【技术实现步骤摘要】
本专利技术设及一种多层石墨締W及具有该多层石墨締的蓄电装置和半导体装置。
技术介绍
近年来,石墨締被探讨用于半导体装置中的具有导电性的电子构件。石墨締是指 石墨中的水平层,即由碳原子构成的六元环在平面方向上连接而成的碳层,尤其两层W上 且一百层W下的该碳层被叠层时称为多层石墨締。 由于石墨締具有化学稳定性和良好的电特性,所W有望应用于包括在半导体装置 中的晶体管的沟道区、通孔、布线等。 另外,在专利文件1中,为了提高裡离子电池的电极材料的导电性,将石墨締覆盖 在活性电极材料上。 日本专利申请公开2011-29184号公报 石墨締具有高导电性是因为由碳原子构成的六元环在平面方向上连接。就是说, 石墨締在平面方向上具有高导电性。此外,由于石墨締是薄膜状,并在层叠的石墨締中有间 隔,因此在该区域中离子能够移动。然而,在垂直于石墨締的平面的方向上离子难W移动。 另外,蓄电装置所包括的电极由集电体及活性物质层构成。在现有的电极中,除了 活性物质W外活性物质层还包括导电助剂、粘结剂等,它们导致每单位重量活性物质层的 放电容量的下降。再者,活性物质层所包括的粘结剂 ...
【技术保护点】
一种多层石墨烯,包括:各自包含石墨烯的多个重叠的层,其中,所述石墨烯各自包括:由碳原子构成的六元环;由碳原子构成的七元环以上的多元环;以及与所述六元环及所述多元环中的所述碳原子键合的一个或多个氧原子,并且所述多个重叠的层之间的层间距离均为大于0.34nm且0.5nm以下。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员:小国哲平,等等力弘笃,长多刚,
申请(专利权)人:株式会社半导体能源研究所,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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