；③硅片本身制作过程中的清洗和绝缘膜蚀刻、半导体膜蚀刻、导体膜蚀刻、有机材料蚀刻等。近年来，随着我国微电子和面板产业的高速发展，世界上许多著名IC晶圆代工、半导体封装以及LED、TFT-LCD企业巨头在中国大陆投资建厂，电子化学品的需求越来越大。“十五”期问，我国电子专用超净高纯化学试剂需求量超过I万t，而国内生产企业仅能提供10%。其中，国内通用型试剂市场今后的年增长率仍将维持在5% — 8%左右，电子化学品市场预计超过80亿美元，年增长率近20% ;世界电子化学品产业市场年平均净增长率为8%以上。电子级磷酸由于具有优良的性能，已成为电子工业不可缺少的电化学品之一，其需求量正逐年增长。电子级磷酸的制备关键在于控制并达到所要求的碱金属与重金属杂质离子的含量和颗粒度。因其有强酸性，传统的过滤布已不能使用电子级磷酸的技术要求。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中的不足，本专利技术公开了一种适用于过滤电子级磷酸的滤料。为了实现所述专利技术目的，本专利技术采用如下技术方案:一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是:包括两层在PTFE滤布，所述两层PTFE滤布上设置圆孔，所述两层PTFE滤布上圆孔之间设置有PTFE圆形通道，所述PTFE圆形通道的长度为8~12mm，所述PTFE滤布为高缜密基布，所述PTFE滤布的内表面覆有Gore膜，所述PTFE滤布的外表面附有PTFE膜。本专利技术所述圆形通道为两个以上。本专利技术所述有机材料涂层为环氧树脂。本专利技术所述有机材料涂层为酚醛树脂。由于采用了上述技术方案，本专利技术具有如下有益效果:采用Gore膜对磷酸进行过滤，通过与PTFE滤布的复合使用，代替通常使用的化纤滤布进行过滤，可以控制微粒要求0.2μπι以下，满足工厂适用于大规模集成电路加工工艺，用于小于0.09-0.20um线宽电路蚀刻。【附图说明】图1是本专利技术的结构示意图。图中:1、PTFE滤布；2、PTFE膜；3、有机材料涂层；4、PTFE圆形通道；5、Gore膜。【具体实施方式】通过下面的实施例可以详细的解释本专利技术，公开本专利技术的目的旨在保护本专利技术范围内的一切技术改进。本专利技术提供了一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，包括两层PTFE滤布1，所述两层PTFE滤布I上设置圆孔，所述两层PTFE滤布上圆孔之间设置有PTFE圆形通道4，所述PTFE圆形通道4的长度为8~12mm，所述PTFE滤布I为高缜密基布，所述PTFE滤布I的内表面覆有Gore膜5，所述PTFE滤布的外表面附有PTFE膜2 ;所述PTFE膜的外表面复合有机材料涂层3。所述有机材料涂层3为环氧树脂。所述有机材料涂层3为酚醛树脂。将本专利技术投入实际的工况使用，经实施证明，本专利技术在连续使用的情况下，可以控制微粒要求0.2μπι以下，满足工厂适用于大规模集成电路加工工艺，用于小于0.09-0.20um线宽电路蚀刻。本专利技术未详述部分为现有技术。【主权项】1.一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是:包括两层PTFE滤布(1)，所述两层PTFE滤布(I)上设置圆孔，所述两层PTFE滤布上圆孔之间设置有PTFE圆形通道(4)，所述PTFE圆形通道(4)的长度为8~12mm，所述PTFE滤布(I)为高缜密基布，所述PTFE滤布(I)的内表面覆有Gore膜(5 )，所述PTFE滤布的外表面附有PTFE膜(2 )。2.如权利要求1所述的适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是:所述圆形通道为两个以上。3.如权利要求1所述的适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是:所述PTFE膜的外表面复合有机材料涂层(3 )。4.如权利要求3所述的适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是:所述有机材料涂层(3)为环氧树脂。5.如权利要求3所述的适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是:所述有机材料涂层(3)为酚醛树脂。【专利摘要】一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是：包括两层在PTFE滤布，所述两层PTFE滤布上设置圆孔，所述两层PTFE滤布上圆孔之间设置有PTFE圆形通道，所述PTFE圆形通道的长度为8~12mm，所述PTFE滤布为高缜密基布，所述PTFE滤布的内表面覆有Gore膜，所述PTFE滤布的外表面附有PTFE膜。本专利技术采用Gore膜对磷酸进行过滤,通过与PTFE滤布的复合使用，代替通常使用的化纤滤布进行过滤,可以控制微粒要求0.2μm以下，满足工厂适用于大规模集成电路加工工艺，用于小于0.09-0.20um线宽电路蚀刻。【IPC分类】C01B25/234, B01D29/58, B01D29/05【公开号】CN105561649【申请号】CN201410544008【专利技术人】王立平, 王国强, 王东辉, 耿瑞娟, 张颖 【申请人】洛阳盛洁环保科技有限公司【公开日】2016年5月11日【申请日】2014年10月15日本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种适用于过滤电子级磷酸的滤料，其特征是：包括两层PTFE滤布（1）， 所述两层PTFE滤布（1）上设置圆孔，所述两层PTFE滤布上圆孔之间设置有PTFE圆形通道（4），所述PTFE圆形通道（4）的长度为8~12mm，所述PTFE滤布（1）为高缜密基布，所述PTFE滤布（1）的内表面覆有Gore膜（5），所述PTFE滤布的外表面附有PTFE膜（2）。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王立平，王国强，王东辉，耿瑞娟，张颖，
申请(专利权)人：洛阳盛洁环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：河南;41
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