一种晶圆加工监控水平的方法及系统、设备、介质技术方案

本发明专利技术一种晶圆加工监控水平的方法及系统、设备、介质，其涉及一种远程监控方法，其包括如下步骤：将每个节点上链；当超过第一阈值的其他节点以所述哈希算法将第一数据解密为远程服务数据、所述远程服务供应商节点发送的远程服务数据的第一持续时间、第一发送数量时，广播下一个数据列表的远程服务数据；根据第二持续时间占所述第一持续时间的第一百分比和第二发送数量占所述第一发送数量的第二百分比判断所述远程服务供应商节点是否合格。本发明专利技术通过将每个节点上链，从而使所有的节点均以相同的数据库达成共识机制，以便相互分享发送的远程服务数据和监控接收的数据的质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种远程监控方法，特别是涉及一种晶圆加工自动监控远程服务水平的方法。

技术介绍

1、随着晶圆远程系统服务信息化、智能化的发展趋势，晶圆加工利用传感器、通信、物联网、互联网等技术手段，自动感知和获得晶圆自身、环境等方面的信息和数据，并利用计算机技术、自动控制技术和大数据处理分析技术，在晶圆加工设备的运行、管理、维护保养、货物运输等方面实现智能化运营。当前晶圆远程系统服务主要通过远程供应商进行通讯，存在通讯不稳定、及时性不高的现象，晶圆远程系统服务通讯存在一定难度。

2、最主要、最关键的技术问题：

3、1、存在发送晶圆远程系统服务数据丢包问题；

4、2、存在晶圆远程信息是否实现服务，供应商、管理监控端、设备端都无法实现共识，无法共同信任。

5、因此，目前需要一种能够管理监控端、远程服务供应商、设备端共同信任的一种晶圆加工自动监控远程服务水平的方法。

技术实现思路

1、本专利技术要解决的技术问题是提供一种能够管理监控端、远程服务供应商、设备端共同信任的一本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆加工自动监控远程服务水平的方法，其特征在于：包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工自动监控远程服务水平的方法，其特征在于：所述根据所述第二持续时间占所述第一持续时间的第一百分比和第二发送数量占所述第一发送数量的第二百分比判断所述远程服务供应商节点是否合格，包括：

3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工自动监控远程服务水平的方法，其特征在于：所述根据所述第二持续时间占所述第一持续时间的第一百分比和第二发送数量占所述第一发送数量的第二百分比判断所述远程服务供应商节点是否合格，包括：

4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工自动监控远程服...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆加工自动监控远程服务水平的方法，其特征在于：包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工自动监控远程服务水平的方法，其特征在于：所述根据所述第二持续时间占所述第一持续时间的第一百分比和第二发送数量占所述第一发送数量的第二百分比判断所述远程服务供应商节点是否合格，包括：

3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工自动监控远程服务水平的方法，其特征在于：所述根据所述第二持续时间占所述第一持续时间的第一百分比和第二发送数量占所述第一发送数量的第二百分比判断所述远程服务供应商节点是否合格，包括：

4.根据权利要求1所述的一种晶圆加工自动监控远程服务水平的方法，其特征在于：所述根据所述第二持续时间占所述第一持续时间的第一百分比和第二发送数量占所述第一发送数量的第二百分比判断所述远程服务供应商节点是否合格，包括：

5.一种晶圆加工自动监控远程服务水平的系统，其特征在于，包括：拥有相同区块链数据库的管理监控端...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢贵久，张文斌，衣忠波，李战伟，
申请(专利权)人：北京中电科电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：