本发明专利技术提供了一种研磨磨头保护装置，所述研磨磨头保护装置包括：轴套，所述轴套与磨头进给系统固定连接，且所述磨头进给系统的研磨磨头固定在所述轴套中；与所述轴套固定连接的缓冲装置；以及与所述缓冲装置固定连接的支撑结构，所述支撑结构还与磨头减速器箱固定连接；当所述磨头进给系统工作时，所述研磨磨头在所述轴套的带动下进行上下往复运动。上述方案，通过在半导体专用设备的研磨磨头上连接缓冲装置，减小了进给系统的研磨磨头在上下进给过程中的冲击力对机械部件的损伤，有效地提高了半导体专用设备的磨削质量以及半导体专用设备的稳定性，增强了半导体专用设备的可靠性。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体专用设备
，特别涉及一种研磨磨头保护装置。
技术介绍
在半导体专用设备制造过程中，进给系统磨削磨头的保护装置是实现磨削晶圆质量的关键技术及前提。在现代化的生产设备中，研磨磨头保护装置一般是电机低速带动磨头上下或加装一种硬性机械连接装置，甚至有的设备都没有防护装置。这些方法往往起不了很大作用，甚至造成整个进给系统的硬损伤，对机械结构伤害很大，同时影响进给系统的重复定位精度，影响磨削质量，影响设备可靠性。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是提供一种研磨磨头保护装置，用以解决进给系统磨头在上下行进过程中的冲击力对机械部件的损伤，传统保护装置不起作用，影响设备可靠性的问题。为了解决上述技术问题，本专利技术实施例提供一种研磨磨头保护装置，包括:轴套100，所述轴套100与磨头进给系统固定连接，且所述磨头进给系统的研磨磨头固定在所述轴套100中；与所述轴套100固定连接的缓冲装置200 ；以及与所述缓冲装置200固定连接的支撑结构300，所述支撑结构300还与磨头减速器箱固定连接；当所述磨头进给系统工作时，所述研磨磨头在所述轴套100的带动下进行上下往复运动。进一步地，所述轴套100包括:研磨磨头固定座；其中，所述研磨磨头固定座包括:底座110以及设置在所述底座110的第一面上的第一凸台结构120 ;所述底座110与所述第一凸台结构120上设置有第一开孔130，所述第一开孔130贯穿所述底座110与所述第一凸台结构120，所述研磨磨头的磨杆设置在所述第一开孔130中；所述底座110的第二面上设置有固定所述研磨磨头的头部的第二开孔151 ;所述研磨磨头固定座上还设置有一固定结构140，所述固定结构140与所述磨头进给系统固定连接；其中，所述第一面与所述第二面为相对的两面。进一步地，所述底座110的第二面上设置有第二凸台结构150，所述第二开孔151设置在所述第二凸台结构150上，且所述第一开孔130贯穿所述第二凸台结构150设置。进一步地，所述固定结构140对称的设置在所述研磨磨头固定座上，且所述固定结构140上设置有多个螺栓孔141。进一步地，所述缓冲装置200包括:具有一容置腔的缸体210，所述缸体210的一端与所述支撑结构300固定连接；以及活塞杆220，所述活塞杆220的第一端设置在所述缸体210的容置腔中，所述活塞杆220的第二端露在所述缸体210远离所述支撑结构300的一端的外部，且所述活塞杆220的第二端与所述研磨磨头固定座固定连接；所述活塞杆220在所述轴套100的带动下，在所述缸体210的容置腔中进行上下往复运动。进一步地，所述研磨磨头保护装置还包括:与所述活塞杆220固定连接的杆端球面连接器230，所述杆端球面连接器230通过螺栓实现与所述研磨磨头固定座的固定连接。进一步地，所述支撑结构300包括:第一支架310，所述第一支架310的一端设置有第二支架320，所述第二支架320与所述磨头减速器箱固定连接，所述第一支架310的另一端连接有缓冲装置固定架，所述缓冲装置200通过所述缓冲装置固定架与所述第一支架310固定连接；在连接完成后，所述缓冲装置200与所述第一支架310成第一预设角度。进一步地，所述缓冲装置固定架包括:与所述第一支架310连接的双耳环支撑件331 ;以及与所述双耳环支撑件331连接的耳环座332，所述缓冲装置200固定连接在所述耳环座332上。进一步地，所述缓冲装置固定架还包括:连接所述双耳环支撑件331和所述耳环座332的耳环挡杆333 ；其中，所述双耳环支撑件331上设置有第一安装孔，所述耳环座332上设置有第二安装孔，所述耳环挡杆333穿过所述第一安装孔和所述第二安装孔，固定连接所述双耳环支撑件331和所述耳环座332。进一步地，所述支撑结构300还包括:连接部340，所述连接部340设置在所述第一支架310和所述缓冲装置固定架之间，固定连接所述第一支架310和所述缓冲装置固定架。进一步地，所述研磨磨头保护装置分别包括两个缓冲装置200和两个支撑结构300，每个缓冲装置200连接一个支撑结构300，且两个缓冲装置200对称的设置在所述轴套100的两侧。本专利技术的有益效果是:上述方案，通过在半导体专用设备的研磨磨头上连接缓冲装置，减小了进给系统的研磨磨头在上下进给过程中的冲击力对机械部件的损伤，有效地提高了半导体专用设备的磨削质量以及半导体专用设备的稳定性，增强了半导体专用设备的可靠性。【附图说明】图1表示本专利技术实施例的设置有研磨磨头的研磨磨头保护装置的结构示意图一；图2表示本专利技术实施例的研磨磨头保护装置的结构示意图二 ；图3表示本专利技术实施例的设置有研磨磨头的研磨磨头保护装置的结构示意图三；图4表不本专利技术实施例的轴套的结构不意图一；图5表示本专利技术实施例的轴套的结构示意图二 ；图6表示本专利技术实施例的轴套的结构示意图三；图7表示研磨磨头的结构示意图一；图8表示研磨磨头的结构示意图二 ；图9表示本专利技术实施例的所述研磨磨头保护装置的使用状态示意图。【具体实施方式】为使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例对本专利技术进行详细描述。本专利技术针对进给系统磨头在上下行进过程中的冲击力对机械部件的损伤，传统保护装置不起作用，影响设备可靠性的问题，提供一种研磨磨头保护装置。如图1至图3所示，本专利技术实施例的研磨磨头保护装置，包括:轴套100，所述轴套100与磨头进给系统固定连接，且所述磨头进给系统的研磨磨头固定在所述轴套100中；与所述轴套100固定连接的缓冲装置200 ;以及与所述缓冲装置200固定连接的支撑结构300，所述支撑结构300还与磨头减速器箱固定连接；当所述磨头进给系统工作时，所述研磨磨头在所述轴套100的带动下进行上下往复运动。应当说明的是，该研磨磨头保护装置主要应用在半导体专用设备上。需要说明的是，轴套100的作用为固定研磨磨头，并使得研磨磨头可以在磨头进给系统的作用下进行工作，为了保证所述轴套100的牢靠固定，所述研磨磨头保护装置通常包括两个缓冲装置200和两个支撑结构300，每个缓冲装置200连接一个支撑结构300，且两个缓冲装置200对称的设置在所述轴套100的两侧；同时，为了保证所述研磨磨头的正常工作，所述轴套100通常采用如下方式设置:如图4至图6所示，所述轴套100包括:研磨磨头固定座；其中，所述研磨磨头固定座包括:底座110以及设置在所述底座110的第一面上的第一凸台结构120 ;所述底座110与所述第一凸台结构120上设置有第一开孔130，所述第一开孔130贯穿所述底座110与所述第一凸台结构120，所述研磨磨头的磨杆设置在所述第一开孔130中；所述底座110的第二面上设置有固定所述研磨磨头的头部的第二开孔151 ;所述研磨磨头固定座上还设置有一固定结构140，所述固定结构140与所述磨头进给系统固定连接；其中，所述第一面与所述第二面为相对的两面。可选地，所述底座110的第二面上设置有第二凸台结构150，所述第二开孔151设置在所述第二凸台结构150上，且所述第一开孔130贯穿所述第二凸台结构150设置。需要说明的是，所述固定结构140设置在所述研磨磨头固定座的一侧，且所述固定结构140左右对称的本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种研磨磨头保护装置，其特征在于，包括：轴套(100)，所述轴套(100)与磨头进给系统固定连接，且所述磨头进给系统的研磨磨头固定在所述轴套(100)中；与所述轴套(100)固定连接的缓冲装置(200)；以及与所述缓冲装置(200)固定连接的支撑结构(300)，所述支撑结构(300)还与磨头减速器箱固定连接；当所述磨头进给系统工作时，所述研磨磨头在所述轴套(100)的带动下进行上下往复运动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：贺东葛，赵岁花，张敏杰，张景瑞，刘宇光，
申请(专利权)人：北京中电科电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11
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