【技术实现步骤摘要】
本申请涉及精密仪器控制的，特别是涉及一种非线性补偿表的测量方法及测量装置。
技术介绍
1、对于划片机、车床等精密设备对于电机的运动控制要求很高，一般情况驱动器自身会做一些线性的补偿和反馈补偿，然而很多检测元件如热敏电阻、光敏管等具有不同程度的非线性特性，与电机配合的丝杠导轨等机械性能也存在着不同程度的非线性，这使较大范围的动态检测和机械运动存在着误差。为了确保设备的运动精度这些情况往往需要做非线性补偿，非线性补偿的方法有很多，针对划片机的特点通常采用查表补偿的方式进行。由于每台机器的机械性能不同，所以对每台机器的补偿表也不尽相同，这要就需要测量出每台机器的补偿表。
2、现有的测量方法一般是通过第三方标准的测量工具测量设备的真实运动距离和目标移动距离的差值来得到一个补偿数据，经过对整个行程分段测量得出整个补偿表，当然测量的步进越小得到的数据越多，最终补偿的精度越高。为了确保精度第三方测量工具一般使用激光干涉仪进行测量，将激光干涉仪的反射镜固定在丝杠导轨组成的运动机构上，运动控制器控制控制电机带动运动机构按照一定的步距运动，每运...
【技术保护点】
1.一种非线性补偿表的测量方法，其特征在于，所述测量方法包括：
2.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
3.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
4.根据权利要求3所述的测量方法，其特征在于，所述标准观察物为具有刻度的光刻版。
5.根据权利要求4所述的测量方法，其特征在于，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
6.根据权利要求5所述的测量方法，其特征在于，所述至所述第一轴完成全程移动
【技术特征摘要】
1.一种非线性补偿表的测量方法，其特征在于，所述测量方法包括：
2.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
3.根据权利要求1所述的测量方法，其特征在于，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
4.根据权利要求3所述的测量方法，其特征在于，所述标准观察物为具有刻度的光刻版。
5.根据权利要求4所述的测量方法，其特征在于，所述视觉系统获取第一轴的实际移动距离，进一步包括：
6.根据权利要求5所述的测量方法，其特征在于，所述至所述第一轴完成全程移动，进一步包...
【专利技术属性】
技术研发人员：谢贵久，杨晓雄，袁晓春，
申请(专利权)人：北京中电科电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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