本实用新型专利技术涉及一种夹持装置以及应用其的测试系统，其中夹持装置包含载台、承载部、动力源、夹持部以及凸出部。承载部设置于载台，并具有观测窗，其中载台表面与承载部表面间有段差。动力源提供输出动力，其中输出动力方向平行于载台表面。夹持部与动力源连接，使得夹持部往复移动于载台表面，其中夹持部包含定位部。当凸出部位于定位部内时，夹持部与载台表面夹第一角度。而当凸出部与夹持部接触时，夹持部与载台表面夹第二角度，其中第一角度小于第二角度。因此，夹持部在仅有单一个水平方向的推力下，产生水平以及铅直的移动。
【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及一种夹持装置以及应用其的测试系统，其中夹持装置包含载台、承载部、动力源、夹持部以及凸出部。承载部设置于载台，并具有观测窗，其中载台表面与承载部表面间有段差。动力源提供输出动力，其中输出动力方向平行于载台表面。夹持部与动力源连接，使得夹持部往复移动于载台表面，其中夹持部包含定位部。当凸出部位于定位部内时，夹持部与载台表面夹第一角度。而当凸出部与夹持部接触时，夹持部与载台表面夹第二角度，其中第一角度小于第二角度。因此，夹持部在仅有单一个水平方向的推力下，产生水平以及铅直的移动。【专利说明】夹持装置以及应用其的测试系统
本技术是有关于一种夹持装置，特别是一种用于半导体晶圆量测机台中的自动式夹持装置。
技术介绍
自动化生产已经是现今趋势，不论传统产业或是科技产业都有一定程度的自动化生产线。除此之外，生产完毕的良率检测也趋向自动化。以晶圆生产完毕后为例，常见通过夹持装置将完成的晶圆固定，以方便作各种检测。 夹持装置施力将晶圆固定，然而，夹持时晶圆需承受侧向力量，使得晶圆存在破片的风险。或是为了消除因侧向力产生的晶圆变形进而和载台之间存有空隙，增加设置金属或软质胶带消除空隙，并由此将晶圆固定。然而固定的金属或软质胶带又有存在震动异音、影响点测品质等问题。因此，如何有效地利用夹持装置固定且不破坏晶圆，并又不影响晶圆的点测品质，已经成了此领域亟欲解决的问题。
技术实现思路
本技术提供一种夹持装置，通过凸出部与夹持部的相对位置关系，只需提供水平方向的单一个输出动力，即可完成夹持部包含水平以及铅直的移动。因此，夹持部可以提供铅直方向的施力固定待测物，其除了提供待测物固定于载台外，也使得待测物不会因遭受侧向的挤压力量而产生破片。 本技术提供一种夹持装置，其包含: 一载台； —承载部，设置于所述载台，并具有一观测窗，其中所述载台表面与所述承载部表面间有一段差，以放置一待测物于所述承载部； 至少一动力源,提供一输出动力,其中所述输出动力方向平行于所述载台表面； 至少一夹持部，与至少一所述动力源连接，使得至少一所述夹持部往复移动于所述载台表面，其中至少一所述夹持部包含多个定位部；以及 至少一凸出部，凸出于所述载台表面且位于至少一所述夹持部的所述定位部的往复移动路径上，其中至少一所述凸出部形状对应于所述定位部，当至少一所述凸出部位于所述定位部内时，至少一所述夹持部与所述载台表面形成第一角度，而当至少一所述凸出部与至少一所述夹持部接触时，至少一所述夹持部与所述载台表面形成第二角度，其中所述第一角度小于所述第二角度。 如上所述的夹持装置，其中，所述第一角度为O度。 如上所述的夹持装置，其中，至少一所述动力源为一气压缸、一马达、一电磁开关或一致动器。 如上所述的夹持装置，其中，至少一所述夹持部的一端连接于至少一所述动力源，另一端接触所述待测物表面，且至少一所述凸出部位于一所述定位部内，至少一所述夹持部与所述载台表面形成第三角度，其中所述第二角度大于所述第三角度且所述第三角度大于或等于所述第一角度。 如上所述的夹持装置，其中，至少一所述夹持部由金属材料制成，且所述载台对应至少一所述夹持部的位置设置有至少一磁铁。 如上所述的夹持装置，其中，至少一所述夹持部由具有挠性的金属材料制成。 如上所述的夹持装置，其中，至少一所述凸出部更包含一滚珠，所述滚珠设置于至少一所述凸出部的顶端。 如上所述的夹持装置，其中，每一所述定位部内表面具有一导角或至少一所述夹持部邻近所述承载部的一端具有一导角。 如上所述的夹持装置，其中，至少一所述定位部形态为一缝隙、一开口、一孔洞或一贯穿口。 一种测试系统，其包含: 如上所述的夹持装置；以及 一量测装置，所述量测装置为一探针卡或一探针点测装置，所述探针卡或所述探针点测装置包含至少一探针接触于所述待测物表面。 本技术提供一种夹持装置，配合所包含的凸出部以及夹持部间的相对关系，使得只需提供水平方向的单一个输出动力，即可使夹持部具有水平以及铅直方向的运动。也因此，夹持部能以铅直方向的力量固定待测物，以免除待测物遭受侧向的挤压力量而有破片的风险。此外，通过本技术的夹持装置，可以提高待测物稳定性，使得夹持以及卸载待测物更容易，有助于提升点测的良率。以及，通过本技术的夹持装置，由于自动化可节省人员操作步骤，故可提高更换待测物的效率。 【专利附图】【附图说明】 以下附图仅旨在于对本技术做示意性说明和解释，并不限定本技术的范围。其中， 图1A为依照本技术的夹持装置一实施例的俯视示意图。 图1B为依照图1A的夹持装置沿线段AA’的剖面示意图。 图2为本技术夹持装置的凸出部另一实施例的剖面示意图。 图3A至图3C为本技术夹持装置的夹持部一实施例的操作示意图。 图4A为本技术夹持装置的载台另一实施例的侧视示意图。 图4B为本技术夹持装置的夹持部与定位部其它实施例的侧视示意图。 图5为依照本技术的测试系统一实施例的侧视示意图。 附图标号说明: 100夹持装置 160测试系统 102待测物162量测装置 110载台150导角 114承载部 170基座 115磁铁172探针 116段差174光线 118动力源Θ1?Θ3第一?三角度 119输出动力 ΑΑ’线段 120观测窗 140凸出部 130夹持部 142滚珠 132、132’ 定位部 【具体实施方式】 以下将以附图及详细说明清楚说明本技术的精神，任何所属
中具有通常知识者在了解本技术的较佳实施例后，当可由本技术所教示的技术，加以改变及修饰，其并不脱离本技术的精神与范围。 公知夹持装置的固定方式为使用水平方向的推力固定待测物，然而水平方向的向内挤压将使得待测物(晶圆)破片可能性大增。另外，除了施以水平方向推力之外，当公知夹持装置使用定位块作固定时，待测物于卸载时会卡在定位块上无法取下，造成检测过程的延岩。 有鉴于此，本技术的夹持装置配合凸出部以及夹持部间的相对关系，使得仅通过水平方向的单一个输出动力，产生夹持部具有水平以及铅直方向运动。也因此，夹持部能以铅直方向的力量固定待测物，免除待测物因为遭受侧向力或推力挤压，进而造成破片的风险。 请同时参照图1A以及图1Β。图1A为依照本技术的夹持装置一实施例的俯视示意图。图1B为依照图1A的夹持装置沿线段ΑΑ’的剖面示意图。夹持装置100包含载台110、承载部114、至少一动力源118、至少一夹持部130以及至少一凸出部140。承载部114设置于载台110。至少一凸出部140设置于载台110表面。至少一夹持部130与至少一动力源118连接。具体而言，夹持装置100具有一载台110、一承载部114、二个动力源118、四个凸出部140以及二个夹持部130。 由于夹持装置100两侧的动力源118、夹持部130与凸出部140结构皆相同，因此以下仅叙述夹持装置100其中一侧的动力源118、夹持部130以及凸出部140，在此一并说明。 承载部114位于载台110中间，且载台110表面与承载部114表面间有段差11本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种夹持装置，其特征在于，所述夹持装置包含：一载台；一承载部，设置于所述载台，并具有一观测窗，其中所述载台表面与所述承载部表面间有一段差，以放置一待测物于所述承载部；至少一动力源，提供一输出动力，其中所述输出动力方向平行于所述载台表面；至少一夹持部，与至少一所述动力源连接，使得至少一所述夹持部往复移动于所述载台表面，其中至少一所述夹持部包含多个定位部；以及至少一凸出部，凸出于所述载台表面且位于至少一所述夹持部的所述定位部的往复移动路径上，其中至少一所述凸出部形状对应于所述定位部，当至少一所述凸出部位于所述定位部内时，至少一所述夹持部与所述载台表面形成第一角度，而当至少一所述凸出部与至少一所述夹持部接触时，至少一所述夹持部与所述载台表面形成第二角度，其中所述第一角度小于所述第二角度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈建羽，彭柏翰，廖惇材，林宏毅，
申请(专利权)人：旺矽科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：中国台湾;71
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