用于高真空下类金刚石基固-液复合润滑薄膜的制备方法技术

本发明专利技术的一种用于高真空下类金刚石基固-液复合润滑薄膜的制备方法，包括如下步骤：首先以铝合金、钛合金、轴承钢作为基体材料，使用前进行抛光、丙酮超声清洗、无水乙醇超声清洗、烘干并置于真空室中，抽真空至5.0×10-3Pa，在沉积薄膜前对样件进行Ar等离子体溅射清洗；其次采用离子注入与沉积技术，选择金属Me靶和金属碳化物MeC靶作为阴极弧源，N2和C2H2作为反应气体，通过控制阴极弧源、反应气体的种类及组合来依次制备Me/MeN/MeNC/MeC/Me-C:H过渡层膜层，最终获得具有梯度过渡结构的类金刚石复合多层薄膜；最后选取真空润滑油脂使其均匀吸附于膜层表面，得到类金刚石基固-液复合润滑薄膜。

【技术实现步骤摘要】
【专利说明】
本专利技术涉及用于高真空下的类金刚石基固-液复合润滑薄膜的制备方法，属于表 面工程

技术介绍
高硬度类金刚石薄膜和磁控瓣射二硫化钢薄膜是近年来在航空航天、高技术装备 润滑系统等领域应用较多的两种固体润滑薄膜，由于具有耐磨与润滑一体化特性，类金刚 石薄膜是近年来受关注较多的新型防护薄膜。但是类金刚石膜在高真空下耐磨寿命不足和 摩擦系数环境敏感性问题，直接限制了其在航天
的广泛应用，因此适用于高真空 环境下，具有强化和润滑特性的低摩擦长寿命类金刚石薄膜一直是航天领域追求的理想固 体润滑材料。 对现有技术进行的检索发现：为了提高类金刚石的高真空耐磨寿命和降低其摩擦 系数对环境的依赖性，已有的专利技术（如中国专利-公开号CN102994947A)提到，类 金刚石复合二硫化钢纳米多层薄膜来改善类金刚石膜层的环境适应性，通过渗杂高真空磨 损性能优异的二硫化钢来提高其在高真空环境下的寿命，但其改善的方法牺牲了类金刚石 膜层的高硬度和化学稳定性。因此必须开发一种在保持类金刚石膜层高硬度和化学稳定性 的同时提高其在高真空环境下服役寿命的复合润滑膜层。最佳思路就是采本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于高真空下类金刚石基固‑液复合润滑薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： A）以铝合金、钛合金、轴承钢作为基体材料，使用前进行抛光、丙酮超声清洗、无水乙醇超声清洗、烘干并置于真空室中，抽真空至5.0×10‑3Pa，在沉积薄膜前对样件进行Ar等离子体溅射清洗；B）采用离子注入与沉积技术，选择金属Me靶和金属碳化物MeC靶作为阴极弧源，N2和C2H2作为反应气体，通过控制阴极弧源、反应气体的种类及组合来依次制备Me/MeN/MeNC/MeC/Me‑C:H过渡层膜层，最终获得具有梯度过渡结构的类金刚石复合多层薄膜；C）选取真空润滑油脂使其均匀吸附于膜层表面，得到类金刚石基固‑液复合润滑薄膜...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：沙春生，宋晓航，熊艳艳，宿国友，郭立杰，
申请(专利权)人：上海航天设备制造总厂，
类型：发明
国别省市：上海;31